一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备制造技术

一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括激光发射器、透镜单元、MEMS微振镜、反射单元、反馈结构和核心控制器，所述激光发射器发出点激光投射到透镜单元上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上，生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被反射单元反射至所述反馈结构，反馈结构传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器，核心控制器实时控制激光发射器和MEMS微振镜，投射目标图案。本方案通过设置反射单元改变光路，将反馈结构与MEMS微振镜集成在一起，从而缩小设备体积、降低装配难度，具有精度高、装配难度小、一体化程度高及稳定性好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备
本技术涉及微光机电系统设备领域，尤其涉及一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备。
技术介绍
MEMS微振镜具有耗能低、响应快、体积小、集成化程度高等优点，已在微光机电系统设备领域广泛应用，但MEMS微振镜本身的干扰能力较差，其幅值与相位会受到电压、环境温度及振动冲击等干扰因素影响，导致MEMS微振镜稳定性降低、其扫描生成的结构光精度低、准确性差，并且对结构对位精度要求高、装配难度大，难以适应本领域的使用需求。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足，本技术的目的是提供一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，通过设置反射单元改变光路，将反馈结构与MEMS微振镜集成在一起，从而缩小设备体积、降低装配难度，实时采集监测并精准控制MEMS微振镜的振动幅值与相位，大大提高了扫描生成结构光的精度及稳定性，结构简单、易维护及一体化程度高。本技术所采用的技术方案是：一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括激光发射器、透镜单元、MEMS微振镜、反射单元、反馈结构和核心控制器，所述激光发射器发出点激光投射到透镜单元上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上，生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被反射单元反射至所述反馈结构，反馈结构传输振镜位置信息至核心控制器，核心控制器实时控制激光发射器和MEMS扫描振镜，投射目标图案。所述的反馈结构包括反馈采集元件、PCB电路板和方形壳体，所述反馈采集元件为光电探测器，所述PCB电路板倾斜放置，所述MEMS微振镜和反馈采集元件贴装于PCB电路板上，所述方形壳体其顶部线结构光或面结构光出射处设置有透光窗。所述的反射单元为高反射率膜层，位于方形壳体内侧，所述的反射单元位于MEMS微振镜上方，所述的反射单元位于透光窗边缘处。所述的MEMS微振镜投射出的线结构光或面结构光超出透光窗区域，覆盖反射单元。所述的反馈采集元件位于反射单元反射的线结构光或面结构光在PCB电路板的扫描路径上。所述反馈采集元件共有两个，分别设置在MEMS微振镜两侧。所述方形壳体的内壁设置有用于吸收多余反射光的吸光层。所述透光窗上设置有用以增加激光透光率的增透膜。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，通过设置反射单元改变光路，将反馈结构中的反馈采集单元与MEMS微振镜集成在同一块PCB电路板上，由PCB电路板统一供电，反馈采集单元无需单独供电电路，也无需额外定位，从而缩小设备体积、降低装配难度，大大提高了扫描生成结构光的精度及稳定性，结构简单、易维护及一体化程度高。附图说明图1是本技术的构架图；图2是本技术中反馈结构的结构示意图；图3是本技术PCB电路板上封装元件的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步详细的说明。如图1至图3所示，一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括包括激光发射器1、透镜单元2、MEMS微振镜3、反射单元4、反馈结构5和核心控制器6，所述激光发射器1发出点激光投射到透镜单元2上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜3上，经MEMS微振镜反射生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被MEMS微振镜3上方反射单元4反射至所述反馈结构5，反馈结构5与MEMS微振镜3集成在一起，反馈结构5传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器6，核心控制器6实时控制激光发射器1和MEMS微振镜3，投射目标图案。所述的反馈结构包括反馈采集元件501、PCB电路板502和方形壳体503，所述反馈采集元件501为光电探测器，所述PCB电路板502倾斜放置，所述MEMS微振镜3和反馈采集元件501贴装于PCB电路板502上，所述方形壳体503顶部线结构光或面结构光出射处设置有透光窗504。所述的反射单元4为高反射率膜层，位于方形壳体503内侧，所述的反射单元4位于MEMS微振镜3上方，所述的反射单元4位于透光窗504边缘处。所述的MEMS微振镜3投射出的线结构光或面结构光超出透光窗504区域，覆盖反射单元4。所述的反馈采集元件501位于反射单元4反射的线结构光或面结构光在PCB电路板502的扫描路径上。所述反馈采集元件501共有两个，分别设置在MEMS微振镜3两侧。所述方形壳体503的内壁设置有用于吸收多余反射光的吸光层。所述透光窗504上设置有用以增加激光透光率的增透膜。特别的，所述透光窗504上设置有半反半透膜层，在满足出射线结构光或面结构光强度要求的条件下，可依靠膜层自身反射特性，反射线结构光或面结构光至反馈采集元件501。上述实施例以本技术技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于上述的实施例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：包括激光发射器(1)、透镜单元(2)、MEMS微振镜(3)、反射单元(4)、反馈结构(5)和核心控制器(6)，所述激光发射器(1)发出点激光投射到透镜单元(2)上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上(3)，经MEMS微振镜(3)反射生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被MEMS微振镜(3)上方反射单元(4)反射至所述反馈结构(5)，反馈结构(5)与MEMS微振镜(3)集成在一起，反馈结构(5)传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器(6)，核心控制器(6)实时控制激光发射器(1)和MEMS微振镜(3)，投射目标图案。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：包括激光发射器(1)、透镜单元(2)、MEMS微振镜(3)、反射单元(4)、反馈结构(5)和核心控制器(6)，所述激光发射器(1)发出点激光投射到透镜单元(2)上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上(3)，经MEMS微振镜(3)反射生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被MEMS微振镜(3)上方反射单元(4)反射至所述反馈结构(5)，反馈结构(5)与MEMS微振镜(3)集成在一起，反馈结构(5)传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器(6)，核心控制器(6)实时控制激光发射器(1)和MEMS微振镜(3)，投射目标图案。


2.如权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，其特征在于：所述的反馈结构(5)包括反馈采集元件(501)、PCB电路板(502)和方形壳体(503)，所述反馈采集元件(501)为光电探测器，所述PCB电路板(502)倾斜放置，所述MEMS微振镜(3)和反馈采集元件(501)贴装于PCB电路板(502)上，所述方形壳体(503)顶部线结构光或面结构光出射处设置有透光窗(504)。


3.如权利要求1所述的一种基于MEMS微振镜结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：程进，徐乃涛，孙其梁，李宋泽，
申请(专利权)人：无锡微视传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32