下载一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置的技术资料

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一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置,属于精密仪器制造及测量技术领域;在该装置中,光束整形器件固定在被测主轴的回转端面上,环形标尺光栅固定在光束整形器件上方,斜纹指示光栅位于环形标尺光栅上方,光电转换装置固定在斜纹指示光栅上方,电...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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