一种镀膜设备观察窗的防污装置制造方法及图纸

一种镀膜设备观察窗的防污装置，包括壳体，该壳体的第一端内侧设有轴承，该轴承内侧设有环形的卡板，该卡板内侧设有挡板，该挡板顶部设有观察口；该挡板内侧设有卡环，该第一端外侧设有第一环体和第二环体，该第一环体具有第一板和第二板，该第二环体具有第三板和第四板；该第三板内部之间设有圆形的玻璃板；该第三板位于第二板之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板的两侧分别与该第一板和第四板抵顶，该玻璃板中部与该观察窗中部的旋转中轴固定连接；该第二板卡接在该轴承内圈，使该第一环体能相对于该壳体转动；该第二端外周通过螺纹连接有环形的第三环体，该第三环体位于该镀膜设备内壁与防污板之间，并通过螺钉固定连接在一起。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备观察窗的防污装置
本技术属于镀膜
，特别是一种镀膜设备观察窗的防污装置。
技术介绍
在镀膜领域，良好视野的观察窗至关重要，通过观察窗来完成生产的控制过程，有时生产节点的选择，设备某些状态的判断，也都需要通过观察窗观察腔室内的情况来决定。现有镀膜设备的观察窗几乎均采用一道内衬玻璃加一个开孔挡板来防污，为了便于拆卸清理和转动，内衬玻璃与腔室一圈都有很大的缝隙，且在某些功能构造上内衬玻璃也无法与观察窗紧密贴合。在镀膜过程中，某些膜料会通过最外挡板的孔位，经内衬玻璃与腔室之间的缝隙，绕射到观察窗玻璃上，观察窗玻璃很快就会变花，影响视线。观察窗玻璃为特殊打磨的耐高温石英玻璃，价格相对比较昂贵，且在观察窗功能构造上涉及到多重复杂的转动密封结构，若因观察窗被快速污染而多次拆卸打磨，可能会带来真空密封结构破坏，石英玻璃破损等二次问题，造成大的经济损失。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种镀膜设备观察窗的防污装置，其可有效解决镀膜设备观察窗玻璃被快速污染的问题，对观察窗玻璃进行防污，保持观察窗的清本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于，包括圆筒状的壳体，该壳体位于镀膜设备的观察窗内侧的圆柱形通道内；该壳体朝向该观察窗的一端为第一端，另一端为第二端；该第一端内侧设有轴承，该轴承内侧设有环形的卡板，该卡板内侧设有截面与该壳体腔体对应的挡板，该挡板顶部设有观察口；该挡板内侧设有卡环，该卡环和卡板将该挡板限位在二者之间；该第一端外侧设有环形的第一环体和第二环体，该第一环体截面呈T型，具有竖向的第一板和横向的第二板，该第二板与该第一板中部垂直连接；该第二环体截面呈倒L型，具有横向的第三板和竖向的第四板；该第三板内部之间设有圆形的玻璃板；该第三板位于第二板之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板的两...

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于，包括圆筒状的壳体，该壳体位于镀膜设备的观察窗内侧的圆柱形通道内；该壳体朝向该观察窗的一端为第一端，另一端为第二端；该第一端内侧设有轴承，该轴承内侧设有环形的卡板，该卡板内侧设有截面与该壳体腔体对应的挡板，该挡板顶部设有观察口；该挡板内侧设有卡环，该卡环和卡板将该挡板限位在二者之间；该第一端外侧设有环形的第一环体和第二环体，该第一环体截面呈T型，具有竖向的第一板和横向的第二板，该第二板与该第一板中部垂直连接；该第二环体截面呈倒L型，具有横向的第三板和竖向的第四板；该第三板内部之间设有圆形的玻璃板；该第三板位于第二板之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板的两侧分别与该第一板和第四板抵顶，该玻璃板中部与该观察窗中部的旋转中轴固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李欢欢，许宁，曹波，路淑娟，王伦，张萌，
申请(专利权)人：有研国晶辉新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13