机械手清洗系统及湿法机台技术方案

本发明专利技术提供了一种机械手臂清洗系统及湿法机台，所述机械手清洗系统包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件，所述喷气嘴布设在机械手的外围，所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、常规继电器、延时继电器、电磁阀，所述模式转换开关具有手动档位和自动档位。能够根据需要来对机械手进行手动清洗或自动清洗，使用过程中不会影响机械手所在的机台的自身运行，提高了设备稼动率、可靠性和安全性，适用于任何需要对机械手进行清洁的机台设备，例如湿法机台高温清洗槽处工作的机械手进行清洁，以去除高温清洗槽蒸发的液体在机械手底部凝结后所产生的液珠滴落到晶圆上。

【技术实现步骤摘要】
机械手清洗系统及湿法机台
本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种机械手臂清洗系统及湿法机台。
技术介绍
现有的湿法机台通常具有机械手(ARM)以及包括高温清洗槽(工作温度通常高于100℃，例如盛有125℃硫酸、双氧水混合溶液的SPM清洗槽)在内的多个工位，在实际工作中机械手用来在不同工位间传递晶圆。当机械手传递晶圆的过程中涉及高温清洗槽工位时，在高温清洗槽挥发出的高温气体会在机械手上遇冷且凝结成液珠，这些液珠若不及时处理，会滴落到机械手夹持的晶圆上，造成晶圆表面缺陷，进而影响产品的最终性能。目前，解决该问题的方法是，设备工程师定期对机械手进行清理，并在清理后对机械手进行清洁度检测，只有在机械手的清洁度检测合格后，湿法设备才能再次投入使用，这就会造成较高的人力成本以及较低的设备稼动率，影响产能。其中，稼动率是指设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比重，是指一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值。其计算公式：稼动率＝(作业时间-流失时间)/作业时间，或者，稼动率＝稼动时间/总工时，稼动时间即实际生产物品的时间。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种机械手臂清洗系统及湿法机台，能够达到自动清洗和手动清洗机械手的功效，可以降低成本，提高设备产能。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种机械手清洗系统，包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件；其中，所述喷气管道安装在一机架上，所述喷气嘴布设在机械手的外围；所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、常规继电器、延时继电器、电磁阀，所述模式转换开关具有手动档位和自动档位，所述手动档位的一端、所述自动档位的一端以及所述常规继电器的触点的一端均接入工作电压，所述手动档位的另一端依次连接所述启动按钮、所述常规继电器的线圈后接地，以形成第一支路，所述自动档位的另一端连接所述延时继电器的线圈后接地，且所述延时继电器的触点串接所述常规继电器的线圈后与所述延时继电器的线圈并接，以形成第二支路，所述常规继电器的触点的另一端连接一用于控制所述喷气嘴喷气的电磁阀后接地，以形成第三支路。可选地，所述常规继电器的触点和所述延时继电器的触点均为常开触点，在所述模式转换开关切换到手动档位且所述启动按钮被按下时，所述常规继电器的线圈吸合，所述常规继电器的触点闭合，使得所述第一支路和所述第三支路均导通，所述电磁阀得电，所述喷气嘴向所述机械手喷气；在所述模式转换开关切换到所述自动档位时，所述延时继电器的线圈吸合，所述第二支路导通，且在延时一段时间后，所述延时继电器的触点闭合，所述常规继电器的线圈吸合，所述常规继电器的触点闭合，所述第三支路导通，所述电磁阀得电，所述喷气嘴向所述机械手喷气。可选地，所述电气控制组件还包括传感器和电连接所述传感器的自动触发开关，所述传感器用于检测所述机械手是否在传送晶圆和/或检测所述机械手是否到达清洗位置，所述自动触发开关设置在所述第二支路中且串接在所述自动档位的另一端和所述延时继电器的线圈之间，在所述模式转换开关切换到所述自动档位且当所述自动触发开关闭合后，所述延时继电器的线圈才能吸合。可选地，所述电气控制组件还包括设置在所述第一支路中的停止按钮，所述停止按钮串接在所述启动按钮和所述常规继电器的线圈之间，所述停止按钮用于手动停止所述机械手清洗系统的工作；和/或，所述电气控制组件还包括紧急制动按钮，所述紧急制动按钮设置在向所述第一支路、第二支路和第三支路提供所述工作电压的线路上。可选地，所述电气控制组件还包括熔断器，所述熔断器设置在向所述第一支路、第二支路和第三支路提供所述工作电压的线路上。可选地，所述常规继电器为单线圈继电器或者双线圈继电器，当所述常规继电器为双线圈继电器时，所述常规继电器的一个线圈设置在所述第一支路中，另一个线圈设置在所述延时继电器的触点的另一端和地之间。可选地，所述喷气嘴喷射的气体包括干燥的氮气和/或惰性气体。基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种湿法机台，包括：机架；多个工位，设置在所述机架上，且所述多个工位中至少包括一个清洗槽；至少一个机械手，安装在所述机架上，并用于在不同的所述工位间传递晶圆；如本专利技术所述的机械手清洗系统，安装在所述机架上，且所述机械手外围均布设有所述机械手清洗系统中的喷气嘴，所述机械手清洗系统用于对所述机械手进行喷气清洗。可选地，所述机械手清洗系统的喷气管道和喷气嘴的位置相对所述工位固定，或者，所述机械手清洗系统的喷气管道和喷气嘴的位置随所述机械手的移动而移动。可选地，所述湿法机台还包括电控系统、送气系统和排气系统，所述机械手清洗系统的电气控制组件集成到所述电控系统中，所述机械手清洗系统的喷气管道和喷气嘴集成到所述送气系统中，所述机械手清洗系统所喷出的气体通过所述排气系统处理。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下有益效果：1、具有精巧的机械和电气设计，能够根据需要来对机械手进行手动清洗或自动清洗，使用过程中不会影响机械手所在的机台的自身运行，因而能够提高设备稼动率，且具有可靠性和安全性。2、该手动清洗模式是一种半自动清洗模式，仅仅需要人工转动模式切换开关以及按下启动按钮，无需人工直接对机械手进行擦洗或冲洗等操作，大大降低了人力成本。3、本专利技术的机械手清洗系统，适用于任何需要对机械手进行清洁的机台设备，例如湿法机台，其能够对在湿法机台的高温清洗槽工作的机械手进行清洁，以去除高温清洗槽液体的蒸发在机械手底部且凝结所产生的液珠进行清洁，由此可以避免液珠滴落到机械手夹持的晶圆上而造成晶圆表面缺陷的问题。附图说明图1是本专利技术具体实施例的湿法机台的正视结构示意图。图2是本专利技术具体实施例的湿法机台的侧视结构示意图。图3是本专利技术一实施例的机械手清洗系统中的电气控制组件的电路结构示意图。图4是本专利技术另一实施例的机械手清洗系统中的电气控制组件的电路结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的技术方案作进一步详细说明。根据下面说明，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。需要说明的是，本申请文件中的“和/或”的含义是二选一或者二者兼具。请参考图1至图3，本专利技术一实施例提供一种机械手清洗系统，应用于湿法机台，包括至少一条喷气管道40、设置在每条喷气管道40的头端上的至少一个喷气嘴400、以及控制所述喷气嘴400喷气的电气控制组件。其中，所述喷气管道400安装在湿法机台的机架上，且能够将其头端的喷气嘴400架设到机械手30的外围，喷气嘴400的高度被架设到机械手30待机的高度，且喷气嘴400对准机械手30的底部(机械手30面向湿法机台的工位10的一面)，由此可以通过喷气嘴400向机械手30的底部喷射氮气、惰性气体等干燥气体，以使得机械手300的底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手清洗系统，其特征在于，包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件；其中，所述喷气管道安装在一机架上，所述喷气嘴布设在机械手的外围；所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、常规继电器、延时继电器、电磁阀，所述模式转换开关具有手动档位和自动档位，所述手动档位的一端、所述自动档位的一端以及所述常规继电器的触点的一端均接入工作电压，所述手动档位的另一端依次连接所述启动按钮、所述常规继电器的线圈后接地，以形成第一支路，所述自动档位的另一端连接所述延时继电器的线圈后接地，且所述延时继电器的触点串接所述常规继电器的线圈后与所述延时继电器的线圈并接，以形成第二支路，所述常规继电器的触点的另一端连接一用于控制所述喷气嘴喷气的电磁阀后接地，以形成第三支路。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械手清洗系统，其特征在于，包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件；其中，所述喷气管道安装在一机架上，所述喷气嘴布设在机械手的外围；所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、常规继电器、延时继电器、电磁阀，所述模式转换开关具有手动档位和自动档位，所述手动档位的一端、所述自动档位的一端以及所述常规继电器的触点的一端均接入工作电压，所述手动档位的另一端依次连接所述启动按钮、所述常规继电器的线圈后接地，以形成第一支路，所述自动档位的另一端连接所述延时继电器的线圈后接地，且所述延时继电器的触点串接所述常规继电器的线圈后与所述延时继电器的线圈并接，以形成第二支路，所述常规继电器的触点的另一端连接一用于控制所述喷气嘴喷气的电磁阀后接地，以形成第三支路。


2.如权利要求1所述的机械手清洗系统，其特征在于，所述常规继电器的触点和所述延时继电器的触点均为常开触点，在所述模式转换开关切换到手动档位且所述启动按钮被按下时，所述常规继电器的线圈吸合，所述常规继电器的触点闭合，使得所述第一支路和所述第三支路均导通，所述电磁阀得电，所述喷气嘴向所述机械手喷气；在所述模式转换开关切换到所述自动档位时，所述延时继电器的线圈吸合，所述第二支路导通，且在延时一段时间后，所述延时继电器的触点闭合，所述常规继电器的线圈吸合，所述常规继电器的触点闭合，所述第三支路导通，所述电磁阀得电，所述喷气嘴向所述机械手喷气。


3.如权利要求1所述的机械手清洗系统，其特征在于，所述电气控制组件还包括传感器和电连接所述传感器的自动触发开关，所述传感器用于检测所述机械手是否在传送晶圆和/或检测所述机械手是否到达清洗位置，所述自动触发开关设置在所述第二支路中且串接在所述自动档位的另一端和所述延时继电器的线圈之间，在所述模式转换开关切换到所述自动档位且当所述自动触发开关闭合后，所述延时继电器的线圈才能吸合。


4.如权利要求1所述的机械手清...

【专利技术属性】
技术研发人员：董明，
申请(专利权)人：中芯集成电路制造绍兴有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33