一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，包括支撑机构、滚柱和调节机构，支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，安装轨道还互相平行，滚柱设置于安装轨道内，滚柱为圆柱体形，滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于调节机构；调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，螺纹槽固定于安装槽的内部，地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于螺纹槽。本实用新型专利技术提高了硅圆晶片加工过程中电极安装的安全性和便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台
本技术属于硅圆晶生产
，具体涉及一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台。
技术介绍
多线切割技术是硅晶圆加工的一种新型切割加工方法，它的工作原理是通过金属线缠绕在滚筒上，组成线网，金属线通过导轮系统的带动，高速往复运动，把刃料带入加工区域对硅晶圆进行研磨，将晶棒一次的，同时的切割成数百片厚度比较一致的薄片。常用的多线切割机，如NTC442DM，机型结构紧凑，工作空间狭小。在实际操作中，因为NTC442DM的工作区非常狭窄，线轮电机本体体积大又非常重，所在电机固定区域没有吊装空间，遇到故障时无法快速拆卸及维修，并且在操作过程中还具有安全隐患。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，提高了硅圆晶片加工过程中电极安装的安全性和便捷性。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，其特征在于：包括支撑机构、滚柱和调节机构，所述支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，所述滚道平台沿水平方向设置，滚道本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，其特征在于：包括支撑机构、滚柱和调节机构，所述支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，所述滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，所述安装轨道还互相平行，所述滚柱设置于所述安装轨道内，所述滚柱为圆柱体形，所述滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于所述调节机构；所述调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，所述螺纹槽固定于所述安装槽的内部，所述地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于所述螺纹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，其特征在于：包括支撑机构、滚柱和调节机构，所述支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，所述滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，所述安装轨道还互相平行，所述滚柱设置于所述安装轨道内，所述滚柱为圆柱体形，所述滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于所述调节机构；所述调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，所述螺纹槽固定于所述安装槽的内部，所述地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于所述螺纹槽。


2.根据权利要求1所述的一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，其特征在于：所述滚道平台为矩形板。

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓飞，代玉超，董开纪，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41