边缘传感器的诊断方法及诊断装置制造方法及图纸

一种边缘传感器的诊断方法，具有将多个受光元件按规定的间隔排列的受光面，检测遮挡射入该受光面的入射光的遮挡体在所述受光元件的排列方向上的边缘位置，其特征在于，　　　　解析因遮挡体边缘产生的菲涅耳衍射而引起的所述受光面上的受光图形，以检测所述遮挡体的边缘位置，同时根据所述受光面上的总受光量，检测所述遮挡体的边缘位置，　　　　将这些检测出的边缘位置互相比较，来诊断所述边缘检测的可靠性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能简易地诊断出边缘传感器在测量过程中由于受沾污、或因干扰光引起的检测精度降低的边缘传感器的诊断方法及诊断装置。
技术介绍
对于光学方式检测物体边缘位置的位置检测方法大致有两种，一种是根据受光器上受光量的变化求出物体边缘位置的光量方式，另一种是解析上述物体边缘产生的衍射图形求出所述物体边缘位置的衍射图形解析方式。光量方式是根据物体不存在时受光器上的全部受光量、和被物体遮掉射向所述受光器的入射光的一部分时的受光量之比，求出所述物体的边缘位置。另外，衍射图形解析方式，例如如日本国专利申请公开公报(特开平8-247726号)所揭示，利用多个受光元件按规定间隔排列成的CCD等线状传感器，解析在所述线状传感器的受光面上由于平行光中物体的边缘引起的菲涅耳衍射产生的受光图形，将光强度以相对值形式表示，将变成的位置作为边缘位置来求解。
技术实现思路
在采用上述的光量方式或衍射图形解析方式进行边缘位置检测时，不可否认干扰光窜入会降低其检测精度。另外，也不可否认由于尘埃等沾污线状传感器的受光面时，其检测精度也会降低。这时就会得到错误的检测结果。因此，以前专门在边缘检测前，先行设定在其检测对象本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：岡山喜彦，
申请(专利权)人：株式会社山武，
类型：发明
国别省市：