基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，包括如下步骤：由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息；由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息，并由移动终端与第一基站建立RRC连接；响应于与第一基站建立RRC连接，由移动终端监听由第一基站发送的同步信号，并由移动终端基于第一基站发送的同步信号来确定移动终端与第一基站之间的通信链路的第一链路质量；响应于确定第一链路质量，由移动终端判断第一链路质量是否低于第一链路质量门限；如果判断第一链路质量低于第一链路质量门限，则由移动终端向第一基站发送测量报告；响应于接收到测量报告，由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息。

【技术实现步骤摘要】
基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统
本专利技术是关于半导体智能制造
，特别是关于一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统。
技术介绍
无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。现有技术CN109470626A公开了一种无尘室微粒子污染微控制系统，包括控制板，所述控制板上分别设置有485芯片、无线网络收发器、分析仪和内存卡，所述分析仪上设置有指示灯、温湿传感器和空气泵。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统，其能够克服现有技术的缺点。为实现上述目的，本专利技术提供了一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，包括如下步骤：由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息；由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息，并由移动终端与第一基站建立RRC连接；响应于与第一基站建立RRC连接，由移动终端监听由第一基站发送的同步信号，并由移动终端基于第一基站发送的同步信号来确定移动终端与第一基站之间的通信链路的第一链路质量；响应于确定第一链路质量，由移动终端判断第一链路质量是否低于第一链路质量门限，其中，第一链路质量门限是在系统信息中指示的；如果判断第一链路质量低于第一链路质量门限，则由移动终端向第一基站发送测量报告；响应于接收到测量报告，由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息；响应于接收到切换请求消息，由第二基站判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站；响应于接收到切换请求消息，由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站；如果判断第二基站能够允许移动终端随机接入第二基站，则由第二基站向第一基站发送第一切换请求确认消息，其中，第一切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息；如果判断第三基站不允许移动终端随机接入第三基站，则由第三基站向第一基站发送第一切换请求否认消息；响应于接收到第一切换请求确认消息以及第一切换请求否认消息，由第一基站向移动终端发送第一切换配置消息，其中，第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件，其中，第一RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息，其中，第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联，第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联。在一优选的实施方式中，基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：响应于接收到第一切换配置消息，由移动终端监测由第二基站发送的同步信号；响应于监测到由第二基站发送的同步信号，由移动终端基于由第二基站发送的同步信号确定移动终端与第二基站之间的通信链路的第二链路质量；响应于确定第二链路质量，由移动终端判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限，其中，第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的；响应于向第一基站发送第一切换请求确认消息，由第二基站持续判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站；如果判断第二基站不再允许移动终端随机接入第二基站，则由第二基站向第一基站发送第二切换请求否认消息；响应于接收到第二切换请求否认消息，由第一基站向移动终端发送切换配置暂停使用消息；响应于接收到切换配置暂停使用消息，由移动终端暂停判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限。在一优选的实施方式中，基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：响应于接收到第二切换请求否认消息，由第一基站重新向第三基站发送切换请求消息；响应于再次接收到切换请求消息，由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站；如果判断第三基站能够允许移动终端随机接入第三基站，则由第三基站向第一基站发送第二切换请求确认消息，其中，第二切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息；响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息，由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息，其中，第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第二切换执行条件，其中，第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息，其中，第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联，第二切换执行条件与第二切换执行条件ID相关联。在一优选的实施方式中，基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：响应于接收到第二切换配置消息，由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID；如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID，则由移动终端继续判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一RRC重配置消息ID的第二RRC重配置消息ID；响应于判断第二切换配置消息中包括第二RRC重配置消息ID，由移动终端使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息；如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID，则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID；响应于判断第二切换配置消息中包括第二切换执行条件ID，由移动终端使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件；响应于使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息以及使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件，由移动终端监测由第三基站发送的同步信号；响应于监测到由第三基站发送的同步信号，由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量；响应于确定第三链路质量，由移动终端判断第三链路质量是否高于第三链路质量门限，其中，第三链路质量门限是在第二切换执行条件中指示的；如果判断第三链路质量高于第三链路质量门限，则由移动终端随机接入第三基站；响应于随机接入第三基站，由移动终端断开与第一基站的RRC连接；响应于随机接入第三基站，由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息。在一优选的实施方式中，基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息，由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息，其中，第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第一切换执行条件，其中，第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息，其中，第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联，第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联；响应于接收到第二切换配置消息，由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID；如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：/n由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息；/n由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息，并由移动终端与所述第一基站建立RRC连接；/n响应于与所述第一基站建立RRC连接，由移动终端监听由第一基站发送的同步信号，并由移动终端基于所述第一基站发送的同步信号来确定所述移动终端与所述第一基站之间的通信链路的第一链路质量；/n响应于确定所述第一链路质量，由移动终端判断所述第一链路质量是否低于第一链路质量门限，其中，所述第一链路质量门限是在所述系统信息中指示的；/n如果判断所述第一链路质量低于第一链路质量门限，则由移动终端向所述第一基站发送测量报告；/n响应于接收到所述测量报告，由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息；/n响应于接收到所述切换请求消息，由第二基站判断所述第二基站是否能够允许所述移动终端随机接入所述第二基站；/n响应于接收到所述切换请求消息，由第三基站判断所述第三基站是否能够允许所述移动终端随机接入所述第三基站；/n如果判断所述第二基站能够允许所述移动终端随机接入所述第二基站，则由第二基站向所述第一基站发送第一切换请求确认消息，其中，所述第一切换请求确认消息中包括用于所述移动终端随机接入所述第二基站所需要的配置信息；/n如果判断所述第三基站不允许所述移动终端随机接入所述第三基站，则由第三基站向所述第一基站发送第一切换请求否认消息；/n响应于接收到所述第一切换请求确认消息以及所述第一切换请求否认消息，由第一基站向所述移动终端发送第一切换配置消息，其中，所述第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件，其中，所述第一RRC重配置消息中指示用于所述移动终端随机接入所述第二基站所需要的配置信息，其中，所述第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联，所述第一切换执行条件与所述第一切换执行条件ID相关联。/n...

【技术特征摘要】
1.一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：
由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息；
由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息，并由移动终端与所述第一基站建立RRC连接；
响应于与所述第一基站建立RRC连接，由移动终端监听由第一基站发送的同步信号，并由移动终端基于所述第一基站发送的同步信号来确定所述移动终端与所述第一基站之间的通信链路的第一链路质量；
响应于确定所述第一链路质量，由移动终端判断所述第一链路质量是否低于第一链路质量门限，其中，所述第一链路质量门限是在所述系统信息中指示的；
如果判断所述第一链路质量低于第一链路质量门限，则由移动终端向所述第一基站发送测量报告；
响应于接收到所述测量报告，由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息；
响应于接收到所述切换请求消息，由第二基站判断所述第二基站是否能够允许所述移动终端随机接入所述第二基站；
响应于接收到所述切换请求消息，由第三基站判断所述第三基站是否能够允许所述移动终端随机接入所述第三基站；
如果判断所述第二基站能够允许所述移动终端随机接入所述第二基站，则由第二基站向所述第一基站发送第一切换请求确认消息，其中，所述第一切换请求确认消息中包括用于所述移动终端随机接入所述第二基站所需要的配置信息；
如果判断所述第三基站不允许所述移动终端随机接入所述第三基站，则由第三基站向所述第一基站发送第一切换请求否认消息；
响应于接收到所述第一切换请求确认消息以及所述第一切换请求否认消息，由第一基站向所述移动终端发送第一切换配置消息，其中，所述第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件，其中，所述第一RRC重配置消息中指示用于所述移动终端随机接入所述第二基站所需要的配置信息，其中，所述第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联，所述第一切换执行条件与所述第一切换执行条件ID相关联。


2.如权利要求1所述的基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：
响应于接收到所述第一切换配置消息，由移动终端监测由第二基站发送的同步信号；
响应于监测到由第二基站发送的同步信号，由移动终端基于由第二基站发送的同步信号确定所述移动终端与所述第二基站之间的通信链路的第二链路质量；
响应于确定所述第二链路质量，由移动终端判断所述第二链路质量是否高于第二链路质量门限，其中，所述第二链路质量门限是在所述第一切换执行条件中指示的；
响应于向所述第一基站发送所述第一切换请求确认消息，由第二基站持续判断所述第二基站是否能够允许所述移动终端随机接入所述第二基站；
如果判断所述第二基站不再允许所述移动终端随机接入所述第二基站，则由第二基站向所述第一基站发送第二切换请求否认消息；
响应于接收到所述第二切换请求否认消息，由第一基站向所述移动终端发送切换配置暂停使用消息；
响应于接收到所述切换配置暂停使用消息，由移动终端暂停判断所述第二链路质量是否高于第二链路质量门限。


3.如权利要求2所述的基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：
响应于接收到所述第二切换请求否认消息，由第一基站重新向所述第三基站发送切换请求消息；
响应于再次接收到所述切换请求消息，由第三基站判断所述第三基站是否能够允许所述移动终端随机接入所述第三基站；
如果判断所述第三基站能够允许所述移动终端随机接入所述第三基站，则由第三基站向所述第一基站发送第二切换请求确认消息，其中，所述第二切换请求确认消息中包括用于所述移动终端随机接入所述第三基站所需要的配置信息；
响应于接收到所述第二切换请求否认消息以及所述第二切换请求确认消息，由第一基站向所述移动终端发送第二切换配置消息，其中，所述第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第二切换执行条件，其中，所述第二RRC重配置消息中指示用于所述移动终端随机接入所述第三基站所需要的配置信息，其中，所述第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联，所述第二切换执行条件与所述第二切换执行条件ID相关联。


4.如权利要求3所述的基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：
响应于接收到所述第二切换配置消息，由移动终端判断所述第二切换配置消息中是否包括不同于所述第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID；
如果判断所述第二切换配置消息中包括不同于所述第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID，则由移动终端继续判断所述第二切换配置消息中是否包括不同于所述第一RRC重配置消息ID的第二RRC重配置消息ID；
响应于判断所述第二切换配置消息中包括所述第二RRC重配置消息ID，由移动终端使用所述第二RRC重配置消息替换所述第一RRC重配置消息；
如果判断所述第二切换配置消息中包括不同于所述第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID，则由移动终端判断所述第二切换配置消息中是否包括不同于所述第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID；
响应于判断所述第二切换配置消息中包括所述第二切换执行条件ID，由移动终端使用所述第二切换执行条件替换所述第一切换执行条件；
响应于使用所述第二RRC重配置消息替换所述第一RRC重配置消息以及使用所述第二切换执行条件替换所述第一切换执行条件，由移动终端监测由第三基站发送的同步信号；
响应于监测到由第三基站发送的同步信号，由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定所述移动终端与所述第三基站之间的通信链路的第三链路质量；
响应于确定所述第三链路质量，由移动终端判断所述第三链路质量是否高于第三链路质量门限，其中，所述第三链路质量门限是在所述第二切换执行条件中指示的；
如果判断所述第三链路质量高于第三链路质量门限，则由移动终端随机接入所述第三基站；
响应于随机接入所述第三基站，由移动终端断开与所述第一基站的RRC连接；
响应于随机接入所述第三基站，由移动终端向所述第三基站发送所述半导体生产用无尘室的环境信息。


5.如权利要求4所述的基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤：
响应于接收到所述第二切换请求否认消息以及所述第二切换请求确认消息，由第一基站向所述移动终端发送第二切换配置消息，其中，所述第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第一切换执行条件，其中，所述第二RRC重配置消息中指示用于所述移动终端随机接入所述第三基站所需要的配置信息，其中，所述第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联，所述第一切换执行条件与所述第一切换执行条件ID相关联；
响应于接收到所述第二切换配置消息，由移动终端判断所述第二切换配置消息中是否包括不同于所述第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID；
如果判断所述第二切换配置消息中包括不同于所述第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID，则由移动终端判断所述第二切换配置消息中是否包括不同于所述第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID；
响应于判断所述第二切换配置消息中包括所述第一切换执行条件ID，由移动终端继续使用所述第一切换执行条件；
由移动终端监测由第三基站发送的同步信号；
响应于监测到由第三基站发送的同步信号，由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定所述移动终端与所述第三基站之间的通信链路的第三链路质量；
响应于确定所述第三链路质量，由移动终端判断所述第三链路质量是否高于第二链路质量门限，其中，所述第二链路质量门限是在所述第一切换执行条件中指示的；
如果判断所述第三链路质量高于第二链路质量门限，则由移动终端随机接入所述第三基站；
响应于随机接入所述第三基站，由移动终端断开与所述第一基站的RRC连接；
响应于随机接入所述第三基站，由移动终端向所述第三基站发送所述半导体生产用无尘室的环境信息。


6.一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统，其特征在于，所述基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括：
用于由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息的单元；

【专利技术属性】
技术研发人员：王文爽，沈文齐，
申请(专利权)人：蚌埠泰鑫材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34