真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构制造技术

本实用新型专利技术属于一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体(11),其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上，然后将磁环(2)放入旋钮(1)中，用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上，将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上，用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8)上，将转轴(8)插入轴套(4)中，用挡板固定螺钉(9)将挡板(10)固定在转轴(8)上，其中磁环(2)的内表面与磁柱(7)外圆柱面磁性相反，利用磁铁异极相吸的原理转动旋钮(1)即可带动转轴(8)旋转从而控制挡板(10)的开关，因轴套(4)是直接焊接在视窗法兰(5)上的，所以本真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构无需密封结构，无漏点，也不存在漏气现象，长期使用更加可靠。

【技术实现步骤摘要】
真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构
本技术属于真空镀膜设备部件，特别涉及一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构。
技术介绍
视窗挡板是用于观察真空镀膜设备视窗内的遮挡机构，主要作用是防止视窗被镀上膜层从而无法看清炉内状况,常规的视窗挡板机构都是通过旋转挡板连接的转轴从而控制视窗开关，所以转轴与真空室之间需要O型圈进行密封，且为动密封，其存在的问题在于转轴旋转的过程中可能会发生漏气现象。
技术实现思路
本技术在于克服上述不足，提供一种无需维护，结构简单，操作方便的真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构。本技术解决技术问题所采用的技术方案是：一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体，其特征是利用磁铁异极相吸的原理在挡板转轴上固定一个磁柱并将其密封于真空室内部，真空室外部做一个内部镶有磁环的旋钮，磁柱的外圆柱面与磁环内表面的磁性相反，因异极相吸，当旋转真空室外部带磁环的旋钮时，就会带动真空室内部带磁柱的转轴一起转动进而控制挡板的开关。本技术的有益效果是：无密封结构不必担心漏气问题，使用更为可靠。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体(11)，其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上,然后将磁环(2)放入旋钮(1)中，用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上，将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上，用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8)上，将转轴(8)插入轴套(4)中，用挡板固定螺钉(9)将挡板(10)固定在转轴(8)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体(11)，其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上,然后将磁环(2)放入旋钮(1)中，用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上，将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上，用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：白春阳，孙英斌，高琳，
申请(专利权)人：大连金泰正新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21