【技术实现步骤摘要】
一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗
本技术涉及真空镀膜室的观察窗。
技术介绍
为方便在真空环境下对正在生产的真空室内的工况进行观察,现有真空设备上大都采取在腔体观察孔径内置一个可翻转式挡板的结构,由于挡板要翻转,所以挡板外边缘和腔体观察孔内边必须留有足够的空间,在镀膜过程中会有一些沉积物通过此间隙镀到观察窗玻璃上,导致无法看到真空室内的工况,必须拆下玻璃清洗或更换,使得生产成本增加,同时降低了生产效率。
技术实现思路
针对上述现有技术中的不足,本技术提供一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,延长观察窗玻璃更换或清洁的周期。本技术采用的技术方案如下:一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,包括设置在真空室壁上的观察窗,在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴,所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接,所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部,在真空室壁内侧设有限制挡板关闭位置的下限位块,所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄。在真空室壁内侧还设有限制挡 ...
【技术保护点】
1.一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,包括设置在真空室壁上的观察窗,其特征在于:在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴,所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接,所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部,在真空室壁内侧设有限制挡板关闭位置的下限位块,所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄。/n
【技术特征摘要】
1.一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,包括设置在真空室壁上的观察窗,其特征在于:在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴,所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接,所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国利,周毅,李国强,
申请(专利权)人:湖南玉丰真空科学技术有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。