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极小物体的单层化装置制造方法及图纸
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下载极小物体的单层化装置的技术资料
文档序号:24963301
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本发明涉及极小物体的单层化装置。课题在于提供使堆积如山的极小物体单层化的有效的方法。本发明的极小物体的单层化装置(1)设为如下结构,其包括:载置台(2),其在载置的工件(W)的载置面具有比该工件(W)更小的大量的孔,并且内部设为中空;吸排气...
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