极小物体的单层化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及极小物体的单层化装置。课题在于提供使堆积如山的极小物体单层化的有效的方法。本发明专利技术的极小物体的单层化装置(1)设为如下结构，其包括：载置台(2)，其在载置的工件(W)的载置面具有比该工件(W)更小的大量的孔，并且内部设为中空；吸排气机构(3)，其连接于该载置台(2)且使该载置台(2)的内部产生正压或负压；摆动机构(4)，其使载置台(2)摆动；以及控制部，其驱动控制吸排气机构(3)和摆动机构(4)。工件(W)浮起，并且载置台(2)摆动，因此堆积如山的工件(W)平坦化而逐渐成为稳定的一层。

【技术实现步骤摘要】
极小物体的单层化装置
本专利技术涉及在极小的例如半导体元件、电子/电气元件那样的部件杂乱地输送而重叠为多层状，堆积如山的情况下将重叠的状态平整为一层的装置。
技术介绍
在部件、材料的输送中途，当在这些部件、材料重叠为多层状，堆积如山时而在下一工序中会产生障碍的情况下，需要平整重叠的状态。为了平整堆积如山的材料、部件，通常已知使载置有堆积如山的部件、材料的载置面、输送面摆动或振动，或者使用刮铲(日文：ヘラ)，除此之外，例如已知专利文献1、2。例如，在专利文献1(日本特开2002-316714号公报)中公开了如下结构：为了使堆积于输送机上并输送的材料、部件平坦，在输送机上方设置沿着宽度方向往复运动的刮铲那样的平整部件，并且输送机的输送路径设有朝向下游的向下坡度。另外，在专利文献2(日本特开2012-41139号公报)中公开了如下结构：为了易于利用拣选装置或装卸装置把持堆积如山的工件，利用底部移动单元使材料、部件的容纳容器的底部能够上下移动，利用三维姿态识别装置识别堆积如山状态的工件的位置、姿态，输出改变堆积如山状态的主旨的信号，底部移动单元基于该信号进行动作以破坏堆积如山状态。在本专利技术中，对于相当于上述部件、材料的极薄、极小的例如半导体元件、电子/电子元件(以下，称为极小物体)，不仅如上所述那样仅平整为预定厚度，或者使表面平坦，还基于以下的理由而谋求单层化。该理由是：在制造工序之后，存在外观(表面)检查等工序，若此时极小物体彼此重叠则无法进行分别检查，或者在使极小物体移动至外观检查工序、包装工序时，若极小物体彼此重叠则无法顺利地进行拣选、装卸。然而，在包括专利文献1、2的摆动或振动载置面、输送面，或者使用刮铲的方法中，即使能够将堆积如山的材料、部件平整为预定厚度，或者使表面平坦，也不适用于使堆积如山的极小物体单层化，结果不存在有效的方法。即，关于摆动或振动，使极小物体以接触的状态载置的载置面、输送面摆动或振动，因此存在极小物体摩擦、碰撞而产生物理损伤的可能性。另外，关于使用刮铲，层叠状的极小物体夹持于刮铲与载置面、输送面之间，或者刮铲摩擦极小物体，从而与所述同样地存在产生物理损伤的可能性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-316714号公报专利文献2：日本特开2012-41139号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术要解决的问题是：在包括专利文献1、2的摆动或振动极小物体接触的载置面、输送面，或者使用刮铲的方法中，存在损伤极小物体的可能性，因此不适用，结果不存在使堆积如山的极小物体单层化的有效的方法。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本专利技术的极小物体的单层化装置的特征在于，该极小物体的单层化装置包括：载置台，其在极小物体的载置面具有比该物体更小的大量的孔，并且内部设为中空；吸排气机构，其连接于该载置台且使该载置台的内部产生正压或负压；摆动机构，其使所述载置台摆动；以及控制部，其驱动控制所述吸排气机构和所述摆动机构。专利技术的效果在本专利技术中，当在载置台载置有堆积如山的极小物体时，借助控制部驱动控制吸排气机构而使该载置台内产生正压，利用该正压从载置台上表面的大量的孔喷出空气，破坏极小物体的山，因此在该时点极小物体不会被极小物体彼此以外的其他结构摩擦或施加冲击。并且，在本专利技术中，在喷出空气的状态下，借助控制部驱动控制摆动机构，摆动载置台，因此极小物体以稍微浮起的状态摆动(载置台的大量的孔相对于极小物体摆动)，由此，能够在不对极小物体施加任何外力的前提下使重叠的极小物体单层化。附图说明图1是表示本专利技术的极小物体的单层化装置的图，图1的(a)是从侧视方向观察而得到的必要部位的概略截面图，图1的(b)是从俯视方向观察图1的(a)而得到的概略图。图2是表示本专利技术的极小物体的单层化装置的图，图2的(a)是从输送方向下游侧观察而得到的必要部位的概略截面图，图2的(b)是从俯视方向观察图2的(a)而得到的概略图。图3是表示本专利技术的极小物体的单层化装置的概略结构的框图。图4的(a)～图4的(e)是表示在本专利技术的极小物体的单层化装置中使极小物体单层化的步骤的图。图5的(a)～图5的(e)是用于更详细地说明在本专利技术的极小物体的单层化装置中使极小物体单层化的步骤的图4的(c)、图4的(d)的图。图6的(a)～图6的(c)是用于说明在本专利技术的极小物体的单层化装置中使极小物体单层化的另一方法的图。图7的(a)是表示在本专利技术的极小物体的单层化装置中使用的多孔板的变形结构的图，图7的(b)是沿着图7的(a)的A-A线的局部剖视图，图7的(c)是沿着图7的(a)的B-B线的局部剖视图。附图标记说明1、(极小物体)单层化装置；2、载置台；2A、多孔板；2B、壁面；2C、凹坑；3、吸排气机构；4、摆动机构；5、壁面排气机构；6、翻转机构；7、扫描传感器；8、控制部。具体实施方式本专利技术的目的在于确立使堆积如山的极小物体单层化的有效的方法，设为如下结构，其包括：载置台，其在极小物体的载置面具有比该物体更小的大量的孔，并且内部设为中空；吸排气机构，其连接于该载置台且使该载置台的内部产生正压或负压；摆动机构，其使载置台摆动；以及控制部，其驱动控制吸排气机构和摆动机构。关于载置台的载置面的比极小物体更小的大量的孔，例如既可以是，载置台的上表面部开放，在该开放面设置形成有大量的极小孔的具有通气性的多孔板，当然也可以是，在载置台上表面形成实际上可以说是无数的极小孔。吸排气机构被控制部控制而使载置台的内部产生正压或负压，摆动机构被控制部控制而使载置台以前后左右和预定角度的正转、反转平面摆动。例如为了破坏从上游工序输送来的最初堆积于载置台上的极小物体的山而产生正压，从大量的孔喷出空气。施加于载置台内的正压既可以是连续的，也可以是间歇的。由此，山破坏，在载置台上，极小物体一定程度地分散化，上方的堆积消失的极小物体因空气的喷出而稍微从载置台浮起。并且，预先产生正压而喷出空气，在此基础上，利用摆动机构使载置台以前后左右、预定角度的正转、反转平面摆动。由此，成为浮起状态或易于移动的状态的极小物体易于在载置台上移动，极小物体进一步在载置台上分散、扩散。在本专利技术中，利用来自载置台的空气的喷出和摆动，极小物体从层叠的不稳定的状态成为稳定的状态，即单层化。此外，也可以是，在进行预定时间的空气的喷出和摆动之后利用吸排气机构使载置台内产生负压，在吸引固定极小物体已经存在于大量的孔的位置的极小物体的状态下，进行摆动，再次反复进行在喷出空气的同时摆动载置台的动作。另外，本专利技术也可以是，在载置台上表面的缘部设置壁面。通过这样，能够抑制分散、扩散的极小物体从载置台散落。并且，本专利技术也可以是，在载置台上表面的缘部设置内部中空的壁面并对该壁面内部施加正压。通过这样，极小物体不会残留在壁面与载置台上表面之间的角本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种极小物体的单层化装置，其是堆积如山地大量地载置的极小物体的单层化装置，其特征在于，/n该极小物体的单层化装置包括：载置台，其在极小物体的载置面具有比该物体更小的大量的孔，并且内部设为中空；吸排气机构，其连接于该载置台且使该载置台的内部产生正压或负压；摆动机构，其使所述载置台摆动；以及控制部，其驱动控制所述吸排气机构和所述摆动机构。/n

【技术特征摘要】
20190115 JP 2019-004489;20191001 JP 2019-1812671.一种极小物体的单层化装置，其是堆积如山地大量地载置的极小物体的单层化装置，其特征在于，
该极小物体的单层化装置包括：载置台，其在极小物体的载置面具有比该物体更小的大量的孔，并且内部设为中空；吸排气机构，其连接于该载置台且使该载置台的内部产生正压或负压；摆动机构，其使所述载置台摆动；以及控制部，其驱动控制所述吸排气机构和所述摆动机构。


2.根据权利要求1所述的极小物体的单层化装置，其特征在于，
在载置台上表面的缘部设置壁面。

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【专利技术属性】
技术研发人员：蒲田喜彦，
申请(专利权)人：智仁画像科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP