【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】铁电组合件及形成铁电组合件的方法
本专利技术涉及铁电组合件及形成铁电组合件的方法。在一些应用中，本专利技术涉及铁电电容器及形成铁电电容器的方法。
技术介绍
电容器是可在集成电路中使用的电子组件。电容器具有通过电绝缘材料分离的两个电导体。作为电场的能量可静电地存储在此材料内。铁电电容器具有铁电材料作为绝缘材料的至少一部分。铁电材料的特征在于具有两种稳定极化状态。铁电材料的极化状态可通过施加合适编程电压来改变，且在移除所述编程电压之后(至少在一段时间内)保持不变。在一些应用中，电容器可用于存储器/存储装置中。例如，铁电电容器可并入到铁电随机存取存储器(FeRAM)中。FeRAM可具有许多吸引人的特征，包含非易失性、低功耗、高速操作等。然而，在制造包括FeRAM的高度集成存储器时遇到困难。期望开发适用于FeRAM的新电容器及制造FeRAM的新方法。除电容器之外，铁电材料还可用于其它组合件中。例如，铁电材料可用于铁电场效应晶体管(FeFET)及铁电隧道结(FTJ)装置中。期望开发出可跨广泛范围的铁电组...
【技术保护点】
1.一种铁电组合件，其包括：/n铁电绝缘材料上方的金属氧化物；所述金属氧化物具有小于或等于约
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171215 US 15/843,4021.一种铁电组合件，其包括：
铁电绝缘材料上方的金属氧化物；所述金属氧化物具有小于或等于约的厚度；及
所述金属氧化物上方的含金属电极。
2.根据权利要求1所述的组合件，其中所述金属氧化物是具有在从约1个单层到约的范围内的厚度的连续层。
3.根据权利要求1所述的组合件，其中所述金属氧化物是不连续膜。
4.根据权利要求1所述的组合件，其是铁电电容器。
5.根据权利要求1所述的组合件，其是铁电隧道结装置。
6.根据权利要求1所述的组合件，其是铁电场效应晶体管。
7.一种电容器，其包括：
第一电极与第二电极之间的铁电绝缘材料；及
所述第二电极的至少一部分与所述铁电绝缘材料之间的金属氧化物；所述金属氧化物具有小于或等于约的厚度。
8.根据权利要求7所述的电容器，其中所述金属氧化物是具有在从约1个单层到约的范围内的厚度的连续层。
9.根据权利要求7所述的电容器，其中所述金属氧化物是不连续膜。
10.根据权利要求7所述的电容器，其中所述电容器由含半导体基底支撑；且其中所述第一电极是底部电极且所述第二电极是顶部电极，其中所述底部电极比所述顶部电极更靠近基底。
11.根据权利要求10所述的电容器，其中所述金属氧化物是具有在从约1个单层到约的范围内的厚度的连续层。
12.根据权利要求10所述的电容器，其中所述金属氧化物是不连续膜。
13.根据权利要求10所述的电容器，其中所述金属氧化物由含金属材料构成，所述含金属材料具有延伸穿过其的氧浓度梯度，其中所述氧浓度沿着与所述第二电极的界面最高而沿着与所述第二电极的界面最低。
14.根据权利要求10所述的电容器，其中所述金属氧化物本质上由氧以及钛、铝、钌、铌及钽中的一或多者组成。
15.根据权利要求10所述的电容器，其中所述金属氧化物本质上由氧化钛组成。
16.根据权利要求7所述的电容器，其是存储器阵列内的多个基本上相同的电容器中的一者。
17.一种电容器，其包括：
第一电极与第二电极之间的铁电绝缘材料；及
所述第二电极的至少一部分与所述铁电绝缘材料之间的含金属材料；所述含金属材料具有小于或等于约的厚度；所述含金属材料包含氧以及钛、铝、...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾伯特·廖，曼札拉·西迪克，
申请(专利权)人：美光科技公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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