一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法。该补偿装置包括：至少两条压力补偿通道、压力源和压力补偿控制模块，压力补偿通道位于运动台内部，至少两条压力补偿通道的第一通道口分别位于运动台的运动迎风面和运动背风面；压力源与压力补偿通道的第二通道口导通，压力源为压力补偿通道提供正压或负压；压力补偿控制模块分别与运动台的驱动模块和压力源电连接，用于实时接收驱动模块中运动台的驱动信息，并根据运动台的驱动信息实时控制压力源提供正压或负压。本发明专利技术实施例可以直接对运动状态下的运动台产生的压力波动进行补偿，保证了运动台所在空间中的压力稳定，有助于保证测量系统的正常工作。

【技术实现步骤摘要】
一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法
本专利技术实施例涉及半导体光刻机领域，尤其涉及一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法。
技术介绍
光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模版上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。光刻机中的运动台主要作用为承载硅片、并携带硅片在投影物镜下完成与掩模台相匹配的曝光运动。光刻机内运动台的垂向空间狭小，当运动台在运动时，会使周围空气产生气流扰动，并且高速运动下的气流扰动产生的局部压力波动不能忽略，会使得运动台附近的高精度传感器及测量组件易受到扰动力的影响。
技术实现思路
本专利技术提供一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法，以避免了运动台运动状态下产生压力波动对测量系统的干扰，保证光刻机测量系统的正常工作。第一方面，本专利技术实施例提供了一种运动台随动压力补偿装置，包括：至少两条压力补偿通道，所述压力补偿通道位于所述运动台内部，至少两条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的运动迎风面和运动背风面；压力源，所述压力源与所述压力补偿通道的第二通道口导通，所述压力源为所述压力补偿通道提供正压或负压；压力补偿控制模块，所述压力补偿控制模块分别与所述运动台的驱动模块和所述压力源电连接，用于实时接收所述驱动模块中运动台的驱动信息，并根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，其中，所述运动台的所述驱动信息至少包括加速驱动信息、减速驱动信息和匀速驱动信息。可选地，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，包括：当所述运动台的所述驱动信息为加速驱动信息或匀速驱动信息时，所述压力补偿控制模块用于根据所述加速驱动信息或匀速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供负压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供正压；当所述运动台的所述驱动信息为减速驱动信息时，所述压力补偿控制模块用于根据所述减速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供正压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供负压。可选地，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，包括：所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，按照预设运动台驱动信息与压力补偿的关系，确定所述运动台的所述驱动信息对应的压力补偿；所述压力补偿控制模块在所述运动台根据所述驱动信息运动前预设时间，根据所述压力补偿控制所述压力源提供预设压力的正压或负压。可选地，所述压力源提供的正压的压力值范围为0～100Pa，所述压力源提供的负压的压力值范围为0～-100Pa。可选地，所述运动台包括四个侧面，所述压力补偿装置包括四条所述压力补偿通道，四条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的所述四个侧面；四条所述压力补偿通道的第二通道口均与所述压力源导通。可选地，所述压力补偿通道的所述第一通道口包括多个第一子通道口，所述多个第一子通道口与所述第二通道口导通，所述多个第一子通道口沿横向呈一排均匀分布于所述运动台的一个侧面。可选地，所述第一子通道口的形状为圆形、矩形、三角形或椭圆形中的一种或多种。可选地，所述第一子通道口的形状为圆形，所述第一子通道口的直径为8～10mm。可选地，还包括至少两条导气管；所述压力源通过至少两条导气管与至少两条所述压力补偿通道的所述第二通道口一一导通。可选地，所述压力补偿通道的所述第二通道口包括多个第二子通道口，与所述第二通道口导通的所述导气管包括多个子导气管，所述多个子导气管与所述多个第二子通道口导通。可选地，所述压力源包括供气源和抽气源，所述供气源和所述抽气源分别与所述压力补偿通道的所述第二通道口导通。可选地，所述压力补偿装置还包括补偿状态切换装置，所述补偿状态切换装置的第一端与所述压力补偿通道的所述第二通道口导通；所述补偿状态切换装置的第二端与所述压力补偿控制模块电连接，所述压力补偿控制模块用于根据所述运动台的所述驱动信息，控制所述补偿状态切换装置的第三端与处于工作状态的所述供气源或处于工作状态的所述抽气源导通。第二方面，本专利技术实施例还提供了一种光刻机系统，包括如第一方面任一所述的运动台随动压力补偿装置。可选地，所述光刻机系统还包括照射系统、掩膜台、掩膜、投影系统、框架、测量系统、运动台和驱动模块；所述掩膜、所述掩膜台、所述投影系统、所述运动台依次位于所述照射系统的发射光束的光路上；所述投影系统贯穿所述框架，所述运动台位于所述框架的内腔中，所述测量系统位于所述框架的内腔腔壁上且面对所述运动台；所述驱动模块用于驱动所述运动台运动。第三方面，本专利技术实施例还提供了一种光刻机的驱动方法，包括：压力补偿控制模块实时接收驱动模块中运动台的驱动信息；其中，所述运动台的所述驱动信息至少包括加速驱动信息、减速驱动信息和匀速驱动信息；压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，实时控制所述压力源向至少两条压力补偿通道提供正压或负压；其中，所述压力补偿通道位于所述运动台内部，至少两条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的运动迎风面和运动背风面，所述压力源与所述压力补偿通道的第二通道口导通。可选地，压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，实时控制所述压力源向至少两条压力补偿通道提供正压或负压包括：当所述运动台的所述驱动信息为加速驱动信息或匀速驱动信息时，所述压力补偿控制模块根据所述加速驱动信息或匀速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供负压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供正压；当所述运动台的所述驱动信息为减速驱动信息时，所述压力补偿控制模块根据所述减速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供正压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供负压。可选地，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，实时控制所述压力源向至少两条压力补偿通道提供正压或负压，包括：所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，按照预设运动台驱动信息与压力补偿的关系，确定所述运动台的所述驱动信息对应的压力补偿；所述压力补偿控制模块在所述运动台根据所述驱动信息运动前预设时间，根据所述压力补偿控制所述压力源提供预设压力的正压或负压。可选地，所述预设时间的大小与所述压力源到所述第一通道口的所述压力补偿通道的长度正相关。可选地，所述压力源包括供气源和抽气源，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种运动台随动压力补偿装置，其特征在于，包括：/n至少两条压力补偿通道，所述压力补偿通道位于所述运动台内部，至少两条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的运动迎风面和运动背风面；/n压力源，所述压力源与所述压力补偿通道的第二通道口导通，所述压力源为所述压力补偿通道提供正压或负压；/n压力补偿控制模块，所述压力补偿控制模块分别与所述运动台的驱动模块和所述压力源电连接，用于实时接收所述驱动模块中运动台的驱动信息，并根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，其中，所述运动台的所述驱动信息至少包括加速驱动信息、减速驱动信息和匀速驱动信息。/n

【技术特征摘要】
1.一种运动台随动压力补偿装置，其特征在于，包括：
至少两条压力补偿通道，所述压力补偿通道位于所述运动台内部，至少两条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的运动迎风面和运动背风面；
压力源，所述压力源与所述压力补偿通道的第二通道口导通，所述压力源为所述压力补偿通道提供正压或负压；
压力补偿控制模块，所述压力补偿控制模块分别与所述运动台的驱动模块和所述压力源电连接，用于实时接收所述驱动模块中运动台的驱动信息，并根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，其中，所述运动台的所述驱动信息至少包括加速驱动信息、减速驱动信息和匀速驱动信息。


2.根据权利要求1所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，包括：
当所述运动台的所述驱动信息为加速驱动信息或匀速驱动信息时，所述压力补偿控制模块用于根据所述加速驱动信息或匀速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供负压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供正压；
当所述运动台的所述驱动信息为减速驱动信息时，所述压力补偿控制模块用于根据所述减速驱动信息，实时控制所述压力源向第一通道口位于所述运动台的运动迎风面的所述压力补偿通道提供正压，并向第一通道口位于所述运动台的运动背风面的所述压力补偿通道提供负压。


3.根据权利要求2所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息实时控制所述压力源提供正压或负压，包括：
所述压力补偿控制模块根据所述运动台的所述驱动信息，按照预设运动台驱动信息与压力补偿的关系，确定所述运动台的所述驱动信息对应的压力补偿；
所述压力补偿控制模块在所述运动台根据所述驱动信息运动前预设时间，根据所述压力补偿控制所述压力源提供预设压力的正压或负压。


4.根据权利要求3所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力源提供的正压的压力值范围为0～100Pa，所述压力源提供的负压的压力值范围为0～-100Pa。


5.根据权利要求1所述的压力补偿装置，其特征在于，所述运动台包括四个侧面，所述压力补偿装置包括四条所述压力补偿通道，四条所述压力补偿通道的第一通道口分别位于所述运动台的所述四个侧面；四条所述压力补偿通道的第二通道口均与所述压力源导通。


6.根据权利要求5所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿通道的所述第一通道口包括多个第一子通道口，所述多个第一子通道口与所述第二通道口导通，所述多个第一子通道口沿横向呈一排均匀分布于所述运动台的一个侧面。


7.根据权利要求6所述的压力补偿装置，其特征在于，所述第一子通道口的形状为圆形、矩形、三角形或椭圆形中的一种或多种。


8.根据权利要求6所述的压力补偿装置，其特征在于，所述第一子通道口的形状为圆形，所述第一子通道口的直径为8～10mm。


9.根据权利要求5或6所述的压力补偿装置，其特征在于，还包括至少两条导气管；所述压力源通过至少两条导气管与至少两条所述压力补偿通道的所述第二通道口一一导通。


10.根据权利要求9所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力补偿通道的所述第二通道口包括多个第二子通道口，与所述第二通道口导通的所述导气管包括多个子导气管，所述多个子导气管与所述多个第二子通道口导通。


11.根据权利要求1所述的压力补偿装置，其特征在于，所述压力源包括供气源和抽气源，所述供气源和所述抽气源分别与所述压力补偿通道的所述第二通道口导通。


12.根据权利要求11所述的压力补偿装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴思雨，赵丹平，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31