下载照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法的技术资料

文档序号:24994549

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本发明公开了一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。该照明系统包括用于产生光线的光源以及不透明板。不透明板设置于光源以及光掩模之间,且不透明板包括环形开口以及双极开口。环形开口具有内侧边以及外侧边。双极开口包括第一开口以及第二开口,其中第...
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