线宽测量方法技术

本发明专利技术提供一种可以保持稳定的对比度状态的线宽测量方法。本发明专利技术的线宽测量方法，在由反射光及透射光同时照明测量试料的两侧，来测量半透明膜的线宽的线宽测量装置中，上述测量试料是在透明基板（２１）上形成不透明图案（２２）、并跨着透明基板与不透明图案而形成半透明膜（２３），在测量半透明膜的线宽时，对透明基板和不透明图案分别指定调光区域（２６、２７）后分别调光，然后测量上述半透明膜的线宽。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及由反射光及透射光同时照明测量试料的两侧来测量半透明膜的线宽的线宽测量装置中的，该测量试料是在透明基板上形成不透明图案、并跨着透明基板和不透明图案而形成半透明膜。
技术介绍
利用反射光和透射光对测量试料的线宽进行测量的线宽测量装置已经在市场上出售。首先，根据图3说明用反射光和透射光照明测量试料的情况下得到的辉度波形。在图3中，测量试料由形成在玻璃31上的金属图案(或金属膜)32构成。实际上同时点亮反射照明和透射照明来测量金属图案(无透射)32的线宽时，是同时点亮反射照明和透射照明来进行，但为了说明原理，分为仅通过反射照明得到的辉度波形、与仅通过透射照明得到的辉度波形来说明。此外，实际上也有仅用反射照明来测量的情形和仅用透射照明来测量的情形。在只有反射照明的情况下，如图3(a)所示，当用来自未图示的反射光源的反射光33照明金属图案(无透射)32侧时，由测量试料反射的反射光经由位于测量试料的上方的、未图示的自动调光适配器内的ND(Neutral Density，中性密度)滤光片(透射率连续变化的滤光片)，入射到未图示的摄像机中。作为该摄像机的输出而得到的辉度波形34为图3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线宽测量方法，其特征在于，在线宽测量装置中用反射光和透射光同时照明测量试料的两侧来测量半透明膜的线宽，该测量试料是在透明基板上形成不透明图案、并跨着上述透明基板与上述不透明图案而形成上述半透明膜，在测量上述半透明膜的线宽时，对上 述透明基板和上述不透明图案分别指定调光区域后分别调光，然后测量上述半透明膜的线宽。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：野上大，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：JP[日本]