径向/轴向六位集成一体化电涡流传感器制造技术

径向／轴向六位集成一体化电涡流传感器，其特征在于：由六位集成一体化电涡流传感器和探测体组成，传感器探头和探测体之间形成径向探测间隙和轴向探测间隙，所述的六位集成一体化电涡流传感器共有六个通道，六个通道的传感器探头和前置放大器全部集成在一个传感器座内，由径向位移探头、轴向位移探头、前置处理器、电源信号输出引线组成，其中的４个径向探头分别探测相互垂直的Ｘ和Ｙ方向位移信号，另外两个轴向探头探测Ｚ方向位移信号，这６个通道的前置放大器和探头集成一体，根据结构需要可设计成探测面外置（或探测面外置）的径向／轴向六位集成一体化电涡流传感器。本发明专利技术使６个通道的电涡流传感器集成一体，能够探测正交垂直的三个方向的位移信号，提高了探测精度和稳定性，并显著减小了体积、减轻了重量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种非接触电涡流传感器，特别是一种多位集成一体化电涡流传感器，可作为磁悬浮飞轮、磁悬浮控制力矩陀螺等对系统的体积、重量和精度等方面有严格要求的非接触位移传感器。
技术介绍
磁轴承具有无机械摩擦和磨损、不需要润滑和维护、允许转子高速旋转等优点，因此被应用于卫星姿态控制系统中，用于支承飞轮和控制力矩陀螺，以代替机械轴承，以消除机械摩擦，提高转子的转速，从而可提高飞轮和控制力矩陀螺的控制精度，延长姿态控制系统的使用寿命、降低了系统的功耗。在五自由度磁悬浮飞轮和磁悬浮控制力矩陀螺中，通常需要探测五个自由度的位移信号，若使用电涡流传感器，则每个自由度需要一个非接触位移传感器，为提高传感器的精度，通常采取差动结构，这时每个磁悬浮系统就需要多个电涡流传感器，而现有的磁轴承用传感器通常只是在单个通道上将探头和前置放大器进行集成或在径向方向进行集成化，因此，现有的电涡流传感器体积、重量和功耗大，结构不紧凑，装配精度低，从而导致磁悬浮飞轮或磁悬浮控制力矩陀螺的体积、重量和功耗大，控制精度低。
技术实现思路
本专利技术的技术解决问题是克服现有技术的不足，提供一种磁悬浮飞轮和磁悬浮控制力矩陀螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
径向／轴向六位集成一体化电涡流传感器，其特征在于：它由探测ＸＹ方向径向位移信号的两组四路径向位移传感器探头及其四路前置放大器、探测Ｚ向轴向位移信号的两路轴向位移传感器探头及其两路前置放大器组成，六路位移传感器探头及其前置放大器全部集成在一个传感器座内，其中两个径向位移传感器探头组成一对，分别位于Ｘ轴的两个方向成１８０°角，同时探测Ｘ方向的位移信号，另两个径向位移传感器探头组成另一对，分别位于Ｙ轴的两个方向成１８０°角，同时探测Ｙ方向的位移信号，两组中每对前置放大器之间均形成差动结构输出，其探测面为圆；两路轴向位移传感器探头位于Ｚ轴的两个方向成１８０°角，同时探测Ｚ向方向的位移信号，再经过两路前...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：房建成，韩邦成，刘刚，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]