一种正硅酸乙酯充装钢瓶的处理系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种正硅酸乙酯充装钢瓶的处理系统，包括：待处理的钢瓶；有机试剂储罐；所述有机试剂储罐与待处理的钢瓶相连通；3A分子筛；所述3A分子筛与待处理的钢瓶相连通；二级过滤器；所述二级过滤器与3A分子筛相连通；闪蒸器；所述闪蒸器与二级过滤器相连通；高纯氮气罐；所述高纯氮气罐与待处理的钢瓶相连通；超纯水清洗器；所述超纯水清洗器与待处理的钢瓶相连通；干燥装置，所述干燥装置与待处理的钢瓶相接触。本实用新型专利技术先将待处理钢瓶内的残液通过有机试剂进行回收，然后采用高纯氮气进行置换吹扫，再用超纯水进行清洗，最后干燥即可得到处理后合格的钢瓶，处理过程操作流程简单，残液与纯水回收，环保，污染少，处理效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种正硅酸乙酯充装钢瓶的处理系统
本技术属于半导体
，尤其涉及一种正硅酸乙酯充装钢瓶的处理系统。
技术介绍
随着半导体行业的发展，其对制程的主要工艺离子注入、扩散、外延生长及光刻提出了更高的要求，而这也对湿化学品提出了更高的要求。目前超高纯正硅酸乙酯主要应用于集成电路低压化学气相淀积工艺(LPCVD)，正硅酸乙酯从液态蒸发成气态，在700℃～750℃、300mTOR压力下分解在硅片表面淀积生成二氧化硅薄膜，在一定程度上克服SiC氧化层过薄和等离子增强化学气相沉积法(PECVD)二氧化硅层过于疏松的弊端，保证了氧化层介质的致密性及其与SiC晶片的粘附能力，提高了器件的电性能和成品率，且避免了为获得一定厚度氧化层长时间高温氧化的不足，因此电子级正硅酸乙酯在集成电路行业的需求不断提高。但如果正硅酸乙酯中的固体颗粒、金属离子、水分、色谱等超标，将严重影响硅片中电路内各元器件的性能甚至损坏电路，甚至芯片报废。因此，需要正硅酸乙酯满足纯度要求，达到高纯指标，满足制程要求。而储存和运输大量的正硅酸乙酯是通过钢瓶进行的。这对于包装物钢瓶的洁净程度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种正硅酸乙酯充装钢瓶的处理系统，其特征在于，包括：/n待处理的钢瓶；/n有机试剂储罐；所述有机试剂储罐与待处理的钢瓶相连通；/n3A分子筛；所述3A分子筛与待处理的钢瓶相连通；/n二级过滤器；所述二级过滤器与3A分子筛相连通；/n闪蒸器；所述闪蒸器与二级过滤器相连通；/n高纯氮气罐；所述高纯氮气罐与待处理的钢瓶相连通；/n超纯水清洗器；所述超纯水清洗器与待处理的钢瓶相连通；/n干燥装置，所述干燥装置与待处理的钢瓶相接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种正硅酸乙酯充装钢瓶的处理系统，其特征在于，包括：
待处理的钢瓶；
有机试剂储罐；所述有机试剂储罐与待处理的钢瓶相连通；
3A分子筛；所述3A分子筛与待处理的钢瓶相连通；
二级过滤器；所述二级过滤器与3A分子筛相连通；
闪蒸器；所述闪蒸器与二级过滤器相连通；
高纯氮气罐；所述高纯氮气罐与待处理的钢瓶相连通；
超纯水清洗器；所述超纯水清洗器与待处理的钢瓶相连通；
干燥装置，所述干燥装置与待处理的钢瓶相接触。


2.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，还包括蒸汽清洗器；所述蒸汽清洗器与待处理的钢瓶相连通。


3.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，还包括分子筛；所述有机试剂储罐通过分子筛与待处理的钢瓶相连通。

【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，孙猛，王新喜，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32