【技术实现步骤摘要】
再生气预热装置
本技术涉及再生气预热装置,属于半导体
技术介绍
在纯化再生工艺中,由于进入纯化器内部的气体流量较大,且气体温度低于纯化器内部纯化再生时的温度,从而不能确保该再生工艺的稳定进行。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于:提供再生气预热装置,它解决了因进入纯化器内部的气体流量较大,且气体温度低于纯化器内部纯化再生时的温度,从而不能确保该再生工艺稳定进行的问题。本技术所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现:再生气预热装置,包括纯化罐,所述纯化罐包括罐体和外壳,所述罐体位于外壳的内部,所述罐体外侧壁顶部固定连接有加热器,所述罐体的顶部安装有预热夹块,且所述预热夹块的底端侧壁还与加热器的内壁相接触,所述预热夹块的外部固定套接有盘管,所述盘管的一端贯穿并伸出外壳,位于外壳内部的盘管一端的端部与罐体内部相连通。作为优选实例,所述盘管的外侧壁与外壳的连接处为密封连接。作为优选实例,位于外壳外部的盘管端部连通再生进气管接头。作为优选实例,所述罐体的底部还连通设有再生出气管接头,所述再生出气管接头也贯穿并伸出外壳,且所述再生出气管接头的外侧壁与外壳的连接处也为密封连接。作为优选实例,所述纯化罐的顶部连通有出气管,所述纯化罐的底部连通有进气管,且所述进气管外壁和出气管外壁分别与外壳连接处均为密封连接。本技术的有益效果是:本技术先由再生气经过与装有再生气源的储罐相连通的再生进气管接头,进入盘管中,位于外壳内部的盘管一端增加了预热夹块, ...
【技术保护点】
1.再生气预热装置,包括纯化罐,其特征在于:所述纯化罐包括罐体和外壳,所述罐体位于外壳的内部,所述罐体外侧壁顶部固定连接有加热器,所述罐体的顶部安装有预热夹块,且所述预热夹块的底端侧壁还与加热器的内壁相接触,所述预热夹块的外部固定套接有盘管,所述盘管的一端贯穿并伸出外壳,位于外壳内部的盘管一端的端部与罐体内部相连通。/n
【技术特征摘要】
1.再生气预热装置,包括纯化罐,其特征在于:所述纯化罐包括罐体和外壳,所述罐体位于外壳的内部,所述罐体外侧壁顶部固定连接有加热器,所述罐体的顶部安装有预热夹块,且所述预热夹块的底端侧壁还与加热器的内壁相接触,所述预热夹块的外部固定套接有盘管,所述盘管的一端贯穿并伸出外壳,位于外壳内部的盘管一端的端部与罐体内部相连通。
2.根据权利要求1所述的再生气预热装置,其特征在于:所述盘管的外侧壁与外壳的连接处为密封连接。
3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:江晓松,
申请(专利权)人:上海先普气体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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