一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置制造方法及图纸

一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，属于精密仪器制造及测量技术领域；在该装置中，光束整形器件固定在被测主轴的回转端面上，环形标尺光栅固定在光束整形器件上方，斜纹指示光栅位于环形标尺光栅上方，光电转换装置固定在斜纹指示光栅上方，电子信号处理部件位于光电转换部件上方，光源位于光束整形器件工作面的径向，准直扩束系统位于光源与光束整形器件之间；光束整形器件与被测主轴轴线重合，环形标尺光栅与光束整形器件轴线重合，斜纹指示光栅与环形标尺光栅轴线重合，光电转换部件与斜纹指示光栅轴线重合；通过将合作目标光栅与光电转换器件组合，大大减少了装置制作成本，提高测量精度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置
本技术涉及一种径向回转误差测量装置，具体涉及一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，属于精密仪器制造及测量

技术介绍
随着半导体和超净加工技术的不断发展对高速主轴的技术需求日益增加。主轴转速范围从几千转每分钟上升到几万转每分钟，主轴轴系精度也不断提高，其中径向回转误差从几百微米提高到几十微米甚至几微米精度。因此，对高速主轴径向回转误差的测量显得更加重要。主轴回转误差也是反映机床动态性能好坏的关键指标之一，通过对回转误差的测试与分析，可以预测理想加工条件下机床所能达到的最小形状误差、表面质量和粗糙度，也可以用于机床加工预测和补偿控制，判断产生加工误差的原因，以及机床的状态监测和故障诊断，还可为机床主轴回转误差预测、控制提供重要的测试基础。目前在高速主轴径向回转误差测量方面，某公司的主轴误差分析仪SEA其测量主轴转速可高于60000rpm，测量精度可达25μm，但是其测量方法同GJB1801-93提到的方法一致，其电容传感器采样频率最高10KHz，如果转速达到60000rpm本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，其特征在于：包括光源组件、光束整形器(3)、环形标尺光栅(4)、斜纹指示光栅(5)、光电转换部件(6)和电子信号处理部件(7)；/n所述光束整形器(3)固定设置在被测主轴(8)的回转端面上，光束整形器(3)与至少一组光源组件位于同一平面内，光束整形器(3)上依次设置有环形标尺光栅(4)、斜纹指示光栅(5)、光电转换部件(6)和电子信号处理部件(7)，光束整形器(3)、环形标尺光栅(4)、斜纹指示光栅(5)、光电转换部件(6)、电子信号处理部件(7)和被测主轴(8)同轴设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，其特征在于：包括光源组件、光束整形器(3)、环形标尺光栅(4)、斜纹指示光栅(5)、光电转换部件(6)和电子信号处理部件(7)；
所述光束整形器(3)固定设置在被测主轴(8)的回转端面上，光束整形器(3)与至少一组光源组件位于同一平面内，光束整形器(3)上依次设置有环形标尺光栅(4)、斜纹指示光栅(5)、光电转换部件(6)和电子信号处理部件(7)，光束整形器(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘阳，张勇飞，林杰，金岸，金鹏，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23