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本发明涉及一种表面的测量装置以及最好使用该装置进行测量的方法。所述的装置包括产生多色光束（２）的光源。所述的光束（２）通过成像光学系统（１）利用光学色差在距成像光学系统（１）不同距离的几点上聚焦；使聚焦光束（９）射各向表面（３）的一点上；并...该专利属于微－埃普西龙测量技术有限两合公司;格林泰克有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过微－埃普西龙测量技术有限两合公司;格林泰克有限公司授权不得商用。