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压电传感器的基片制造技术
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文档序号:2531804
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本实用新型涉及一种构成压电传感器压电片的基片,其包括基片,基片为金属基片,该基片与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔,照相腐蚀孔的加工精度≥0.1mm,照相腐蚀孔的面积S≤10(mm)↑[2]。本实用新型解决了背景技术中刚性差、抗横向干...
该专利属于朱军所有,仅供学习研究参考,未经过朱军授权不得商用。
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