【技术实现步骤摘要】
机械手清洗系统及湿法机台
本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种机械手臂清洗系统及湿法机台。
技术介绍
现有的湿法机台通常具有机械手(ARM)以及包括高温清洗槽(工作温度通常高于100℃，例如盛有125℃硫酸、双氧水混合溶液的SPM清洗槽)在内的多个工位，在实际工作中机械手用来在不同工位间传递晶圆。当机械手传递晶圆的过程中涉及高温清洗槽工位时，在高温清洗槽挥发出的高温气体会在机械手上遇冷且凝结成液珠，这些液珠若不及时处理，会滴落到机械手夹持的晶圆上，造成晶圆表面缺陷，进而影响产品的最终性能。目前，解决该问题的方法是，设备工程师定期对机械手进行清理，并在清理后对机械手进行清洁度检测，只有在机械手的清洁度检测合格后，湿法设备才能再次投入使用，这就会造成较高的人力成本以及较低的设备稼动率，影响产能。其中，稼动率是指设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比重，是指一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值。其计算公式：稼动率＝(作业时间-流失时间)/作业时间，或者，稼动率＝稼动时间/总工时，稼动时...
【技术保护点】
1.一种机械手清洗系统，其特征在于，包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件；其中，所述喷气管道安装在一机架上，所述喷气嘴布设在机械手的外围；所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、常规继电器、延时继电器、电磁阀，所述模式转换开关具有手动档位和自动档位，所述手动档位的一端、所述自动档位的一端以及所述常规继电器的触点的一端均接入工作电压，所述手动档位的另一端依次连接所述启动按钮、所述常规继电器的线圈后接地，以形成第一支路，所述自动档位的另一端连接所述延时继电器的线圈后接地，且所述延时继电器的触点串接所述常规继电...
【技术特征摘要】
1.一种机械手清洗系统，其特征在于，包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件；其中，所述喷气管道安装在一机架上，所述喷气嘴布设在机械手的外围；所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、常规继电器、延时继电器、电磁阀，所述模式转换开关具有手动档位和自动档位，所述手动档位的一端、所述自动档位的一端以及所述常规继电器的触点的一端均接入工作电压，所述手动档位的另一端依次连接所述启动按钮、所述常规继电器的线圈后接地，以形成第一支路，所述自动档位的另一端连接所述延时继电器的线圈后接地，且所述延时继电器的触点串接所述常规继电器的线圈后与所述延时继电器的线圈并接，以形成第二支路，所述常规继电器的触点的另一端连接一用于控制所述喷气嘴喷气的电磁阀后接地，以形成第三支路。
2.如权利要求1所述的机械手清洗系统，其特征在于，所述常规继电器的触点和所述延时继电器的触点均为常开触点，在所述模式转换开关切换到手动档位且所述启动按钮被按下时，所述常规继电器的线圈吸合，所述常规继电器的触点闭合，使得所述第一支路和所述第三支路均导通，所述电磁阀得电，所述喷气嘴向所述机械手喷气；在所述模式转换开关切换到所述自动档位时，所述延时继电器的线圈吸合，所述第二支路导通，且在延时一段时间后，所述延时继电器的触点闭合，所述常规继电器的线圈吸合，所述常规继电器的触点闭合，所述第三支路导通，所述电磁阀得电，所述喷气嘴向所述机械手喷气。
3.如权利要求1所述的机械手清洗系统，其特征在于，所述电气控制组件还包括传感器和电连接所述传感器的自动触发开关，所述传感器用于检测所述机械手是否在传送晶圆和/或检测所述机械手是否到达清洗位置，所述自动触发开关设置在所述第二支路中且串接在所述自动档位的另一端和所述延时继电器的线圈之间，在所述模式转换开关切换到所述自动档位且当所述自动触发开关闭合后，所述延时继电器的线圈才能吸合。
4.如权利要求1所述的机械手清...
【专利技术属性】
技术研发人员：董明，
申请(专利权)人：中芯集成电路制造绍兴有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。