照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法技术方案

本发明专利技术公开了一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。该照明系统包括用于产生光线的光源以及不透明板。不透明板设置于光源以及光掩模之间，且不透明板包括环形开口以及双极开口。环形开口具有内侧边以及外侧边。双极开口包括第一开口以及第二开口，其中第一开口与第二开口分别与环形开口相连接，并分别从环形开口的外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于环形开口的中心点设置。第一开口与第二开口分别为长条状，并彼此平行，且第一开口与第二开口分别横跨环形开口的两部分。

【技术实现步骤摘要】
照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法本申请是中国专利技术专利申请(申请号：201510160096.2，申请日：2015年04月07日，专利技术名称：照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法)的分案申请。
本专利技术涉及一种照明系统以及一使用其形成鳍状结构的方法，尤指一种使用包括一环形开口以及一双极开口的不透明板作为光瞳的一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。
技术介绍
随着半导体制造技术的发展，集成电路的尺寸也越来越小，且运作速度也越来越快。在集成电路的制造过程中，最关键的技术莫过于所谓的光刻制作工艺(photolithographyprocess)，其肩负着将光掩模上图案精确地转移至晶片上不同元件层的重责大任。光刻制作工艺主要是通过曝光装置将光掩模上的图案投影至形成于晶片上的光致抗蚀剂，因此决定形成于晶片上的图案的分辨率(resolution)，即所谓的关键尺寸(criticaldimension，CD)，主要由曝光装置所决定。由于曝光装置通过投影的方式将图案转移至光致抗蚀剂上，因此曝光装置的照明系统与其光线波长是决定这关键尺寸的因素。因此，不断地改善照明系统，以缩小关键尺寸一直是业界努力的目标。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法，以提升曝光光线入射至光掩模的角度，进而可有效地缩小关键尺寸。为达上述的目的，本专利技术提供一种照明系统，其包括光源以及不透明板。光源用于产生光线。不透明板设置于光源以及光掩模之间，且不透明板包括环形开口以及双极开口。环形开口具有内侧边以及外侧边。双极开口包括第一开口以及第二开口，其中第一开口与第二开口分别与环形开口相连接，并分别从环形开口的外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于环形开口的中心点设置。第一开口与第二开口分别为长条状，并彼此平行，且第一开口与第二开口分别横跨环形开口的两部分。为达上述的目的，本专利技术还提供一种使用照明系统形成鳍状结构的方法。首先，提供照明系统，其中照明系统包括一光源以及一第一不透明板。光源用于产生一光线。第一不透明板包括一第一环形开口以及一第一双极开口。第一环形开口具有一第一内侧边以及一第一外侧边。第一双极开口包括一第一开口以及一第二开口，其中第一开口与第二开口分别与第一环形开口相连接，并分别从第一环形开口的第一外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于第一环形开口的一第一中心点设置，并沿着一第一方向排列，第一开口与第二开口分别为长条状，并彼此平行，且第一开口与第二开口分别横跨第一环形开口的两部分。然后，提供一第一光掩模、多个环形间隙物以及一基板，其中环形间隙物设置于基板上，且第一光掩模包括多个第一条状开口，分别沿着一第二方向延伸。接着，将照明系统的第一不透明板设置于光源以及第一光掩模之间，并使第一方向垂直于第二方向。随后，在环形间隙物上形成一第一掩模层。接着，利用照明系统与第一光掩模进行一第一曝光制作工艺，以于第一掩模层中定义出多个第一切割开口的位置。然后，提供一第二光掩模，包括多个第二条状开口，其中照明系统还包括第二不透明板，包括第二环形开口以及第二双极开口。第二环形开口具有第二内侧边以及第二外侧边。第二双极开口包括一第三开口以及一第四开口，其中第三开口与第四开口分别与第二环形开口相连接，并分别从第二环形开口的第二外侧边延伸出，第三开口与第四开口对称于第二环形开口的第二中心点设置，并沿着第二方向排列，第三开口与第四开口分别为长条状，并彼此平行，且第三开口与第四开口分别横跨第二环形开口的两部分。接着，将第一不透明板替换为第二不透明板，并将第一光掩模替换为第二光掩模，且使各第二条状开口的延伸方向沿着第一方向设置。随后，利用照明系统与第二光掩模进行一第二曝光制作工艺，以于第一掩模层中定义出多个第二切割开口的位置。接着，以第一掩模层为一掩模，移除暴露出的环形间隙物的第一部分与第二部分，以形成鳍状结构。在本专利技术的不透明板中，双极开口至少设置于环形开口的外侧边，因此曝光光线在经过双极开口与环形开口之后入射至光掩模的角度可被提升，进而可有效地缩小关键尺寸。附图说明图1为本专利技术一实施例的曝光装置的示意图；图2为本专利技术第一实施例的不透明板的上视示意图；图3为本专利技术第二实施例的不透明板的上视示意图；图4为本专利技术第三实施例的不透明板的上视示意图；图5为本专利技术第四实施例的不透明板的上视示意图；图6为本专利技术第五实施例的不透明板的上视示意图；图7为本专利技术第六实施例的不透明板的上视示意图；图8为本专利技术第七实施例的不透明板的上视示意图；图9为本专利技术第八实施例的不透明板的上视示意图；图10为本专利技术第九实施例的不透明板的上视示意图；图11至图14为本专利技术一实施例使用照明系统形成鳍状结构的方法示意图。附图标记说明如下：100曝光装置102照明系统104光掩模座106投影镜头108基板座110、130光掩模110a第一条状开口112基板114光源116、132、216、316、416、516、616、716、不透明板816、916116a中央部116b周边部118、134环形开口118a、134a内侧边118b、134b外侧边120、220、320、420、520、620、720、820、第一双极开口920120a、220a、320a、420a、520a、620a、720a、第一开口820a、920a120b、220b、320b、420b、520b、620b、720b、第二开口820b、920b136a、422a、522a、622a、722a、822a第三开口136b、422b、522b、622b、722b、822b第四开口124环形间隙物124a第一部分124b第二部分126第一掩模层128第一切割开口130a第二条状开口138第二切割开口140鳍状结构136、422、522、622、722、822第二双极开口924a弓形部924b长条部D1第一方向D2第二方向P1、P2位置W1、W2、W3、W4、W5宽度具体实施方式请参考图1，图1为本专利技术一实施例的曝光装置的示意图。如图1所示，本实施例的曝光装置100可包括一照明系统102、一光掩模座104、一投影镜头106以及一基板座108。照明系统102用于产生曝光光线，且光掩模座104、投影镜头106与基板座104依序设置于曝光光线的光路径上。因此，在进行曝光制作工艺时，光掩模110与待图案化的基板112会分别设置于光掩模座104与基板座108上，使曝光光线可依序经过光掩模110与投影镜头106，进而聚焦在基板112上的一光致抗蚀剂层中(图未示)。照明系统102包括一光源114以及一不透明板116。光源114可产生曝光光线，例如：KrF激光(248nm)或Ar本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种照明系统，其特征在于，包括：/n光源，用于产生一光线；以及/n不透明板，设置于该光源以及一光掩模之间，且该不透明板包括：/n环形开口，具有内侧边以及外侧边；以及/n双极开口，包括第一开口以及第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该环形开口相连接，并分别从该环形开口的该外侧边延伸出，该第一开口与该第二开口对称于该环形开口的一中心点设置，该第一开口与该第二开口分别为长条状，并彼此平行，且该第一开口与该第二开口分别横跨该环形开口的两部分。/n

【技术特征摘要】
1.一种照明系统，其特征在于，包括：
光源，用于产生一光线；以及
不透明板，设置于该光源以及一光掩模之间，且该不透明板包括：
环形开口，具有内侧边以及外侧边；以及
双极开口，包括第一开口以及第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该环形开口相连接，并分别从该环形开口的该外侧边延伸出，该第一开口与该第二开口对称于该环形开口的一中心点设置，该第一开口与该第二开口分别为长条状，并彼此平行，且该第一开口与该第二开口分别横跨该环形开口的两部分。


2.如权利要求1所述的照明系统，其中该第一开口与该第二开口沿着第一方向排列，并沿着第二方向延伸。


3.一种使用照明系统形成鳍状结构的方法，包括：
提供该照明系统，其中该照明系统包括：
光源，用于产生光线；以及
第一不透明板，包括：
第一环形开口，具有第一内侧边以及第一外侧边；以及
第一双极开口，包括第一开口以及第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该第一环形开口相连接，并分别从该第一环形开口的该外侧边延伸出，该第一开口与该第二开口对称于该第一环形开口的第一中心点设置，并沿着第一方向排列，该第一开口与该第二开口分别为长条状，并彼此平行，且该第一开口与该第二开口分别横跨该第一环形开口的两部分；
提供第一光掩模、多个环形间隙物以及一基板，其中该多个环形间隙物设置于该基板上，且该第一光掩模包括多个第一条状开口，分别沿着第二方向延伸；
将该照明系统的该第一不透明板设置于该光源以及该第一光掩模之间，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘恩铨，童宇诚，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71