反馈型激光干涉计，是一种利用物理光学干涉原理观测机械工件的光洁度、平整度、形状及夹角的精密测量仪器。它设置有半导体激光器ＬＤ，透镜Ｌ、反射镜Ｍ↓［１］和Ｍ↓［２］，半反射镜ＢＳ。其特征是：在成象区Ｅ与半导体激光器ＬＤ之间设置有反馈电路，产生反馈电流的组件由针孔板ｄ、光电管ＰＤ和放大器Ａ构成。本实用新型专利技术的特点是：抗干扰能力强，能在生产现场对机械工件进行观测。（*该技术在2004年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及精密测量仪器，是一种利用物理光学干涉原理观测机械工件的光洁度、平整度、形状及夹角的反馈型激光干涉计。现有的激光干涉计，参看附图说明图1，它设置有半导体激光器LD，反射镜M1和M2、半反射镜BS，电流Io激发LD发出光束，经透镜L成为平行光。再经半反射镜BS分成互相垂直的反射平行光和透射平行光，前者射到M2后沿原路返回，透过BS到达成相区E处；后者经M1反射后沿原路返回，再由BS反射也到达E处，由于这两条光束之间存在位相差，在E处便有干涉条纹图象产生。因图象的形状与M1、M2的表面状态有关，从这里就可获得有关被测物(M1或M2)的表面状态信息。这种高精度测量必须在实验室进行。本技术的目的在于提供一种能在生产现场使用的反馈型激光干涉计，它能在有机械性噪音的生产现场中，正常观测，抗干扰性强。本技术的目的是这样实现的，它设置有半导体激光器LD、透镜L、反射镜M1和M2、半反射镜BS，其特征是在成象区E与半导体激光器LD之间设置有反馈电路，产生反馈电流的组件则由针孔板d，光电管PD和放大器A构成。当在生产现场进行观测时，由于机械性噪音振动，会导致干涉图象模糊不清，此时，穿过针孔板d的干涉图象光照到光电管PD上成为电信号，再经放大器A放大的电信号反馈到LD，使光频率f作相应的变化，使位相回到原来的值，使干涉图象清晰，即反馈型激光干涉计具备了抗干扰能力。现在叙述反馈型激光干涉针能提高抗干扰能力的理论分析。参看图2，由于来到E处的两条光束之间有位相差，才产生干涉条纹，位相差δ与干涉条纹强度P的关系式为δ＝ (4πfD)/(C) ① 和 P＝a＋bcos δ ②C为真空中光速，a、b是与光学系统有关的常数。从式中知，要保持干涉条纹强度P稳定，就需保持位相差δ稳定，从①式知，需要保持激光频率f与光路差D的乘积不变来实现。当干涉计在生产现场使用机械性干扰振动导致干涉图象不稳时，我们是利用半导体激光器所发射光频率f与它的注入电流成正比的特点，在干涉计内增设一条反馈电路，从而实现D与f总是彼长此消地变化，保持乘积稳定，实现图象清晰的。本技术的反馈型激光干涉计，其特点是抗干扰能力强，能在生产现场对机械工件进行观测。下面结合实施例和附图进一步叙述。实施例在一台泰曼－－格林型激光干涉计上增设反馈电路后就成为本技术的实施例，图2为本实施例的光路原理图，图中虚线为光路，实线为电路。干涉计上的半导体激光器为日本产的HL7806G型，光电管系用北京产的2Cu101A型，放大器系用日本产的upc151C型，针孔板d的针孔直径为0.5mm，现以此去检查机械工件的平整度，当M1物体表面的图样。参看图3，当外界干扰振动在频率为25～1000HZ，振幅在9um以内时，图仍保持清晰。若不加反馈装置，则此时的图样模糊不清如图4，无法观测。本方案的增设反馈电路的作法，对各种以半导体激光器作为光源的干涉计均能适用，并能取得提高抗干扰能力的显著效果。现在叙述附图和图面说明附图共四幅，图1为现有的激光干涉计的干涉图象成象原理图，图2为本技术的反馈型激光干涉计的干涉图象成象原理图，图3为正常的干涉图样，特征是条纹清晰，图4为不正常的干涉图样，特征是条纹模糊，图1图2中虚线表示光路，箭头表示光的走向，图2中的实线表示反馈电路的联线，图中各符号的意义是LD－半导体激光器M1，M2－反射镜BS－半反射镜IO－电流L－透镜E－成象区d－针孔板PD－光电管A－放大器权利要求反馈型激光干涉计设置有半导体激光器LD，透镜L、反射镜M1和M2、半反射镜BS，其特征是在成象区E与半导体激光器LD之间设置有反馈电路，产生反馈电流的组件由针孔板d、光电管PD和放大器A构成。专利摘要反馈型激光干涉计，是一种利用物理光学干涉原理观测机械工件的光洁度、平整度、形状及夹角的精密测量仪器。它设置有半导体激光器LD，透镜L、反射镜M文档编号G01B9/02GK2193993SQ94203399公开日1995年4月5日 申请日期1994年2月3日 优先权日1994年2月3日专利技术者艾勇 申请人:艾勇本文档来自技高网...
【技术保护点】
反馈型激光干涉计设置有半导体激光器ＬＤ，透镜Ｌ、反射镜Ｍ１和Ｍ２、半反射镜ＢＳ，其特征是：在成象区Ｅ与半导体激光器ＬＤ之间设置有反馈电路，产生反馈电流的组件由针孔板ｄ、光电管ＰＤ和放大器Ａ构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：艾勇，
申请(专利权)人：艾勇，
类型：实用新型
国别省市：42[中国|湖北]
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