一种反射光相位信息表征装置及其测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种反射光相位信息表征装置及其测量方法，该装置分为左臂和右臂，包括：光源、起偏器、第一1/4波片、第一偏振分束器、第一样品台、第二偏振分束器、第一反射镜、第二样品台、第二反射镜、第二1/4波片、检偏器、探测器。左、右臂围绕垂直样品台的中心轴旋转可改变入、出射角度。光束经过第一偏振分束器后分为光路1与光路2，汇聚于第二偏振分束器。本装置可同时测量样品不同入射角度条件下反射光的强度和相位信息，即可获取反射光谱的全面信息，为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。

【技术实现步骤摘要】
一种反射光相位信息表征装置及其测量方法
本专利技术涉及材料表面反射光强度与相位探测
，尤其是涉及一种紫外、可见-红外等波段光谱型反射光强度与相位表征系统的研制及测试方法。
技术介绍
当电磁波入射到由两种不同介质组成的界面上时，通常会发生反射现象。与入射光相比，很多情况下，反射光不但会有振幅的变化还同时伴有相位的改变，其行为也最终由这两部分信息共同决定。例如，当光束从光疏介质正入射到光密介质界面时，反射光会发生π相位的突变，相当于在反射光束中增加了1/2波长的光程；当光从光密介质入射到光疏介质界面，且入射角大于临界角时，随着入射角度的增大，反射光会发生0～π的相位变化。近年来，超构材料(超构表面)概念的出现更是大大丰富了人们操控电磁波的手段，在外界的激励下，组成材料的“人工原子”——人工亚波长微结构单元——作为次波源，可根据设计实现任意的电磁辐射强度和相位分布，从而可实现任意的电磁波波前调控。由此可见，要想准确掌握电磁波的传播行为，我们不但要知道其振幅，而且也需要知道其相位信息。然而，现有技术在光谱强度信息测量方面很成熟(由此可得振幅的值)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反射光相位信息表征装置，包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一样品台(5)、第二偏振分束器(6)、第一反射镜(7)、第二样品台(8)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、探测器(12)，其特征在于：/n所述装置的左侧为左臂，右侧为右臂，其中左臂包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一反射镜(7)，右臂包括：第二偏振分束器(6)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、检偏器(12)，并且左臂与右臂可独立围绕垂直于第一样品台(5)的台面中心轴旋转；/n其光路特征在于：...

【技术特征摘要】
1.一种反射光相位信息表征装置，包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一样品台(5)、第二偏振分束器(6)、第一反射镜(7)、第二样品台(8)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、探测器(12)，其特征在于：
所述装置的左侧为左臂，右侧为右臂，其中左臂包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一反射镜(7)，右臂包括：第二偏振分束器(6)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、检偏器(12)，并且左臂与右臂可独立围绕垂直于第一样品台(5)的台面中心轴旋转；
其光路特征在于：从光源(1)出来的光首先经过起偏器(2)、第一1/4波片(3)，其次经过第一偏振分束器(4)，将光路分为光路1与光路2两条光路；光路1的光经过第一样品平台(5)上被测样品后进入第二偏振分束器(6)，光路2的光经过第一反射镜(7)后入射在第二样品平台(8)的标准样件上，之后经过第二反射镜(9)后进入第二偏振分束器6，汇合后的两束光同时出射依次经过第二1/4波片(10)、检偏器(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝加明，李晓温，俞伟伟，文政绩，周子骥，刘锋，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31