研磨设备、研磨治具及其使用方法技术

本发明专利技术涉及一种研磨设备、研磨治具及其使用方法。研磨治具包括：底座，开设有容纳槽，用于盛装样品和包裹于样品外部的树脂；和调节组件，包括螺柱和固定套筒，所述固定套筒套设于所述螺柱，且与所述螺柱螺纹连接，当所述螺柱相对于所述固定套筒旋转时，所述螺柱能够沿轴向移动并带动所述样品相对所述底座运动。上述研磨治具通过螺柱和固定套筒的配合，能够调节样品相对于底座的位置，有利于精准控制样品的研磨位置。

【技术实现步骤摘要】
研磨设备、研磨治具及其使用方法
本专利技术涉及机械研磨抛光
，特别是涉及研磨设备、研磨治具及其使用方法。
技术介绍
机械研磨抛光是利用研磨盘对工件表面进行物理磨削处理。研磨盘上粘接有一层砂纸或抛光布，砂纸上附着有氧化铝、二氧化硅、钻石颗粒等磨粒，可根据不同用途选择不同尺寸的磨粒。一般研磨过程多采用人工方式进行，操作人员手持镶埋工件的环氧树脂块，对工件施加一定的压力，使得工件与研磨盘表面接触以实现研磨，并通过人眼观察判断研磨成果是否符合要求。该种加工方式，无法精准控制研磨位置，可能会出现研磨超出指定位置的情况，影响加工良率。
技术实现思路
基于此，有必要针对人工研磨无法精准控制研磨位置的问题，提供一种研磨设备、研磨治具及其使用方法。一种研磨治具，包括：底座，开设有容纳槽，用于盛装样品和包裹于样品外部的树脂；和调节组件，包括螺柱和固定套筒，所述固定套筒套设于所述螺柱，且与所述螺柱螺纹连接，当所述螺柱相对于所述固定套筒旋转时，所述螺柱能够沿轴向移动并带动所述样品相对所述底座运动。在其中一个实施例中，所述调节组件还包括活动套筒，所述活动套筒连接于所述螺柱，所述固定套筒的轴向设有若干第一刻度线，所述活动套筒的周向设有若干第二刻度线，当活动套筒带动所述螺柱相对所述固定套筒旋转时，根据所述第一刻度线和所述第二刻度线能够读出所述螺柱沿轴向移动的距离。在其中一个实施例中，所述研磨治具还包括止动旋钮，用于固定所述螺柱和所述固定套筒的相对位置。在其中一个实施例中，所述研磨治具还包括承载板，所述承载板设于所述容纳槽内，且连接于所述螺柱。在其中一个实施例中，所述研磨治具还包括固定柱和弹性件，所述固定柱一端连接于所述固定套筒，另一端连接于所述底座，所述固定柱形成有腔体，所述弹性件穿设于所述腔体，且所述弹性件一端连接于所述螺柱，另一端穿过所述底座并与所述承载板相连。在其中一个实施例中，所述承载板和所述底座活动配合，当所述螺柱朝靠近所述底座的方向运动并对所述弹性件产生挤压作用时，所述承载板和所述底座相互锁定；当所述螺柱运动到位后，所述承载板和所述底座解除锁定。在其中一个实施例中，所述承载板设有卡合部，所述卡合部卡接于所述底座，以使所述承载板和所述底座相互锁定，所述底座开设有配合孔，当所述底座和所述承载板相对转动并使所述卡合部与所述配合孔相对准，所述承载板和所述底座解除锁定。在其中一个实施例中，所述承载板背离所述底座的一侧设有若干连接部。一种所述研磨治具的使用方法，包括以下步骤：将样品放置于所述容纳槽，向所述容纳槽内注入固化液，固化液冷却固化后形成包裹于样品外部的树脂；旋转螺柱，所述螺柱沿轴向移动并推动所述样品相对底座运动，以使所述样品的待研磨部分露出于所述底座。一种研磨设备，包括所述的研磨治具。上述研磨治具，当所述螺柱相对于所述固定套筒旋转时，所述螺柱能够沿轴向移动并带动所述承载板相对所述底座运动。螺柱相对固定套筒旋转一周，同时螺柱相对固定套筒前进或后退一个螺距值。螺柱运动的过程中，能够带动样品相对底座发生位移。本专利技术通过螺柱和固定套筒的配合，能够调节样品相对于底座的位置，有利于精准控制样品的研磨位置。附图说明图1为一实施例中研磨设备的示意图；图2为图1所示研磨设备中研磨治具的截面图；图3为图2所示研磨治具的底座和承载板的俯视图；图4为图3沿B-B方向的剖视图；图5为图2所示研磨治具的弹性件、第一压阀及第二压阀的结构示意图。主要元件符号说明：300—样品，310—树脂，210—转盘，100—研磨治具，10—底座，11—容纳槽，12—配合孔，13—滑槽，20—承载板，21—连接部，22—卡合部，30—调节组件，31—螺柱，311—粗纹螺柱，312—细纹螺柱，32—固定套筒，32a—第一刻度线，33—活动套筒，33a—第二刻度线，331—第一套筒，332—第二套筒，40—止动旋钮，50—固定柱，51—缓冲套，60—弹性件，71—第一压阀，72—第二压阀，71a/72a—U型槽。如下具体实施方法将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。一种研磨设备，用于对样品进行机械研磨抛光。具体的，请参阅图1，研磨设备包括研磨治具100和转盘210，研磨治具100位于转盘210的上方，研磨治具100用于固定样品并对样品施加一定的作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种研磨治具，其特征在于，包括：/n底座，开设有容纳槽，用于盛装样品和包裹于样品外部的树脂；和/n调节组件，包括螺柱和固定套筒，所述固定套筒套设于所述螺柱，且与所述螺柱螺纹连接，当所述螺柱相对于所述固定套筒旋转时，所述螺柱能够沿轴向移动并带动所述样品相对所述底座运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种研磨治具，其特征在于，包括：
底座，开设有容纳槽，用于盛装样品和包裹于样品外部的树脂；和
调节组件，包括螺柱和固定套筒，所述固定套筒套设于所述螺柱，且与所述螺柱螺纹连接，当所述螺柱相对于所述固定套筒旋转时，所述螺柱能够沿轴向移动并带动所述样品相对所述底座运动。


2.根据权利要求1所述的研磨治具，其特征在于，所述调节组件还包括活动套筒，所述活动套筒连接于所述螺柱，所述固定套筒的轴向设有若干第一刻度线，所述活动套筒的周向设有若干第二刻度线，当活动套筒带动所述螺柱相对所述固定套筒旋转时，根据所述第一刻度线和所述第二刻度线能够读出所述螺柱沿轴向移动的距离。


3.根据权利要求1所述的研磨治具，其特征在于，所述研磨治具还包括止动旋钮，用于固定所述螺柱和所述固定套筒的相对位置。


4.根据权利要求1所述的研磨治具，其特征在于，所述研磨治具还包括承载板，所述承载板设于所述容纳槽内，且连接于所述螺柱。


5.根据权利要求4所述的研磨治具，其特征在于，所述研磨治具还包括固定柱和弹性件，所述固定柱一端连接于所述固定套筒，另一端连接于所述底座，所述固定柱形成有腔体，所述弹性件穿设于所述腔体，且所述弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伯彦，
申请(专利权)人：业成科技成都有限公司，业成光电深圳有限公司，英特盛科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51