真空蒸镀设备中Mask的清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法，所述Mask本体的材质为铝、钛、不锈钢或合金，包括以下步骤：以硝酸溶液为电解液，以待清洗Mask作为阳极，将所述待清洗Mask和阴极分别浸入所述电解液，在所述待清洗Mask和所述阴极之间施加电源，所述待清洗Mask与所述电源的正极连接，所述阴极与所述电源的负极连接，使所述待清洗Mask表面的金属膜溶解于所述电解液，得到清洗后的Mask。硝酸溶液使Mask本体表面形成致密的氧化物薄膜，在保护Mask的同时，优先去除Mask上的金属膜，不仅满足清洁度要求，而且不损伤Mask本体，同时，节约清洗药品用量。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀设备中Mask的清洗方法
本专利技术涉及光电面板制造
，更具体地，涉及真空蒸镀设备中Mask的清洗方法。
技术介绍
光电显示面板，例如，液晶面板、电致发光显示面板、发光二极管显示面板、有机发光二极管显示面板、触控面板、等离子体显示面板、场发射显示面板、激光显示面板等，被广泛应用在手机、电脑、电视、家用电器电子显示屏等电子设备中。光电显示面板在加工过程中，其中一道工序是在光电基材上镀上一层导电金属膜层，例如，铜膜、钼膜等，在真空蒸镀的过程中，真空蒸镀设备中的Mask也会被溅到少许导电金属膜液，长期使用后，Mask表面会积累导电金属污渍，影响镀膜的正常进行，必须要对Mask进行清洗，以被重复利用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法，所述Mask的材质为铝、钛、不锈钢或合金，其特征在于，包括以下步骤：以硝酸溶液为电解液，以待清洗Mask作为阳极，将所述待清洗Mask和阴极分别浸入所述电解液，在所述待清洗Mask和所述阴极之间施加电源，所述待清洗Mask与所述电源的正极连接，所述阴极与所述电源的负极连接，使所述待清洗Mask表面的金属膜溶解于所述电解液，得到清洗后的Mask，溶解于所述电解液的金属离子在所述阴极被还原成金属并沉积被回收。实施本专利技术实施例，将具有如下有益效果：本专利技术实施例采用电解的方法，通过采用硝酸溶液为电解液，使待清洗Mask的本体的表面生成致密的氧化物薄膜，保护内部的本体，通过使待清洗Mask作为阳极，待清洗Mask表面的金属膜优先被溶解，使Mask本体被更好的保护，并且，被溶解的金属离子在阴极重新沉淀被回收，提高金属的利用率；整个电解过程未消耗硝酸，硝酸可重复使用，节约硝酸用量，且避免硝酸因发生化学反应产生大量的黄烟对周围环境的污染，以及避免废水处理。和现有技术的硝酸浸泡相比，本专利技术的清洗方法具有硝酸消耗量低、金属利用率高、Mask本体损耗量低以及环境友好的优点。具体实施方式下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术公开了一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法，Mask的材质为铝或钛，包括以下步骤：以硝酸溶液为电解液，以待清洗Mask作为阳极，将待清洗Mask和阴极分别浸入电解液，在待清洗Mask和阴极之间施加电源，待清洗Mask与电源的阳极连接，阴极与电源的阴极连接，使待清洗Mask表面的金属膜溶解于电解液，得到清洗后的Mask，溶解于电解液的金属离子在阴极被还原成金属并沉积被回收。本专利技术采用电解池的原理，在整个电解反应过程中，硝酸未发生化学反应，硝酸未被消耗，电解液可重复使用，不仅节约硝酸使用成本，而且避免因硝酸发生反应产生的大量黄烟对环境的影响，以及避免处理废水。另一方面，Mask本体的材质为铝、钛、不锈钢或合金，在硝酸电解液中，本体表面会形成一层致密的氧化物薄膜，其能阻止内部的本体与硝酸溶液进一步反应，从而使本体得到保护，降低Mask本体的损耗。本专利技术一方面在保护Mask本体的同时，去除金属膜污渍，并且对金属完成回收，提高金属的利用率；另一方面，避免消耗硝酸，避免硝酸发生反应对周围环境的影响以及随之增加的废水处理，节约硝酸使用成本和废水处理成本，提高环境友好度。优先地，硝酸溶液的浓度为0.5mol/L～3mol/L。为了降低电解液的超电压，以及对Mask本体进行保护，优选地，硝酸溶液中还包括添加剂，添加剂的浓度为0.1g/L～1g/L，添加剂选自骨胶、硫脲和干络素中的两种或三种。优先地，电源的电流密度为200A/m2～250A/m2，电源的电压为1.5V～2V，电解时间为24小时～96小时。Mask用电解的方法被清洗后，还依次进行水洗、超声水洗、喷砂处理和电弧清洗的步骤。在水洗步骤中，采用高压水冲洗的方法，去除Mask上的电解液和杂质，优选地，水洗的压力为180巴～260巴，水洗时间为10秒～30秒。在超声水洗步骤中，超声水洗的超声频率为20Hz～40Hz，超声水洗的时间为5min～20min。在喷砂处理的步骤中，采用机械摩擦的方法进一步去除残余的金属膜，以及对Mask本体进行光滑处理，使其满足蒸镀工艺中对粗糙度的要求，优选地，喷砂处理的砂材型号为W60#，喷砂处理的喷砂压力为3kg/cm2～4kg/cm2，时长为5分钟～10分钟。由于Mask本体表面具有氧化物薄膜，优选地，采用电弧清洗的方法去除氧化物及其它有机杂质。优选地，电弧层厚度为10μm～25μm，气压为3kg～5kg，电流为60A～80A，时长为5分钟～10分钟。优选地，阴极为不锈钢板，溶液于电解液中的金属离子在不锈钢板上沉积，回收时，采用机械剥离方法回收金属，不锈钢板可以被重复使用。优选地，待清洗Mask表面的金属膜为铜膜或钼膜，皆可以使用上述方法对金属膜进行清洗。以下具体实施例中，待清洗Mask表面的金属膜为铜膜，电解池发生的化学反应为：阴极：Cu2++2e＝Cu；阳极：Cu-2e＝Cu2+。实施例11)配制0.5mol/L的硝酸溶液为电解液，加入骨胶0.2g/L，加入硫脲0.3g/L，加入干络素0.5g/L，使添加剂的浓度为1g/L。2)将待清洗Mask放入钛制工件篮中，将钛制工件篮浸入电解液，以不锈钢板为阴极也插入电解液，钛制工件篮连接直流电源的正极，不锈钢板连接直流电源的负极，设置直流电源的电压为2V，输出的电流密度为200A/cm2，电解60小时。3)对步骤2)得到的Mask进行反复高压水洗，水洗的压力为180巴，冲洗时长20秒。4)将步骤3)得到的Mask进行超声清洗，超声频率为20Hz，超声水洗的时间为20min。5)将步骤4)得到的Mask进行喷砂处理，喷砂处理的砂材型号为W60#，喷砂处理的喷砂压力为3kg/cm2，时长为8分钟。6)将步骤5)得到的Mask送至电弧室进行电弧清洗，设置电弧层厚度为10μm，气压为3kg，电流为60A，时长为8分钟。7)将步骤6)得到的Mask进行清洗和烘干，并密封包装待回用。实施例21)配制3mol/L的硝酸溶液为电解液，加入骨胶0.1g/L，加入硫脲0.5g/L，使添加剂的浓度为0.6g/L。2)将待清洗Mask放入钛制工件篮中，将钛制工件篮浸入电解液，以不锈钢板为阴极也插入电解液，钛制工件篮连接直流电源的正极，不锈钢板连接直流电源的负极，设置直流电源的电压为1.5V，输出的电流密度为250A/cm2，电解60小时。3)对步骤2)得到的Mask进行反复高本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法，所述Mask本体的材质为铝、钛、不锈钢或合金，其特征在于，包括以下步骤：/n以硝酸溶液为电解液，以待清洗Mask作为阳极，将所述待清洗Mask和阴极分别浸入所述电解液，在所述待清洗Mask和所述阴极之间施加电源，所述待清洗Mask与所述电源的正极连接，所述阴极与所述电源的负极连接，使所述待清洗Mask表面的金属膜溶解于所述电解液，得到清洗后的Mask，溶解于所述电解液的金属离子在所述阴极被还原成金属并沉积被回收。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法，所述Mask本体的材质为铝、钛、不锈钢或合金，其特征在于，包括以下步骤：
以硝酸溶液为电解液，以待清洗Mask作为阳极，将所述待清洗Mask和阴极分别浸入所述电解液，在所述待清洗Mask和所述阴极之间施加电源，所述待清洗Mask与所述电源的正极连接，所述阴极与所述电源的负极连接，使所述待清洗Mask表面的金属膜溶解于所述电解液，得到清洗后的Mask，溶解于所述电解液的金属离子在所述阴极被还原成金属并沉积被回收。


2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述硝酸溶液的浓度为0.5mol/L～3mol/L。


3.根据权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述硝酸溶液中还包括添加剂，所述添加剂的浓度为0.1g/L～1g/L，所述添加剂选自骨胶、硫脲和干络素中的两种或三种。


4.根据权利要求1～3任意一项所述的清洗方法，其特征在于，所述电源的电流密度为200A/m2～2...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊志红，郑思温，
申请(专利权)人：深圳仕上电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44