表面的测量装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种表面的测量装置以及最好使用该装置进行测量的方法。所述的装置包括产生多色光束（２）的光源。所述的光束（２）通过成像光学系统（１）利用光学色差在距成像光学系统（１）不同距离的几点上聚焦；使聚焦光束（９）射各向表面（３）的一点上；并设置一传感器探测反射的光束（１０）。本发明专利技术的目的在于尽可能地保持测量头与物体之间的最大距离。所述的成像光学系统（１）包括产生目标色差的一光学系统（４）和影响自成像光学系统（１）射出的聚焦光束（９）的光束路径的附加光学系统（６）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种表面的测量装置以及该装置的操作方法，其中所述装置具有一产生 多色光束的光源，该光束可通过成像光学系统利用光学色差在距成像光学系统不同距离 的几点上聚焦；并可在表面上控制聚焦光束以及设置一传感器探测反射光束。
技术介绍
在许多工程领域中，重要的是具有有关表面的状态的准确认识。在许多应用中，在 物品生产的过程中形成的表面毛刺或波度仅在很窄的范围内才可容许。特别是在具有运 动部件的高精密机构中，表面质量差可能导致功能不正常或快速破坏。除获取表面质量 的资料外，在许多领域中，要求精确地测量表面结构。例如，在许多应用中，值得知道 的是工件中铣削或孔的位置和深度。业界己公知表面测量的不同方法。在一种可能的方法中，使用两架或两架以上的照 相机，籍此通过三角测量计算出有关表面三维状态的资料。然而，以这样的测量系统仅 可达到很有限的测量精确度。在另一公知的方法中，将一单色光束导向正在探测的表面，其中该光束总是在表面 上聚焦。如果光学系统和受照成像点之间的距离因表面不平而变化，而因为光束不再在 表面上聚焦，则一自动聚焦电路可校准该光学系统，以便使该光束在表面上重新聚焦。 由光学系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面的测量装置，所述装置具有一产生多色光束（２）的光源，其中所述光束（２）可通过成像光学系统（１）利用光学色差在距成像光学系统（１）不同距离的几点上聚焦；可把聚焦光束（９）引向表面（３）上；并且设有一传感器探测反射的光束（１０），其特征在于，所述的成像光学系统（１）包括产生目标色差的光学系统（４）和附加光学系统（６），所述的附加光学系统影响自成像光学系统（１）射出的聚焦光束（９）的光束路径。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：T施塔梅斯特，B梅塞施米特，K维斯培特纳，
申请(专利权)人：微埃普西龙测量技术有限两合公司，格林泰克有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]