晶圆吸取机构制造技术

本实用新型专利技术公开了晶圆吸取机构，包括：底板、吸盘机构和感应器；所述底板上间隔设置有多通孔，围绕着所述通孔在所述底板的同一侧间隔设置有多个所述吸盘机构，每个所述通孔内还设置有所述感应器，所述感应器用于检测所述通孔处是否吸附有晶圆。该晶圆吸取机构克服现有技术中在对LED晶圆进行搬运时，一般都是通过人员手工逐片搬运，极大地浪费了人力，而且工作效率低下，搬运时稍有不慎就会造成晶圆摔损的问题。

【技术实现步骤摘要】
晶圆吸取机构
本技术涉及LED晶圆加工装置领域，具体地，涉及一种晶圆吸取机构。
技术介绍
现有技术中，在对LED晶圆进行搬运时，一般都是通过人员手工逐片搬运，极大地浪费了人力，而且工作效率低下，搬运时稍有不慎就会造成晶圆摔损的问题发生。因此，提供一种在使用过程中可以有效地解决以上技术问题的晶圆吸取机构是本技术亟需解决的问题。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术的目的是克服现有技术中在对LED晶圆进行搬运时，一般都是通过人员手工逐片搬运，极大地浪费了人力，而且工作效率低下，搬运时稍有不慎就会造成晶圆摔损的问题；从而提供一种在使用过程中可以有效地解决以上技术问题的晶圆吸取机构。为了实现上述目的，本技术提供了一种晶圆吸取机构，所述晶圆吸取机构包括：底板、吸盘机构和感应器；所述底板上间隔设置有多通孔，围绕着所述通孔在所述底板的同一侧间隔设置有多个所述吸盘机构，每个所述通孔内还设置有所述感应器，所述感应器用于检测所述通孔处是否吸附有晶圆。优选地，围绕着所述通孔等间隔设置有多个固定孔，所述吸盘机构能够固定在所述固定孔中。优选地，所述吸盘机构包括：固定杆和吸盘本体，所述吸盘本体固定在所述固定杆的一端，所述固定杆固定在所述固定孔中。优选地，所述固定孔的内侧设置有内螺纹，所述固定杆上设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹，且所述固定杆还通过至少两个固定螺母固定在所述底板上。优选地，所述吸盘机构至少设置三个，且围绕着所述通孔呈等边三角形设置。优选地，所述晶圆吸取机构包括：支撑架、底座，所述底板的下表面通过竖直设置的多根所述支撑架固定在所述底座上，所述底座可滑动地设置在工作台上。优选地，所述底板上与所述感应器位于同一侧上分别安装有感应器安装支架。优选地，所述吸盘本体的盘径为10mm-20mm；多个所述固定孔围绕形成的圆的直径为40mm-60mm。根据上述技术方案，本技术提供的晶圆吸取机构在使用时的有益效果为：可以利用设置在所述底板上的多个吸盘机构对晶圆进行吸取，一块底板上可以吸取多个晶圆，而所述感应器可以用来检测所述通孔处是否吸附有晶圆，当该位置吸取有晶圆时，所述感应器可以感应到，这样可以方便工作人员了解一块底板上有效吸取的晶圆是多少块。本技术提供的晶圆吸取机构可以同时吸取搬运多个晶圆，克服现有技术中在对LED晶圆进行搬运时，一般都是通过人员手工逐片搬运，极大地浪费了人力，而且工作效率低下，搬运时稍有不慎就会造成晶圆摔损的问题。本技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的一种优选的实施方式中提供的晶圆吸取机构的结构示意图；图2是本技术的一种优选的实施方式中提供的晶圆吸取机构的结构示意图；图3是本技术的一种优选的实施方式中提供的晶圆吸取机构上吸盘机构的结构示意图。附图标记说明1底板2通孔3感应器4吸盘机构5固定孔6晶圆7感应器支架8支撑架9底座10工作台41吸盘本体42固定杆43固定螺母具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，“上、下、内、外”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制。如图1-3所示，本技术提供了一种晶圆吸取机构，所述晶圆吸取机构包括：底板1、吸盘机构4和感应器3；所述底板1上间隔设置有多通孔2，围绕着所述通孔2在所述底板1的同一侧间隔设置有多个所述吸盘机构4，每个所述通孔2内还设置有所述感应器3，所述感应器3用于检测所述通孔2处是否吸附有晶圆。在上述方案中，利用设置在所述底板1上的多个吸盘机构4对晶圆进行吸取，一块底板1上可以吸取多个晶圆，而所述感应器3可以用来检测所述通孔2处是否吸附有晶圆，当该位置吸取有晶圆时，所述感应器3可以感应到。所述感应器3是自带红色激光的漫反射型感应器，这样可以方便工作人员了解一块底板1上有效吸取的晶圆是多少块。本技术提供的晶圆吸取机构可以同时吸取搬运多个晶圆，克服现有技术中在对LED晶圆进行搬运时，一般都是通过人员手工逐片搬运，极大地浪费了人力，而且工作效率低下，搬运时稍有不慎就会造成晶圆摔损的问题。在本技术的一种优选的实施方式中，围绕着所述通孔2等间隔设置有多个固定孔5，所述吸盘机构4能够固定在所述固定孔5中。在上述方案中，可以根据晶圆的大小等因素更换不同的吸盘机构4，以及其设置的位置，该结构更加的灵活多变，可以适合不同晶圆的吸取情况。在本技术的一种优选的实施方式中，所述吸盘机构4包括：固定杆42和吸盘本体41，所述吸盘本体41固定在所述固定杆42的一端，所述固定杆42固定在所述固定孔5中。在上述方案中，利用所述吸盘本体41进行晶圆的吸取工作，而所述固定杆42则负责对所述吸盘本体41进行固定，而且还可以根据实际的需要调节所述吸盘本体41吸盘本体41，间接地控制晶圆与所述底板1之间的距离。在本技术的一种优选的实施方式中，所述固定孔5的内侧设置有内螺纹，所述固定杆42上设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹，且所述固定杆42还通过至少两个固定螺母43固定在所述底板1上。在上述方案中，所述固定杆42自身可以固定在所述固定孔5中，再利用至少两个所述固定螺母43将所述固定杆42锁定在所述固定孔5中，一方面可以提高所述吸盘本体41的稳定性，另一方面也方便调节所述吸盘本体41与所述底板1之间的距离，从而满足不同的工作需求。在本技术的一种优选的实施方式中，所述吸盘机构4至少设置三个，且围绕着所述通孔2呈等边三角形设置。在上述方案中，该结构分布的吸盘机构4不仅可以节约成本，而且可以达到很好的吸取晶圆的效果，在对晶圆进行吸取时的稳定性更好。在本技术的一种优选的实施方式中，所述晶圆吸取机构包括：支撑架8、底座9，所述底板1的下表面通过竖直设置的多根所述支撑架8固定在所述底座9上，所述底座9可滑动地设置在工作台10上。在上述方案中，完成对晶圆的吸取工作后，可以利用所述底座9对多个晶圆进行搬运操作，使用也十分便捷。在本技术的一种优选的实施方式中，所述底板1上与所述感应器3位于同一侧上分别设置有感应器支架7，所述感应器3安装在7上。在上述方案中，本技术中的感应器3可以选取是自带红色激光的漫反射型感应器对所述晶圆进行检测，为了保证检测的准确度，在所述底板1上还设置有光路，方便所述感应器3发出光线至所述通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆吸取机构，其特征在于，所述晶圆吸取机构包括：底板(1)、吸盘机构(4)和感应器(3)；/n所述底板(1)上间隔设置有多通孔(2)，围绕着所述通孔(2)在所述底板(1)的同一侧间隔设置有多个所述吸盘机构(4)，每个所述通孔(2)内还设置有所述感应器(3)，所述感应器(3)用于检测所述通孔(2)处是否吸附有晶圆。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆吸取机构，其特征在于，所述晶圆吸取机构包括：底板(1)、吸盘机构(4)和感应器(3)；
所述底板(1)上间隔设置有多通孔(2)，围绕着所述通孔(2)在所述底板(1)的同一侧间隔设置有多个所述吸盘机构(4)，每个所述通孔(2)内还设置有所述感应器(3)，所述感应器(3)用于检测所述通孔(2)处是否吸附有晶圆。


2.根据权利要求1所述的晶圆吸取机构，其特征在于，围绕着所述通孔(2)等间隔设置有多个固定孔(5)，所述吸盘机构(4)能够固定在所述固定孔(5)中。


3.根据权利要求2所述的晶圆吸取机构，其特征在于，所述吸盘机构(4)包括：固定杆(42)和吸盘本体(41)，所述吸盘本体(41)固定在所述固定杆(42)的一端，所述固定杆(42)固定在所述固定孔(5)中。


4.根据权利要求3所述的晶圆吸取机构，其特征在于，所述固定孔(5)的内侧设置有内螺纹，所述固定杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙涛涛，黄亮，吴拓，
申请(专利权)人：芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34