基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，包括如下步骤：由具有无线通信功能的监测终端监测磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数；由监测终端监听由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，并由监测终端监听由第二基站在多个基站发射波束上发送的用于第二基站的同步信号由监测终端监听第一基站发送的用于第一基站的第一系统信息以及由第二基站发送的用于第二基站的第二系统信息；由监测终端基于由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号的RSRP。

【技术实现步骤摘要】
基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法及系统
本专利技术是关于磁控溅射无尘室监测，特别是关于一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法及系统。
技术介绍
无尘洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室，洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。现有技术CN103712298B一种对向半导体制造设备的无尘室供给的空气进行过滤并对温度和湿度进行控制的空调装置，特别是涉及一种用于精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置，其回收从现有的空调系统排放至大气的废热，无需供给相当于该废热能量的另外的能量而调节湿度，将废热再利用线圈及冷凝线圈以分级(STEP)划分为多段，以根据室内负荷或外气负荷的变动而改变蒸发器的除湿负荷，从而能够有效地精密控制冷凝器中发热的热量变化。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法及系统，其能够克服现有技术的缺陷。为实现上述目的，本专利技术提供了一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，包括如下步骤：由具有无线通信功能的监测终端监测磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数；由监测终端监听由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，并由监测终端监听由第二基站在多个基站发射波束上发送的用于第二基站的同步信号由监测终端监听第一基站发送的用于第一基站的第一系统信息以及由第二基站发送的用于第二基站的第二系统信息；由监测终端基于由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号的RSRP；由监测终端基于由第二基站在多个基站发射波束上发送的用于第二基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于第二基站的同步信号的RSRP；由监测终端判断RSRP值大于RSRP门限值的用于第一基站的同步信号的第一数量，并由监测终端判断RSRP值大于RSRP门限值的用于第二基站的同步信号的第二数量；由监测终端判断第一数量与第二数量是否大于或者等于预定数量；如果判断第一数量与第二数量均大于或者等于预定数量，则由监测终端确定第一数量的用于第一基站的同步信号的RSRP的第一平均值，并由监测终端确定第二数量的用于第二基站的同步信号的RSRP的第二平均值；由监测终端确定第一平均值是否大于第二平均值；如果确定第一平均值大于第二平均值，则由监测终端向第一基站发送随机接入前导码。在一优选的实施方式中，基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：响应于接收到随机接入前导码，由第一基站向监测终端发送随机接入响应，其中，随机接入响应中至少包括上行链路授权、定时提前值以及临时C-RNTI；响应于接收到随机接入响应，由监测终端在上行链路授权上向第一基站发送第三系统信息请求消息，其中，第三系统信息请求消息中包括临时C-RNTI；响应于向第一基站发送第三系统信息请求消息，由监测终端基于第一系统信息确定用于接收第三系统信息的时段以及用于接收第三系统信息的子帧；响应于接收到第三系统信息请求消息，由第一基站向监测终端发送争用解决消息，其中，争用解决消息包括临时C-RNTI；响应于向监测终端发送争用解决消息，由第一基站在多个用于发送第三系统信息的子帧上分别使用多个基站发射波束中的一个基站发射波束向监测终端发送第三系统信息；响应于接收到争用解决消息，由监测终端确定用于发送RSRP值大于RSRP门限值的用于第一基站的同步信号的优选基站发射波束；响应于确定用于发送RSRP值大于RSRP门限值的用于第一基站的同步信号的优选基站发射波束，由监测终端在用于接收第三系统信息的时段内监听在优选基站发射波束上发送的第三系统信息；响应于接收到第三系统信息，由监测终端向第一基站发送磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数。在一优选的实施方式中，基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤由监测终端监听由第一基站在第一基站发射波束、第二基站发射波束以及第三基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号；由监测终端基于由第一基站在第一基站发射波束、第二基站发射波束以及第三基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，确定在第一基站发射波束、第二基站发射波束以及第三基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号的RSRP；响应于向监测终端发送争用解决消息，由第一基站在第一子帧上使用第一基站发射波束向监测终端发送第三系统信息，在第二子帧上使用第二基站发射波束向监测终端发送第三系统信息，在第三子帧上使用第三基站发射波束向监测终端发送第三系统信息；响应于接收到争用解决消息，由监测终端确定用于发送RSRP值大于RSRP门限值的用于第一基站的同步信号的优选基站发射波束；如果确定第一基站发射波束以及第二发射波束上发送的用于第一基站的同步信号的RSRP大于RSRP门限值，则由监测终端在用于接收第三系统信息的时段内监听在第一子帧上使用第一发射波束发送的第三系统信息，监听在第二子帧上使用第二发射波束发送的第三系统信息，其中，监测终端不监听在第三子帧上使用第三发射波束发送的第三系统信息；响应于接收到第三系统信息，由监测终端向第一基站发送磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数。在一优选的实施方式中，基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：如果判断第一数量大于或者等于预定数量，第二数量小于预定数量，则由监测终端确定第一数量的用于第一基站的同步信号的RSRP的第一平均值，并由监测终端确定第二数量的用于第二基站的同步信号的RSRP的第二平均值；由监测终端基于第二数量与预定数量的差值，确定平衡系数，其中，平衡系数是小于1且大于0的实数响应于确定平衡系数，由监测终端计算第二平均值与平衡系数的乘积；由监测终端确定第一平均值是否大于第二平均值与平衡系数的乘积；如果确定第一平均值大于第二平均值与平衡系数的乘积，则由监测终端向第一基站发送随机接入前导码。在一优选的实施方式中，基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：如果确定第一平均值小于第二平均值，则由监测终端向第二基站发送随机接入前导码；如果确定第一平均值小于第二平均值与平衡系数的乘积，则由监测终端向第二基站发送随机接入前导码。本专利技术还提供了一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测系统，包括：用于由具有无线通信功能的监测终端监测磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数的单元；用于由监测终端监听由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，并由监测终端监听由第二基站在多个基站发射波束上发送的用于第二基站的同步信号的单元；用于由监测终端监听第一基站发送的用于第一基站的第一系统信息以及由第二基站发送的用于第二基站的第二系统信息的单元；用于由监测终端基于由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，其特征在于，所述基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：/n由具有无线通信功能的监测终端监测磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数；/n由所述监测终端监听由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号，并由所述监测终端监听由第二基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第二基站的同步信号；/n由所述监测终端监听所述第一基站发送的用于所述第一基站的第一系统信息以及由所述第二基站发送的用于所述第二基站的第二系统信息；/n由所述监测终端基于由所述第一基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号的RSRP；/n由所述监测终端基于由所述第二基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第二基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于所述第二基站的同步信号的RSRP；/n由所述监测终端判断RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第一基站的同步信号的第一数量，并由所述监测终端判断RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第二基站的同步信号的第二数量；/n由所述监测终端判断所述第一数量与所述第二数量是否大于或者等于预定数量；/n如果判断所述第一数量与所述第二数量均大于或者等于预定数量，则由所述监测终端确定第一数量的用于所述第一基站的同步信号的RSRP的第一平均值，并由所述监测终端确定第二数量的用于第二基站的同步信号的RSRP的第二平均值；/n由所述监测终端确定所述第一平均值是否大于所述第二平均值；/n如果确定所述第一平均值大于所述第二平均值，则由所述监测终端向所述第一基站发送随机接入前导码。/n...

【技术特征摘要】
1.一种基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，其特征在于，所述基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：
由具有无线通信功能的监测终端监测磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数；
由所述监测终端监听由第一基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号，并由所述监测终端监听由第二基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第二基站的同步信号；
由所述监测终端监听所述第一基站发送的用于所述第一基站的第一系统信息以及由所述第二基站发送的用于所述第二基站的第二系统信息；
由所述监测终端基于由所述第一基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号的RSRP；
由所述监测终端基于由所述第二基站在多个基站发射波束上发送的用于所述第二基站的同步信号，确定在多个基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于所述第二基站的同步信号的RSRP；
由所述监测终端判断RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第一基站的同步信号的第一数量，并由所述监测终端判断RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第二基站的同步信号的第二数量；
由所述监测终端判断所述第一数量与所述第二数量是否大于或者等于预定数量；
如果判断所述第一数量与所述第二数量均大于或者等于预定数量，则由所述监测终端确定第一数量的用于所述第一基站的同步信号的RSRP的第一平均值，并由所述监测终端确定第二数量的用于第二基站的同步信号的RSRP的第二平均值；
由所述监测终端确定所述第一平均值是否大于所述第二平均值；
如果确定所述第一平均值大于所述第二平均值，则由所述监测终端向所述第一基站发送随机接入前导码。


2.如权利要求1所述的基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，其特征在于，所述基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：
响应于接收到所述随机接入前导码，由所述第一基站向所述监测终端发送随机接入响应，其中，所述随机接入响应中至少包括上行链路授权、定时提前值以及临时C-RNTI；
响应于接收到所述随机接入响应，由所述监测终端在所述上行链路授权上向所述第一基站发送第三系统信息请求消息，其中，所述第三系统信息请求消息中包括所述临时C-RNTI；
响应于向所述第一基站发送所述第三系统信息请求消息，由所述监测终端基于所述第一系统信息确定用于接收第三系统信息的时段以及用于接收第三系统信息的子帧；
响应于接收到所述第三系统信息请求消息，由所述第一基站向所述监测终端发送争用解决消息，其中，所述争用解决消息包括所述临时C-RNTI；
响应于向所述监测终端发送所述争用解决消息，由所述第一基站在多个用于发送所述第三系统信息的子帧上分别使用多个基站发射波束中的一个基站发射波束向所述监测终端发送所述第三系统信息；
响应于接收到所述争用解决消息，由所述监测终端确定用于发送RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第一基站的同步信号的优选基站发射波束；
响应于确定用于发送RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第一基站的同步信号的优选基站发射波束，由所述监测终端在用于接收第三系统信息的时段内监听在所述优选基站发射波束上发送的第三系统信息；
响应于接收到所述第三系统信息，由所述监测终端向所述第一基站发送所述磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数。


3.如权利要求2所述的基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，其特征在于，所述基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：
由所述监测终端监听由所述第一基站在第一基站发射波束、第二基站发射波束以及第三基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号；
由所述监测终端基于由所述第一基站在第一基站发射波束、第二基站发射波束以及第三基站发射波束上发送的用于第一基站的同步信号，确定在所述第一基站发射波束、第二基站发射波束以及第三基站发射波束中的每一个基站发射波束上发送的用于所述第一基站的同步信号的RSRP；
响应于向所述监测终端发送所述争用解决消息，由所述第一基站在第一子帧上使用所述第一基站发射波束向所述监测终端发送所述第三系统信息，在第二子帧上使用所述第二基站发射波束向所述监测终端发送所述第三系统信息，在第三子帧上使用所述第三基站发射波束向所述监测终端发送所述第三系统信息；
响应于接收到所述争用解决消息，由所述监测终端确定用于发送RSRP值大于RSRP门限值的用于所述第一基站的同步信号的优选基站发射波束；
如果确定所述第一基站发射波束以及所述第二发射波束上发送的用于第一基站的同步信号的RSRP大于RSRP门限值，则由所述监测终端在用于接收第三系统信息的时段内监听在所述第一子帧上使用所述第一发射波束发送的第三系统信息，监听在所述第二子帧上使用所述第二发射波束发送的第三系统信息，其中，所述监测终端不监听在所述第三子帧上使用所述第三发射波束发送的第三系统信息；
响应于接收到所述第三系统信息，由所述监测终端向所述第一基站发送所述磁控溅射超净间换气系统的运行状态参数。


4.如权利要求3所述的基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，其特征在于，所述基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：
如果判断所述第一数量大于或者等于所述预定数量，所述第二数量小于所述预定数量，则由所述监测终端确定第一数量的用于所述第一基站的同步信号的RSRP的第一平均值，并由所述监测终端确定第二数量的用于所述第二基站的同步信号的RSRP的第二平均值；
由所述监测终端基于所述第二数量与所述预定数量的差值，确定平衡系数，其中，所述平衡系数是小于1且大于0的实数；
响应于确定所述平衡系数，由所述监测终端计算所述第二平均值与所述平衡系数的乘积；
由所述监测终端确定所述第一平均值是否大于所述第二平均值与所述平衡系数的乘积；
如果确定所述第一平均值大于所述第二平均值与所述平衡系数的乘积，则由监测终端向所述第一基站发送随机接入前导码。


5.如权利要求4所述的基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法，其特征在于，所述基于物联网的磁控溅射超净间换气系统的监测方法包括如下步骤：
如果确定所述第一平均值小于所述第二平均值，则由所述监测终端向所述第二基站发送随机接入前导码；
如果确定所述第一平均值小于所述第二平均值与所述平衡系数的乘积，则由所述监测终端向所述第二基站发送随机接入前导码。


6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文爽，沈文齐，
申请(专利权)人：蚌埠泰鑫材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34