【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种压电传感器的部件,具体涉及一种构成压电传感器压电 片的基片。技术背景压电传感器是一种物性传感器,其灵敏度取决于压电片的弹性柔顺系数。压 电片一般由基片和粘合于基片两面的压电晶片构成,压电片的弹性柔顺系数主要 取决于基片的材质、几何尺寸以及几何形状等。目前,提高压电片基片弹性柔顺 系数的措施主要有以下几种1. 通过减薄基片厚度提高压电片弹性柔顺系数。由于基片减薄,刚性变差, 而且基片自身的假频以及抗横向干扰的能力变低,因此,传感器采集有效纵波信 号的质量随之降低。2. 非金属材质的"井字型"网孔基片,虽然可以提高压电片的弹性柔顺系数, 但由于随着变形量的增大,其弹性滞后和蠕变会随之增大,使漂移度增大,导致 传感器信号的质量变差。3. 铜丝编织的网状基片,其压电片的弹性柔顺系数较高,但铜丝网结构的基 片不仅弹性滞后较大,而且难以均匀固定,故迄今未实施应用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种压电传感器的基片,其解决了
技术介绍
中刚 性差、抗横向干扰能力差,或弹性滞后大,而导致传感器信号质量差的技术问题。 本技术的技术解决方案是一种压电传感器的基片,包 ...
【技术保护点】
一种压电传感器的基片,包括基片(1),其特征在于:所述的基片(1)为金属基片,该基片(1)与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔(2),所述照相腐蚀孔(2)的加工精度≥0.1mm,所述照相腐蚀孔(2)的面积S≤10(mm)↑[2]。
【技术特征摘要】
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