照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法技术方案

本发明专利技术公开了一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。该照明系统包括用于产生光线的光源以及不透明板。不透明板设置于光源以及光掩模之间，且不透明板包括环形开口以及双极开口。环形开口具有内侧边以及外侧边。双极开口包括第一开口以及第二开口，其中第一开口与第二开口分别与环形开口相连接，并分别从环形开口的外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于环形开口的中心点设置。第一开口与第二开口分别为长条状，并彼此平行，且第一开口与第二开口分别横跨环形开口的两部分。

【技术实现步骤摘要】
照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法本申请是中国专利技术专利申请(申请号：201510160096.2，申请日：2015年04月07日，专利技术名称：照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法)的分案申请。
本专利技术涉及一种照明系统以及一使用其形成鳍状结构的方法，尤指一种使用包括一环形开口以及一双极开口的不透明板作为光瞳的一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。
技术介绍
随着半导体制造技术的发展，集成电路的尺寸也越来越小，且运作速度也越来越快。在集成电路的制造过程中，最关键的技术莫过于所谓的光刻制作工艺(photolithographyprocess)，其肩负着将光掩模上图案精确地转移至晶片上不同元件层的重责大任。光刻制作工艺主要是通过曝光装置将光掩模上的图案投影至形成于晶片上的光致抗蚀剂，因此决定形成于晶片上的图案的分辨率(resolution)，即所谓的关键尺寸(criticaldimension，CD)，主要由曝光装置所决定。由于曝光装置通过投影的方式将图案转移至光致抗蚀剂上，因此曝光装置的照明系统与其光线波长是决定这关键尺寸的因本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种照明系统，其特征在于，包括：/n光源，用于产生一光线；以及/n不透明板，设置于该光源以及一光掩模之间，且该不透明板包括：/n环形开口，具有内侧边以及外侧边；以及/n双极开口，包括第一开口以及第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该环形开口相连接，并分别从该环形开口的该外侧边延伸出，该第一开口与该第二开口对称于该环形开口的一中心点设置，该第一开口与该第二开口分别为长条状，并彼此平行，且该第一开口与该第二开口分别横跨该环形开口的两部分。/n

【技术特征摘要】
1.一种照明系统，其特征在于，包括：
光源，用于产生一光线；以及
不透明板，设置于该光源以及一光掩模之间，且该不透明板包括：
环形开口，具有内侧边以及外侧边；以及
双极开口，包括第一开口以及第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该环形开口相连接，并分别从该环形开口的该外侧边延伸出，该第一开口与该第二开口对称于该环形开口的一中心点设置，该第一开口与该第二开口分别为长条状，并彼此平行，且该第一开口与该第二开口分别横跨该环形开口的两部分。


2.如权利要求1所述的照明系统，其中该第一开口与该第二开口沿着第一方向排列，并沿着第二方向延伸。


3.一种使用照明系统形成鳍状结构的方法，包括：
提供该照明系统，其中该照明系统包括：
光源，用于产生光线；以及
第一不透明板，包括：
第一环形开口，具有第一内侧边以及第一外侧边；以及
第一双极开口，包括第一开口以及第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该第一环形开口相连接，并分别从该第一环形开口的该外侧边延伸出，该第一开口与该第二开口对称于该第一环形开口的第一中心点设置，并沿着第一方向排列，该第一开口与该第二开口分别为长条状，并彼此平行，且该第一开口与该第二开口分别横跨该第一环形开口的两部分；
提供第一光掩模、多个环形间隙物以及一基板，其中该多个环形间隙物设置于该基板上，且该第一光掩模包括多个第一条状开口，分别沿着第二方向延伸；
将该照明系统的该第一不透明板设置于该光源以及该第一光掩模之间，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘恩铨，童宇诚，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71