【技术实现步骤摘要】
测漏装置
本技术关于一种测漏装置，尤指一种使用量测气体分压的测漏装置。
技术介绍
在许多不同的产业中，常常需要确保设备或装置的密闭性。举例来说，某些半导体制造程序，如物理气相沉积法(PhysicalVaporDeposition)、化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)等，需要在保持真空或低压的腔体中进行。又例如，家用净水器的滤心瓶、汽车的水箱等都必须确保使用者在使用过程中不会漏水。因此，在设备或装置出厂前或是平时的保养项目中，都可能会对设备或装置(下称待测对象)进行测漏。一般的压力上升测漏方法中单纯侦测待测对象内的压力上升量，容易受到表面释气的影响使准确度差且拉长测试时间，有鉴于此，本领域亟需针对测漏方法进行改良，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的一实施例提出一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，该测漏装置包含：一测漏组件，包括一气体传感器，该气体传感器侦测该腔体内一第一特定气体；一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀将该腔体和该测漏组件连通或隔开；一抽...
【技术保护点】
1.一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：/n一测漏组件，包括一气体传感器，该气体传感器侦测该腔体内一第一特定气体；/n一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀将该腔体和该测漏组件连通或隔开；/n一抽气泵，对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；及/n一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀将该腔体和该抽气泵连通或隔开。/n
【技术特征摘要】
20190521 TW 1081175621.一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：
一测漏组件，包括一气体传感器，该气体传感器侦测该腔体内一第一特定气体；
一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀将该腔体和该测漏组件连通或隔开；
一抽气泵，对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；及
一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀将该腔体和该抽气泵连通或隔开。
2.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该第一特定气体为氧气。
3.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该气体传感器侦测该腔体内的该第一特定气体的分压。
4.如权利要求3所述的测漏装置，其特征在于，该气体传感器包括一质谱仪或者一光激发光谱仪。
5.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该测漏装置还包括：
一气体供应器，供应一第二特定气体至该腔体；及
一第三隔离阀，设置于该腔体和该气体供应器之间，该第三隔离阀将该腔体和该气体供应器连通或隔开。
6.一种测漏装置，用来对至少一对象进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：
一腔体；
一连接装置，其中至少一该对象通过该连接装置设置在该腔体上；
一测漏组件，包括一气体传...
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