用于仿真集成电路的方法和设备以及计算机可读介质技术

技术编号:25224436 阅读:29 留言:0更新日期:2020-08-11 23:13
本文描述了用于仿真集成电路的方法和设备以及计算机可读介质。在此描述的用于仿真集成电路的方法包括:将集成电路的结构转换为多个元件部分,所述多个元件部分对应于快速仿真库中包括的相应元件结构模型;基于所述快速仿真库确定与所述相应元件结构模型相对应的仿真参数,所述快速仿真库还包括与每一个元件结构模型相对应的仿真参数;以及基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系来对确定的所述仿真参数进行组合,以生成所述集成电路的仿真参数。

【技术实现步骤摘要】
用于仿真集成电路的方法和设备以及计算机可读介质
本公开的实施例一般地涉及集成电路仿真领域,并且更具体地涉及用于仿真集成电路的方法和设备以及计算机可读介质。
技术介绍
技术计算机辅助设计(TCAD)作为半导体工艺和器件仿真工具已广泛用于集成电路的仿真。TCAD工具可以仿真集成电路中半导体器件中的几乎所有部件。然而,现有TCAD工具的标准操作流程需要用户建立物理模型并且逐步绘制半导体器件的详细结构。标准TCAD工具的功能很强大,但是确实需要很多时间和精力来生成仿真参数。对于集成电路中的基本单元结构或重复单元结构,用户在每次仿真时需要重新绘制这些单元结构并且需要重新执行仿真计算,从而生成仿真参数。期望提供用于仿真集成电路的改进方案,其能够使得用户快速地并且便捷地仿真集成电路以获得集成电路的仿真参数。
技术实现思路
本公开的实施例提供了用于仿真集成电路的方法和设备以及计算机可读介质。在第一方面,提供了一种用于仿真集成电路的方法,包括:将集成电路的结构转换为多个元件部分,所述多个元件部分对应于快速仿真库中包括的相应元件结构模型;基于所述快速仿真库确定与所述相应元件结构模型相对应的仿真参数,所述快速仿真库还包括与每一个元件结构模型相对应的仿真参数;以及基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系来对确定的所述仿真参数进行组合,以生成所述集成电路的仿真参数。在一些实施例中,所述快速仿真库中包括的仿真参数是通过对元件结构模型进行预先仿真而获得的。在一些实施例中,所述快速仿真库中包括的仿真参数是通过针对元件结构模型的各个连接点之间进行预先仿真而获得的。在一些实施例中,所述快速仿真库中包括的仿真参数是通过TCAD工具进行预先仿真而获得的。在一些实施例中,基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系来对确定的所述仿真参数进行组合包括:基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系,对确定的所述仿真参数进行求和。在一些实施例中,将集成电路的结构转换为多个元件部分包括:将所述集成电路的结构转换为包括单位组成结构部分的集合,所述单位组成结构部分对应于所述快速仿真库中的一种元件结构模型。在一些实施例中,所述单位组成结构部分包括:线段模型、线段-通孔模型或线段端部模型;所述线段模型为至少位于一层上的结构;所述线段-通孔模型为连接相邻两层上的所述线段模型;所述线段端部模型位于所述线段模型的端部。在一些实施例中,将集成电路的结构转换为多个元件部分包括:将所述集成电路的结构转换为包括图案组成结构部分的集合,所述图案组成结构部分对应于所述快速仿真库中的元件结构模型的集合。在一些实施例中,所述元件结构模型的集合包括布置成图案的多个元件结构模型的集合。在一些实施例中,将集成电路的结构转换为多个元件部分包括:将所述集成电路的结构转换为包括重复结构部分的集合,所述重复结构部分对应于所述快速仿真库中的多种元件结构模型的集合。在一些实施例中,所述元件结构模型的集合包括布置成互连结构的多个元件结构模型的集合。在一些实施例中,多个元件结构模型的集合包括:底部互连结构模型;互连单元结构模型,设置在所述底部互连结构模型之上;旋转互连单元结构模型,设置在所述互连单元结构模型之上,并且在平面图中与所述互连单元结构模型正交。在一些实施例中,所述互连单元结构模型经由所述互连单元结构模型中包括的线段-通孔模型连接到所述底部互连结构模型,并且其中所述旋转互连单元结构模型经由所述旋转互连单元结构模型中包括的线段-通孔模型连接到互连单元结构模型。在一些实施例中,基于所述快速仿真库确定与所述元件结构模型相对应的仿真参数包括:从所述快速仿真库中取回与所述元件结构模型的集合相对应的仿真参数。在一些实施例中,所述快速仿真库被创建在TCAD工具中或者经由应用程序接口与所述TCAD工具对接。在一些实施例中,基于所述快速仿真库确定与所述相应元件结构模型相对应的仿真参数包括:基于给定的工艺条件从所述元件结构模型的统计分布中确定预期元件结构模型,所述元件结构模型的统计分布包括由于所述工艺条件中的工艺偏差引起的多个预期元件结构模型;以及基于所述快速仿真库确定与所述预期元件结构模型相对应的仿真参数,所述快速仿真库包括与所述元件结构模型的统计分布相对应的仿真参数的分布。在一些实施例中,基于工艺条件从所述元件结构模型的统计分布中确定预期元件结构模型包括:通过蒙特卡洛模拟方法确定所述预期元件结构模型。在一些实施例中,所述方法进一步包括:在针对所述给定的工艺条件生成所述集成电路的仿真参数之后:针对其他工艺目标中的每个工艺目标生成所述集成电路的仿真参数;确定生成的所述仿真参数中的优化仿真参数;确定与所述优化仿真参数相对应的优化元件结构模型;确定与所述优化元件结构模型相对应的工艺目标和元件结构模型的统计分布;以及基于所述工艺目标和所述元件结构模型的统计分布确定与所述优化元件结构模型相对应的工艺条件。在一些实施例中,所述工艺目标包括光刻、蚀刻、沉积或掺杂。在一些实施例中,所述元件结构模型包括掺杂类型、掺杂浓度、掺杂区域。在第二方面,提供了一种电子设备。该电子设备包括:处理单元;存储器,耦合至所述处理单元并且包括存储于其上的程序,所述程序在由所述处理单元执行时使所述电子设备执行根据权利要求1至18中任一项所述的方法。在第二方面,提供了一种计算机可读存储介质。该计算机可读存储介质上存储有机器可执行指令,当所述机器可执行指令在被至少一个处理器执行时,使得所述至少一个处理器实现上述方法。根据本公开的实施例的基于快速仿真库的模块化仿真方法,用户可以从快速仿真库确定与集成电路的结构中重复单元结构或常用单元结构相对应的仿真参数,而在仿真集成电路的过程中不需要花费大量的精力和时间来构件仿真结构模型。附图说明通过结合附图对本公开示例性实施例进行更详细的描述,本公开的上述以及其他目的、特征和优势将变得更加明显,其中,在本公开示例性实施例中,相同的参考标号通常代表相同部件。图1示出了集成电路中的互连结构的示意图;图2是示出根据本公开的实施例的用于仿真集成电路的方法的流程图;图3是示出根据本公开的实施例的多个元件部分的集合300的示意图;图4A至图4C是示出根据本公开的实施例的元件结构模型的示意图;图5A和图5B是示出根据本公开的实施例的元件部分的示意图,图5C是示出根据本公开的实施例的元件结构模型的示意图;图6A至图6C是示出根据本公开的实施例的用于仿真集成电路的方法的各个阶段的示意图;图7示出了集成电路的结构中的重复布置的互连单元的示意图;图8是示出根据本公开的实施例的元件部分的集合和互连单元结构模型的示意图;图9A至图9D是示出用于仿真具有垂直互连结构的集成电路的方法中的各个阶段的示意图;图10是示出根据本公开的实施例的预期元件结构模型的分布的示意图。...

【技术保护点】
1.一种用于仿真集成电路的方法,包括:/n将集成电路的结构转换为多个元件部分,所述多个元件部分对应于快速仿真库中包括的相应元件结构模型;/n基于所述快速仿真库确定与所述相应元件结构模型相对应的仿真参数,所述快速仿真库还包括与每一个元件结构模型相对应的仿真参数;以及/n基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系来对确定的所述仿真参数进行组合,以生成所述集成电路的仿真参数。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于仿真集成电路的方法,包括:
将集成电路的结构转换为多个元件部分,所述多个元件部分对应于快速仿真库中包括的相应元件结构模型;
基于所述快速仿真库确定与所述相应元件结构模型相对应的仿真参数,所述快速仿真库还包括与每一个元件结构模型相对应的仿真参数;以及
基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系来对确定的所述仿真参数进行组合,以生成所述集成电路的仿真参数。


2.根据权利要求1所述的方法,其中所述快速仿真库中包括的仿真参数是通过对元件结构模型进行预先仿真而获得的。


3.根据权利要求2所述的方法,其中所述快速仿真库中包括的仿真参数是通过针对元件结构模型的各个连接点之间进行预先仿真而获得的。


4.根据权利要求2所述的方法,其中所述快速仿真库中包括的仿真参数是通过TCAD工具进行预先仿真而获得的。


5.根据权利要求1所述的方法,基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系来对确定的所述仿真参数进行组合包括:
基于所述多个元件部分中的各个元件部分之间的连接关系,对确定的所述仿真参数进行求和。


6.根据权利要求1所述的方法,其中将集成电路的结构转换为多个元件部分包括:
将所述集成电路的结构转换为包括单位组成结构部分的集合,所述单位组成结构部分对应于所述快速仿真库中的一种元件结构模型。


7.根据权利要求6所述的方法,所述单位组成结构部分包括:线段模型、线段-通孔模型或线段端部模型;
所述线段模型为至少位于一层上的结构;
所述线段-通孔模型为连接相邻两层上的所述线段模型;
所述线段端部模型位于所述线段模型的端部。


8.根据权利要求1所述的方法,其中将集成电路的结构转换为多个元件部分包括:
将所述集成电路的结构转换为包括图案组成结构部分的集合,所述图案组成结构部分对应于所述快速仿真库中的元件结构模型的集合。


9.根据权利要求8所述的方法,其中所述元件结构模型的集合包括布置成图案的多个元件结构模型的集合。


10.根据权利要求1所述的方法,其中将集成电路的结构转换为多个元件部分包括:
将所述集成电路的结构转换为包括重复结构部分的集合,所述重复结构部分对应于所述快速仿真库中的多种元件结构模型的集合。


11.根据权利要求10所述的方法,其中所述元件结构模型的集合包括布置成互连结构的多个元件结构模型的集合。


12.根据权利要求11所述的方法,其中多个元件结构模型的集合包括:
底部互连结构模型;
互连单元结构模型,设置在所述底部互连结构模型之上;
旋转互连单元结构模型,设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:全芯智造技术有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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