一种晶圆封装保护贴片装置制造方法及图纸

技术编号:25017659 阅读:21 留言:0更新日期:2020-07-24 23:03
本实用新型专利技术公开了晶圆生产设备技术领域的一种晶圆封装保护贴片装置,包括贴片工作台,贴片工作台顶部转动连接有覆膜辊,贴片工作台顶部固定连接有导向板,导向板侧壁固定连接有限位弧片,贴片工作台顶部固定连接有切割架,切割架中间固定安装有切割气缸,切割气缸底部固定连接有切割圆刀,裁切转孔内转动连接有裁切底板,覆膜通槽内滑动连接有浮动辊,贴片工作台下方设有出料传送带,本实用新型专利技术通过覆膜辊与浮动辊相切挤压贴膜,同时正反面自动贴膜,有效去除起泡,提高贴片质量,通过切割圆刀一步切割,避免边缘毛刺不整齐,切割后自动落料,安全高效。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆封装保护贴片装置
本技术涉及晶圆生产设备
,具体为一种晶圆封装保护贴片装置。
技术介绍
现有的晶圆片贴片首先将操作工位使用沾酒精的无尘布测试干净,然后将晶圆流片平放在操作工位上,将胶布卷展开并贴附在晶圆流片上,然后人工使用滚筒对胶布进行滚压至胶布与晶圆表面之间无气泡,最后人工使用滚刀对晶圆边缘的胶布进行切割即可;使用中发现,滚筒的支撑稳定性较差,人工直接操作滚筒对胶布进行滚压,人为因素较多,不能保证滚筒与胶布顶端接触面水平接触,导致其滚压效果较差,同时不易掌握滚筒的滚压力度,使用可靠性较低;并且人工使用滚刀自行切割,切割过程中容易使胶布翘起并产生毛刺,切割效果较差,同时操作缓慢,切割效率较低,导致其实用性较差。基于此,本技术设计了一种晶圆封装保护贴片装置,以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆封装保护贴片装置,以解决上述
技术介绍
中提出的滚筒的支撑稳定性较差,不能保证滚筒与胶布顶端接触面水平接触,人工使用滚刀自行切割,切割过程中容易使胶布翘起并产生毛刺,切割效果较差,同时操作缓慢,切割效率较低的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶圆封装保护贴片装置,包括贴片工作台,所述贴片工作台顶部固定开设有裁切转孔和覆膜通槽,所述贴片工作台顶部转动连接有覆膜辊,所述贴片工作台顶部转动连接有上层放料辊、上层收料辊、上层过渡辊、下层放料辊、下层收料辊和下层过渡辊,所述上层放料辊、下层放料辊和上层收料辊、下层收料辊位于贴片工作台的两端,所述贴片工作台顶部固定连接有导向板,所述导向板侧壁固定连接有限位弧片,所述贴片工作台顶部固定连接有切割架,所述切割架中间固定安装有切割气缸,所述切割气缸底部固定连接有切割圆刀,所述裁切转孔内转动连接有裁切底板,所述覆膜通槽内滑动连接有浮动辊,所述贴片工作台下方设有出料传送带。优选的,所述上层过渡辊与贴片工作台相切,所述下层过渡辊与贴片工作台上顶面相切。优选的,所述贴片工作台两端均固定连接有安装板,所述安装板中间转动连接有上层放料辊、上层收料辊、上层过渡辊、下层放料辊、下层收料辊和下层过渡辊。优选的,所述覆膜辊与浮动辊相切,所述覆膜通槽两侧壁固定连接有浮动架,所述浮动架内固定安装有浮动弹簧,所述浮动弹簧顶部固定连接有浮动辊。优选的,所述导向板位于贴片工作台上方,所述导向板距离贴片工作台厚度小于所贴片晶圆厚度。优选的,所述限位弧片与切割圆刀为同心圆弧,所述贴片工作台底部固定连接有挂架,所述挂架中间转动连接有出料传送带的转轴。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1.本技术穿好保护膜后,沿着导向板放置好晶圆,接通上层收料辊和下层收料辊的驱动电机带动二者转动,将位于下层保护膜上的晶圆移动到覆膜辊与浮动辊之间,接通覆膜辊电机带动其转动,将上下层保护膜压紧在晶圆的正反面,完成贴膜,覆膜辊与浮动辊相切挤压贴膜,有效去除起泡,提高贴片质量,且浮动辊受压力过大时,作用于浮动弹簧,浮动辊沿浮动架向下移动,避免压坏晶圆。2.晶圆到达限位弧片处停止,正好位于切割圆刀正下方,接通切割气缸,将切割圆刀落下并切断上下层保护膜,然后接通裁切底板的驱动电机,带动裁切底板向限位弧片反方向转动,贴好并切割完毕的晶圆落在下方的出料传送带上,经出料传送带运出并人为接收,进行下一步封装。本技术通过覆膜辊与浮动辊相切挤压贴膜,同时正反面自动贴膜,有效去除起泡,提高贴片质量,通过切割圆刀一步切割,避免边缘毛刺不整齐,切割后自动落料,安全高效。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术第一视角视角结构示意图;图2为本技术俯视角结构示意图;图3为本技术侧视角结构示意图。附图中,各标号所代表的部件列表如下:1-贴片工作台,2-覆膜通槽,3-覆膜辊,4-上层放料辊,5-上层收料辊,6-上层过渡辊,7-下层放料辊,8-下层收料辊,9-下层过渡辊,10-导向板,11-限位弧片,12-切割架,13-切割气缸,14-切割圆刀,15-裁切底板,16-浮动辊,17-出料传送带,18-安装板,19-浮动架,20-浮动弹簧,21-挂架。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种晶圆封装保护贴片装置,包括贴片工作台1,贴片工作台1顶部固定开设有裁切转孔和覆膜通槽2,贴片工作台1顶部转动连接有覆膜辊3,贴片工作台1顶部转动连接有上层放料辊4、上层收料辊5、上层过渡辊6、下层放料辊7、下层收料辊8和下层过渡辊9,上层放料辊4、下层放料辊7和上层收料辊5、下层收料辊8位于贴片工作台1的两端,贴片工作台1顶部固定连接有导向板10,导向板10侧壁固定连接有限位弧片11,贴片工作台1顶部固定连接有切割架12,切割架12中间固定安装有切割气缸13,切割气缸13底部固定连接有切割圆刀14,裁切转孔内转动连接有裁切底板15,覆膜通槽2内滑动连接有浮动辊16,贴片工作台1下方设有出料传送带17。其中,上层过渡辊6与贴片工作台1相切,下层过渡辊9与贴片工作台1上顶面相切。贴片工作台1两端均固定连接有安装板18,安装板18中间转动连接有上层放料辊4、上层收料辊5、上层过渡辊6、下层放料辊7、下层收料辊8和下层过渡辊9。覆膜辊3与浮动辊16相切,覆膜通槽2两侧壁固定连接有浮动架19,浮动架19内固定安装有浮动弹簧20,浮动弹簧20顶部固定连接有浮动辊16。导向板10位于贴片工作台1上方,导向板10距离贴片工作台1厚度小于所贴片晶圆厚度。限位弧片11与切割圆刀14为同心圆弧,贴片工作台1底部固定连接有挂架21,挂架21中间转动连接有出料传送带17的转轴。本实施例的一个具体应用为:本技术通过上层放料辊4上装上上层保护膜,在下层放料辊7上装上下层保护膜,上层保护膜穿过上层过渡辊6位于导向板10上方,端部缠绕在上层收料辊5上,下层保护膜穿过下层过渡辊9,穿过导向板10下方,端部缠绕在下层收料辊8上,靠近覆膜辊3一端的上层过渡辊6略高于贴片工作台1表面,方便送入晶圆。穿好保护膜后,沿着导向板10放置好晶圆,导向板10之间的距离等于晶圆直径,导向板10两内壁平滑避免损伤晶圆便于晶圆移动,接通上层收料辊5和下层收料辊8的驱动电机带动二者转动,将位于下层保护膜上的晶圆移动到覆膜辊3与浮动辊16之间,接通覆膜辊3电机带动其转动,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆封装保护贴片装置,其特征在于:包括贴片工作台(1),所述贴片工作台(1)顶部固定开设有裁切转孔和覆膜通槽(2),所述贴片工作台(1)顶部转动连接有覆膜辊(3),所述贴片工作台(1)顶部转动连接有上层放料辊(4)、上层收料辊(5)、上层过渡辊(6)、下层放料辊(7)、下层收料辊(8)和下层过渡辊(9),所述上层放料辊(4)、下层放料辊(7)和上层收料辊(5)、下层收料辊(8)位于贴片工作台(1)的两端,所述贴片工作台(1)顶部固定连接有导向板(10),所述导向板(10)侧壁固定连接有限位弧片(11),所述贴片工作台(1)顶部固定连接有切割架(12),所述切割架(12)中间固定安装有切割气缸(13),所述切割气缸(13)底部固定连接有切割圆刀(14),所述裁切转孔内转动连接有裁切底板(15),所述覆膜通槽(2)内滑动连接有浮动辊(16),所述贴片工作台(1)下方设有出料传送带(17)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆封装保护贴片装置,其特征在于:包括贴片工作台(1),所述贴片工作台(1)顶部固定开设有裁切转孔和覆膜通槽(2),所述贴片工作台(1)顶部转动连接有覆膜辊(3),所述贴片工作台(1)顶部转动连接有上层放料辊(4)、上层收料辊(5)、上层过渡辊(6)、下层放料辊(7)、下层收料辊(8)和下层过渡辊(9),所述上层放料辊(4)、下层放料辊(7)和上层收料辊(5)、下层收料辊(8)位于贴片工作台(1)的两端,所述贴片工作台(1)顶部固定连接有导向板(10),所述导向板(10)侧壁固定连接有限位弧片(11),所述贴片工作台(1)顶部固定连接有切割架(12),所述切割架(12)中间固定安装有切割气缸(13),所述切割气缸(13)底部固定连接有切割圆刀(14),所述裁切转孔内转动连接有裁切底板(15),所述覆膜通槽(2)内滑动连接有浮动辊(16),所述贴片工作台(1)下方设有出料传送带(17)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆封装保护贴片装置,其特征在于:所述上层过渡辊(6)与贴片工作台(1)相切,所述下层过渡辊(9)与贴片工作台(1)上顶...

【专利技术属性】
技术研发人员:王岳峰
申请(专利权)人:深圳市盈富仕科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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