【技术实现步骤摘要】
一种探针对准装置
本技术涉及光电行业的老化测试设备,尤其涉及一种光通信芯片、激光半导体芯片(FP、DFB/DML、EML、VCSEL激光器、驱动芯片)进行老化测试时,用于供电的探针对准装置。
技术介绍
为了保证质量,所有半导体元件都需要进行一定程度的老化测试,筛选掉性能不合格的产品。老化磨合过程可能发生在晶圆/切粒的多个模具(棒/块)/模具/载体上的芯片(COC)/板上的芯片(COB)/组装设备(以罐或任何密封包装/芯片形式)中,高密度集成需求的增加导致了焊盘和间距越来越小。为了给新产品提供更多的短期周转,在设备开发中特别是对探头与产品的接触管理精度要求越来越高的情况下,世界范围内生产的大多数老化设备仍在使用带通孔钻的探针规格,其一端与被测设备/产品接触,另一端与测试卡等接触,如图1所示。其优点:垂直接触距离自由度大;缺点:由于组件带有贯穿孔,因此需要自然壁厚。材料的屈服强度限制了壁厚,从而限制了探针之间的间距。近年来,越来越多的公司正在将探针卡引入老化设备中。探针卡用于工业部门的晶片测试,然而,成熟的工业需要非常精 ...
【技术保护点】
1.一种探针对准装置,其特征在于,包括探针、过渡块和位置调节机构,所述探针固定在所述过渡块上,所述位置调节机构通过调节过渡块的位置使所述探针的针尖与目标点或者目标接触面对准。/n
【技术特征摘要】
1.一种探针对准装置,其特征在于,包括探针、过渡块和位置调节机构,所述探针固定在所述过渡块上,所述位置调节机构通过调节过渡块的位置使所述探针的针尖与目标点或者目标接触面对准。
2.根据权利要求1所述的探针对准装置,其特征在于,所述探针包括套圈和筒体,筒体的一端套设在套圈内,且与套圈内设置的弹簧连接,筒体的另一端为针尖。
3.根据权利要求1所述的探针对准装置,其特征在于,所述位置调节机构为机械抓手或者工装夹具。
4.根据权利要求1所述的探针对准装置,其特征在于,所述过渡块为L型块,探针固定在L型块的其中一个臂上。
5.根据权利要求1所述的探针对准装置,其特征在于,所述过渡块为矩形块,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王辉文,单娜,方学涛,
申请(专利权)人:武汉驿天诺科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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