测漏装置及测漏方法制造方法及图纸

本发明专利技术的一实施例提出一种测漏装置及测漏方法，用来对一腔体进行测漏，该测漏装置包含一测漏组件、一第一隔离阀、一抽气泵以及一第二隔离阀。本发明专利技术还提出其他测漏装置和相关方法。

【技术实现步骤摘要】
测漏装置及测漏方法
本专利技术关于一种测漏装置及测漏方法，尤指一种使用量测气体分压的测漏方式。
技术介绍
在许多不同的产业中，常常需要确保设备或装置的密闭性。举例来说，某些半导体制造程序，如物理气相沉积法(PhysicalVaporDeposition)、化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)等，需要在保持真空或低压的腔体中进行。又例如，家用净水器的滤心瓶、汽车的水箱等都必须确保使用者在使用过程中不会漏水。因此，在设备或装置出厂前或是平时的保养项目中，都可能会对设备或装置(下称待测对象)进行测漏。一般的压力上升测漏方法中单纯侦测待测对象内的压力上升量，容易受到表面释气的影响使准确度差且拉长测试时间，有鉴于此，本领域亟需针对测漏方法进行改良，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的一实施例提出一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，该测漏装置包含：一测漏组件，包括一气体传感器，用来侦测该腔体内一第一特定气体；一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀用以将该腔体和该测漏组件连通或隔开；一抽气泵，用来对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外之压力；及一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀用以将该腔体和该抽气泵连通或隔开。本专利技术的一实施例提出一种测漏装置，用来对至少一对象进行测漏，该测漏装置包含：一腔体；一连接装置，其中该至少一对象通过该连接装置设置在该腔体上；一测漏组件，包括一气体传感器，用来侦测该腔体内一第一特定气体；一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀用以将该腔体和该测漏组件连通或隔开；一抽气泵，用来对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外之压力；及一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀用以将该腔体和该抽气泵连通或隔开。本专利技术的一实施例提出一种测漏方法，用来对一腔体进行测漏，该测漏方法包含：对该腔体抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；量测该腔体内的一第一特定气体的分压变化，并据以得到一第一特定气体漏率；及依据该第一特定气体漏率得到一整体漏率。本专利技术的一实施例提出一种测漏方法，用来对至少一对象进行测漏，该测漏方法包含：将该至少一对象安装至一腔体上；对该腔体抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；量测该腔体内的一第一特定气体的分压变化，并据以得到一第一特定气体漏率；及依据该第一特定气体漏率得到一整体漏率。本专利技术中的多个实施例可在不受表面释气的干扰下得到精准度更高的测漏结果，最小可侦测漏率约为10-7mbar·l/s，且具有低成本，无耗材，能够自我校正的优点，也可在不抽至底压的情况下操作。附图说明在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本专利技术公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本专利技术的理解，并不是具体限定本专利技术各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本专利技术的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本专利技术。图1为本专利技术提出的测漏系统的第一实施例的示意图。图2为图1中测漏系统的测漏方法的流程图。图3为在腔体具有漏缝的情况下依据第一实施例量测的结果。图4为本专利技术提出的测漏系统的第二实施例的示意图。图5为图4中测漏系统的测漏方法的流程图。图6为本专利技术提出的测漏系统的第三实施例的示意图。图7为测漏系统的校正方法的流程图。图8为本专利技术提出的测漏系统的第四实施例的示意图。图9为在腔体具有漏缝的情况下依据第四实施例量测的结果。图10为本专利技术提出的测漏系统的第五实施例的示意图。图11为测漏系统的测漏方法的流程图。图12为本专利技术提出的测漏系统的第六实施例的示意图。图13为测漏系统的测漏方法的流程图。附图标记说明：100、400、600、800、1000、1200测漏系统102腔体104第一隔离阀106、606、806测漏组件108气体传感器110第二隔离阀112抽气泵200、500、700、1100、1300流程202～210、502～510、702～712、1102～1112、1302～1312步骤402第三隔离阀404气体供应器602泄漏产生装置802真空计1002、1202连接装置1004、1204外接待测物件具体实施方式以下提供用于实施本揭露之不同特征的许多不同实施例或实例。下文描述组件及配置之特定实例以简化本专利技术。当然，此等组件及配置仅仅为实例且并不意欲为限制性的。举例而言，在以下描述中，第一特征在第二特征上方或上之形成可包括第一特征及第二特征被形成为直接接触的实施例，且也可包括额外特征可形成于第一特征与第二特征之间而使得第一特征及第二特征可能不会直接接触的实施例。另外，本专利技术可在各种实例中重复参考数字及/或字母。此重复出于简化及清楚的目的且本身并不规定所论述的各种实施例及/或组态之间的关系。另外，诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及其类似者的空间相对术语可出于描述简易起见而在本文中用以描述如图所绘示的一个组件或特征与另一(些)组件或特征的关系。除了图中所描绘的定向以外，空间相对术语亦意欲涵盖装置在使用或操作中的不同定向。设备可以其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)，且本文中所使用的空间相对描述词可同样被相应地解译。尽管阐述本专利技术的广泛范畴的数值范围及参数为近似值，但尽可能精确地报告特定实例中所阐述的数值。然而，任何数值均固有地含有由各别测试量测中所发现的标准偏差必然引起的某些误差。又，如本文中所使用，术语“约”及“大致”通常意谓在给定值或范围之10％、5％、1％或0.5％内。替代地，当由一般技术者考虑时，术语“约”及“大致”意谓在平均值的可接受的标准误差内。除了在操作/工作实例中以外，或除非另有明确指定，否则诸如本文中所记载的材料数量、持续时间、温度、操作条件、量比率及其类似者的所有数值范围、量、值及百分比应被理解为在所有情况下由术语“约”及“大致”修饰。因此，除非有相反指示，否则本专利技术及所附权利要求范围中所阐述的数值参数为可按需要而变化的近似值。最低限度地，应根据所报告的有效数字的数目且借由应用普通舍位技术来解读每一数值参数。本文中可将范围表达为自一个端点至另一端点或在两个端点之间。除非另有指定，否则本文中所记载的所有范围将端点包括在内。已知的测漏方式包含氦气测漏(HeliumLeakDetection)、氢气测漏(Halogen本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：/n一测漏组件，包括一气体传感器，用来侦测该腔体内一第一特定气体；/n一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀用以将该腔体和该测漏组件连通或隔开；/n一抽气泵，用来对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；及/n一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀用以将该腔体和该抽气泵连通或隔开。/n

【技术特征摘要】
20190521 TW 1081175621.一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：
一测漏组件，包括一气体传感器，用来侦测该腔体内一第一特定气体；
一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀用以将该腔体和该测漏组件连通或隔开；
一抽气泵，用来对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；及
一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀用以将该腔体和该抽气泵连通或隔开。


2.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该第一特定气体为氧气。


3.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该气体传感器用来侦测该腔体内的该第一特定气体的分压。


4.如权利要求3所述的测漏装置，其特征在于，该气体传感器包括一质谱仪或者一光激发光谱仪。


5.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该测漏装置还包括：
一气体供应器，用来供应一第二特定气体至该腔体；及
一第三隔离阀，设置于该腔体和该气体供应器之间，该第三隔离阀用以将该腔体和该气体供应器连通或隔开。


6.一种测漏装置，用来对至少一对象进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：
一腔体；
一连接装置，其中至少一该对象通过该连接装置设置在该腔体上；
一测漏组件，包括一气体传感器，用来侦测该腔体内一第一特定气体；
一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀用以将该腔体和该测漏组件连通或隔开；
一抽气泵，用来对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外之压力；及
一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀用以将该腔体和该抽气泵连通或隔开。


7.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在于，至少一该对象设置在该腔体的外壁，且该腔体和至少一该对象内部彼此连通。


8.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在于，至少一该对象设置在该腔体的内壁，且至少一该对象内部和该腔体外的空气连通。


9.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴柄村，
申请(专利权)人：吴柄村，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71