【技术实现步骤摘要】
一种用于观测旋转阴极端头的可视结构
本技术涉及镀膜设备
,特别是涉及一种用于观测旋转阴极端头的可视结构。
技术介绍
旋转阴极在Low-e镀膜行业因其利用率高、溅射效率高、功率稳定被广泛应用,但因旋转端头价格昂贵维护保养较为繁琐,所以在日常使用中要特别注意其使用状态,而现在腔盖需要考虑到安全问题,将端头裸露在外的水电端完全密封,或不对其做密封保护。前者因其密封状态无法观测端头是否有漏水情况,一旦漏水引发短路可能会出现巨大安全隐患,同时可能还会引发端头烧坏。后者因未密封生产过程中高压铜排直接暴露有安全隐患,再就是空气中灰尘进入不美观。
技术实现思路
为解决以上技术问题,本技术提供一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,即方便对水电端进行观察,又不存在安全隐患。为实现上述目的,本技术提供了如下方案:本技术提供一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,包括设置于水电端盖板上的观察窗,所述观察窗上设置有玻璃。可选的,所述观察窗内侧设置有夹板,所述玻璃设置于所述夹板与所述水电端盖板之间。可选的,所述夹板为设置于所述观察窗内侧左右两端的板型件,所述板型件一端与所述水电端盖板固定连接。可选的,所述水电端盖板与所述板型件上相对应的设置有通孔,通过向所述通孔中设置螺栓,将所述玻璃卡至在所述水电端盖板与所述板型件之间。可选的,所述玻璃两侧周围设置有防护垫。可选的,所述防护垫为橡胶垫。可选的,所述观察窗设置于所述水电端盖板的通风口上方。可选的,所述玻璃为 ...
【技术保护点】
1.一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,其特征在于,包括设置于水电端盖板上的观察窗,所述观察窗上设置有玻璃。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,其特征在于,包括设置于水电端盖板上的观察窗,所述观察窗上设置有玻璃。
2.根据权利要求1所述的用于观测旋转阴极端头的可视结构,其特征在于,所述观察窗内侧设置有夹板,所述玻璃设置于所述夹板与所述水电端盖板之间。
3.根据权利要求2所述的用于观测旋转阴极端头的可视结构,其特征在于,所述夹板为设置于所述观察窗内侧左右两端的板型件,所述板型件一端与所述水电端盖板固定连接。
4.根据权利要求3所述的用于观测旋转阴极端头的可视结构,其特征在于,所述水电端盖板与所述板型件上相对应的设置有通孔,通过向所述通孔中设置螺栓,将所述玻璃卡至在所述水电端盖板与所述板型...
【专利技术属性】
技术研发人员:王桂荣,易立,徐浩,张朝晖,
申请(专利权)人:武汉长利新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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