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本发明公开了一种真空蒸镀设备中Mask的清洗方法，所述Mask本体的材质为铝、钛、不锈钢或合金，包括以下步骤：以硝酸溶液为电解液，以待清洗Mask作为阳极，将所述待清洗Mask和阴极分别浸入所述电解液，在所述待清洗Mask和所述阴极之间施加...
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