基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法技术

本发明专利技术涉及基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，属于非球面面型参数测量领域。旨在利用基于斜率非球面度的最接近比较球面，实现部分补偿法非球面顶点曲率半径误差的测量，构成一种全新的非球面参数误差测量方法。本发明专利技术为基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，用于激光干涉法测量非球面的顶点曲率半径误差。应用本方法，可以获得非球面的最佳补偿位置，通过测量理想非球面与实际非球面的最佳补偿位置之间的离焦距离，可以计算非球面的顶点曲率半径误差，最终实现非球面面型参数的高精度检测。

Error measurement method of Vertex Curvature Radius of aspheric surface based on optimal compensation position

The invention relates to a measuring method of aspheric Vertex Curvature Radius Error Based on optimum compensation position, belonging to the field of aspheric surface type parameter measurement. In order to use the slope asphericity of the closest comparison measure based on the spherical surface part of the aspherical compensation vertex radius error, a new measurement method of aspheric parameters error. The invention relates to a method for measuring the curvature radius error of an aspheric surface based on an optimal compensation position, and is used for measuring the vertex curvature radius error of the aspheric surface by laser interferometry. Using this method, we can get the best compensation position of aspheric surface by measuring the non ideal between spherical and non spherical optimal compensation the actual position of the defocus distance, can calculate the radius of curvature error of aspheric surface, high precision detection and ultimately aspheric surface parameters.

【技术实现步骤摘要】
基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法
本专利技术涉及基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，属于非球面面型参数测量领域。旨在利用基于斜率非球面度的最接近比较球面，实现部分补偿法非球面顶点曲率半径误差的测量，构成一种全新的非球面参数误差测量方法。
技术介绍
顶点曲率半径是光学非球面的重要面型参数，决定了非球面的基本性质。精确测量顶点曲率半径误差，对于光学非球面的加工和装调非常重要。通常情况下，利用接触法或非接触法可以获得被测面的面形轮廓，然后对面形轮廓直接进行曲率拟合，可以得到被测面的顶点曲率半径。顶点曲率半径的测量值与标称值的差值，即为该非球面的顶点曲率半径误差。部分补偿法是一种新发展起来的非球面检测方法，属于干涉测量的范畴。在部分补偿法中，准直光经过补偿透镜后，其波前与非球面并不是完全吻合的，因此，反射光再次经过补偿透镜后，不再是准直光。当非准直反射光与参考准直光干涉时就会得到理想干涉条纹，实际干涉条纹与理想干涉条纹的差异就反映了被测非球面的面形误差。但是，该方法无法直接获得被测非球面的顶点曲率半径误差，这是目前需要解决的一大难题。专利技术内容本专利技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤1：获取待测非球面名义参数；名义参数包括待测非球面的口径、顶点曲率半径和非球面系数；步骤2：根据待测非球面名义参数，设计部分补偿透镜P，获取其相关参数，用于非球面顶点曲率半径误差的测量；相关参数包括部分补偿透镜P的第一面曲率半径，厚度，材料，第二面曲率半径和口径；步骤3：在光学仿真软件中建立包含部分补偿透镜的虚拟干涉仪I

【技术特征摘要】
1.基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤1：获取待测非球面名义参数；名义参数包括待测非球面的口径、顶点曲率半径和非球面系数；步骤2：根据待测非球面名义参数，设计部分补偿透镜P，获取其相关参数，用于非球面顶点曲率半径误差的测量；相关参数包括部分补偿透镜P的第一面曲率半径，厚度，材料，第二面曲率半径和口径；步骤3：在光学仿真软件中建立包含部分补偿透镜的虚拟干涉仪IR，并确定理想非球面的最佳补偿位置；根据待测非球面名义参数和部分补偿透镜P的相关参数，确定理想非球面的最佳补偿位置，即补偿镜第二面到理想非球面顶点的轴向距离d1：d1＝d2+d3＝d2+R0-K·|X0.86|(1)其中，d1是部分补偿镜第二面到非球面顶点的距离；d2是部分补偿镜第二面到最接近比较球面球心的距离，通过补偿镜的入射光线坐标和出射光线坐标经代数计算进行确定；d3是最接近比较球面球心到非球面顶点的距离；R0是非球面的顶点曲率半径，K＝-e2是二次曲面常数，e为偏心率；|X0.86|是以非球面的顶点为原点建立直角坐标系时，0.86口径处的点的横坐标绝对值，即该点的弓形高；对于...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝群，李腾飞，胡摇，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京,11