当前位置: 首页 > 专利查询>朱军专利>正文

压电传感器的基片制造技术

技术编号:2531804 阅读:228 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种构成压电传感器压电片的基片,其包括基片,基片为金属基片,该基片与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔,照相腐蚀孔的加工精度≥0.1mm,照相腐蚀孔的面积S≤10(mm)↑[2]。本实用新型专利技术解决了背景技术中刚性差、抗横向干扰能力差,或弹性滞后大,而导致传感器信号品质差的技术问题。本实用新型专利技术照相腐蚀孔整体分布的均匀性好,加工精度高,照相腐蚀孔可以设置成密度非常大的孔,基片的平整度好,基片在加工至非常薄时仍可确保良好的刚性。基片的弹性、柔韧性以及抗疲劳性均较好。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种压电传感器的部件,具体涉及一种构成压电传感器压电 片的基片。技术背景压电传感器是一种物性传感器,其灵敏度取决于压电片的弹性柔顺系数。压 电片一般由基片和粘合于基片两面的压电晶片构成,压电片的弹性柔顺系数主要 取决于基片的材质、几何尺寸以及几何形状等。目前,提高压电片基片弹性柔顺 系数的措施主要有以下几种1. 通过减薄基片厚度提高压电片弹性柔顺系数。由于基片减薄,刚性变差, 而且基片自身的假频以及抗横向干扰的能力变低,因此,传感器采集有效纵波信 号的质量随之降低。2. 非金属材质的"井字型"网孔基片,虽然可以提高压电片的弹性柔顺系数, 但由于随着变形量的增大,其弹性滞后和蠕变会随之增大,使漂移度增大,导致 传感器信号的质量变差。3. 铜丝编织的网状基片,其压电片的弹性柔顺系数较高,但铜丝网结构的基 片不仅弹性滞后较大,而且难以均匀固定,故迄今未实施应用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种压电传感器的基片,其解决了
技术介绍
中刚 性差、抗横向干扰能力差,或弹性滞后大,而导致传感器信号质量差的技术问题。 本技术的技术解决方案是一种压电传感器的基片,包括基片1,其特殊之处本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电传感器的基片,包括基片(1),其特征在于:所述的基片(1)为金属基片,该基片(1)与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔(2),所述照相腐蚀孔(2)的加工精度≥0.1mm,所述照相腐蚀孔(2)的面积S≤10(mm)↑[2]。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱军
申请(专利权)人:朱军
类型:实用新型
国别省市:87[中国|西安]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1