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本发明提供了一种机械手臂清洗系统及湿法机台，所述机械手清洗系统包括至少一条喷气管道、设置在每条喷气管道的头端上的至少一个喷气嘴、以及控制所述喷气嘴喷气的电气控制组件，所述喷气嘴布设在机械手的外围，所述电气控制组件包括模式转换开关、启动按钮、...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

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