二维坐标测量仪制造技术

本发明专利技术提供一种二维坐标测量仪。其以式样不同的多个被测定物为拍摄对象，测定各被测定物上的测定对象的尺寸。当以中型光罩（２８ａ）为测定对象时，将中型光罩配置在测量仪本体（１２）上部的测定台（２４）上，使Ｙ轴移动台（４６）沿Ｙ轴框体（２６）移动，使测量头（４８）沿Ｙ轴移动台、移动，用摄像单元（５６、５８、６０）中的任一个拍摄中型光罩上的图形；当以大型光罩（２８ｂ）为测定对象时，将大型光罩配置在框体（３８）和装载件（４０）上，使Ｙ轴移动台、沿Ｙ轴框体、移动，同时使测量头、沿Ｙ轴移动台、移动，用向上的摄像单元（６２）拍摄大型光罩（２８ｂ）上的图形，用ＰＣ（５０）处理各拍摄结果，将处理结果显示在显示装置（５２）的画面中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将被测定物作为被摄体进行拍摄，处理通过拍摄获得的图像来测定被测定物的尺寸而构成的二维坐标测量仪。
技术介绍
作为二维坐标测量仪，我们已经知道具有与平行延伸铺设的Y轴导轨直交并滑动自如地配置在Y轴导轨上的X轴框体、使该X轴框体沿导轨在Y轴方向移动的Y轴驱动单元、沿X轴框体的长度方向移动自如地配置的检测单元、使该检测单元沿X轴框体在X轴方向移动的X轴驱动单元、从检测单元的下方或上方照射被测定物的光源，使检测单元沿二维方向移动来检测被测定物上的图形等的尺寸和坐标等的装置(参照专利文献1)。另一方面，作为二维坐标测量仪的被测定物，近年大多使用形成薄型等离子电视的显示画面用的光罩(スクリ一ン版)。该光罩为有例如边长大约1600mm外形尺寸的平版，在该光罩上印刷用来形成多个显示画面的图形。通过用二维坐标测量仪测定该图形的线宽等，能够检查图形的精度等。并且，随着薄型等离子电视的大型化，制成外形尺寸为边长大约2500mm的平版作为光罩，为了测定这种光罩(中型光罩)，使二维坐标测量仪大型化以便与光罩的形状相适应。但是，随着薄型等离子电视的大型化，可以想象，今后还可能出现外形尺寸为边长大约3500mm的平版作为光罩。如果为了测定这种光罩(大型光罩)而与光罩的形状相对应地构成二维坐标测量仪的话，则不仅测量仪本体的尺寸变得过大，增加设定空间，而且测量仪的重量也增加。即，由于二维坐标测量仪采用在测量仪本体的上部设置玻璃制的测定台，在玻璃台的两侧配置Y轴导轨，在该Y轴导轨上滑动自如地配置X轴框体，将作为测量头的检测单元固定在X轴框体上，并使检测单元沿X轴框体在X轴方向上移动，同时使X轴框体沿Y轴导轨在Y轴方向上移动的结构，因此如果随着光罩的大型化而单单增大测定台的话，则测量仪本体的尺寸变大，不仅增加设置空间，而且增加测量仪的重量。结果不仅使制造成本大大提高，而且使测量仪搬运变得困难。日本特开平7-12512号公报(第2页～第4页，图1)
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述以往技术的问题，其目的是以多个式样不同的被测定物为拍摄对象，测定各被测定物上的测定对象的尺寸。为了解决上述问题，第1种方案的二维坐标测量仪包括支承多个被测定物中的一个被测定物的第1支承构件；与上述一个被测定物之间留有空间部、并支承与上述一个被测定物相向配置的另一个被测定物的第2支承构件；以上述多个被测定物为拍摄对象、可以移动地配置在上述空间部内的测量头；与上述一个支承构件相连、以上述空间部作为二维测量头移动区域、使上述测量头在整个上述测量头移动区域内移动的驱动机构；控制上述驱动机构的驱动的控制机构；以及，处理上述测量头拍摄的图像来测定上述各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)的图像处理机构；上述测量头拍摄上述多个被测定物上的测定对象中的、与上述测量头移动区域相对应的区域中存在的测定对象。由于用第1支承构件支承式样不同的多个被测定物中的一个被测定物，用与第1支承构件相连的第2支承构件支承另一个被测定物，以一个被测定物与另一个被测定物之间的空间作为二维测量头移动区域使测量头在整个测量头移动区域内移动，因此即使以式样不同的多个被测定物为拍摄对象，通过用测量头拍摄各被测定物上的测定对象，也能够以式样不同的多个被测定物为拍摄对象测定各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)。并且，与式样不同的多个被测定物有关的测定能够用1台测量仪来进行。本专利技术第2方案的二维坐标测量仪包括支承大小不同的多个被测定物中大小较小的一个被测定物的第1支承构件；与上述一个被测定物之间留有空间部、并支承与上述一个被测定物相向配置的另一个被测定物的第2支承构件；以上述多个被测定物为拍摄对象、可以移动地配置在上述空间部内的测量头；与上述一个支承构件相连、以上述空间部中的比上述一个被测定物上的测定对象存在区域宽的二维区域为测量头移动区域、使上述测量头在整个上述测量头移动区域内移动的驱动机构；控制上述驱动机构的驱动的控制机构；以及，处理上述测量头拍摄的图像来测定上述各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)的图像处理机构；用上述第1支承构件构成测量仪本体，上述测量头拍摄上述多个被测定物上的测定对象中的、与上述测量头移动区域相对应的区域中存在的测定对象。由于用第1支承构件支承大小不同的多个被测定物中大小较小的一个被测定物，同时用与第1支承构件相连的第2支承构件支承另一个被测定物，以一个被测定物与另一个被测定物之间的空间部、比一个被测定物上的测定对象存在区域宽的二维区域作为测量头移动区域，使测量头在整个测量头移动区域内移动，因此即使以大小不同的多个被测定物为拍摄对象，也能够通过用测量头拍摄各被测定物上的测定对象以大小不同的多个被测定物为拍摄对象测定各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)。并且，与大小不同的多个被测定物有关的测定能够用1台测量仪进行。并且，由于隔着测量头移动区域地配置支承大小不同的多个被测定物中大小较小的一个被测定物的第1支承构件和支承大小较大的另一个被测定物的第2支承构件，用第1支承构件构成测量仪本体，因此与按照大小较大的被测定物来构成测量仪本体时相比，能够抑制设置空间随被测定物的大型化而增大、测量仪重量的增加。本专利技术第3方案的二维坐标测量仪使第1、第2方案中的二维坐标测量仪中的测量头包括拍摄上述一个被测定物上的测定对象的第1拍摄机构、以及拍摄上述另一个被测定物上的测定对象的第2拍摄机构。通过在测量头中配置第1拍摄机构和第2拍摄机构，能够用各拍摄机构分别拍摄各被测定物上的测定对象。本专利技术第4方案的二维坐标测量仪使第1、第2方案中的二维坐标测量仪中的上述测量头包括拍摄上述多个被测定物中的任一个被测定物上的测定对象的拍摄机构；以及旋转自由地支承上述拍摄机构、并将上述拍摄机构的拍摄方向切换到上述任一个被测定物的方向的切换机构。通过在测量头中配置拍摄机构和切换拍摄机构的拍摄方向的切换机构，将拍摄机构的拍摄对象切换为多个被测定物中的任一个被测定物，用1台拍摄机构就能拍摄多个被测定物。本专利技术的效果在于，如从上述说明能够明白的那样，如果采用本专利技术第1种方案的二维坐标测量仪，不仅能够以式样不同的多个被测定物为拍摄对象测定各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)，而且与式样不同的多个被测定物有关的尺寸(坐标)的测定能够用1台测量仪进行。如果采用本专利技术第2方案的二维坐标测量仪，则不仅能够以大小不同的多个被测定物为拍摄对象测定各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)，而且与大小不同的多个被测定物有关的尺寸(坐标)测定能够用1台测量仪进行。并且，与按照大小较大的被测定物来构成测量仪本体时相比，能够抑制设置空间随被测定物的大型化而增大、测量仪重量的增加。如果采用第3方案，能够用各拍摄机构分别拍摄各被测定物上的测定对象。如果采用第4方案，能够用1台拍摄机构来拍摄多个被测定物。附图说明图1是表示本专利技术的二维坐标测量仪的一个实施例的透视图。图2是图1的A-A线剖视图。图3是图1的B-B线剖视图。图4(a)(b)是光罩的透视图。图5是测量头的剖视图。具体实施例方式下面根据实施例说明本专利技术的实施方式。图1为表示本专利技术的二维坐标测量仪的一个实施例的透视图，图2为图1的A-A线剖视图，图3为图1的B-B线剖视图，图4为光罩(スクリ一ン版本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维坐标测量仪，其特征在于，包括：支承多个被测定物中的一个被测定物的第１支承构件；与上述一个被测定物之间留有空间部、并支承与上述一个被测定物相向配置的另一个被测定物的第２支承构件；以上述多个被测定物为拍摄对象、可以移动地配置在上述空间部内的测量头；与上述一个支承构件相连、以上述空间部作为二维测量头移动区域、使上述测量头在整个上述测量头移动区域内移动的驱动机构；控制上述驱动机构的驱动的控制机构；以及，处理上述测量头拍摄的图像来测定上述各被测定物上的测定对象的尺寸（坐标）的图像处理机构；上述测量头拍摄上述多个被测定物上的测定对象中的、与上述测量头移动区域相对应的区域中存在的测定对象。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田中和规，
申请(专利权)人：株式会社扫佳，
类型：发明
国别省市：JP[日本]