一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，包括箱体，所述箱体内腔的底部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有固定槽，所述固定槽的内表面固定连接有圆片，所述箱体内腔的顶部固定连接有第一滑道，且第一滑道的内表面滑动连接有支撑板，所述支撑板的内表面螺纹连接有第一螺纹杆，本实用新型专利技术涉及机械设备技术领域。该具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，对测试的成品率进行实时监控，提高了检测的精准度，有效避免了误判损失，解决了现有的测试设备对于修条类产品不能够进行再次测试，很容易出现检测失误而导致大量合格管芯被误判成次品使产品报废损失的情况，给企业带来损失的问题。

A probe table for wafer testing with monitoring and alarm module

【技术实现步骤摘要】
一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台
本技术涉及机械设备
，具体为一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台。
技术介绍
晶圆制造厂把多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻、包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。现有的晶圆测试装置大多是人员控制探针与接点一一接触，这样的设置对于修条类产品不能够进行再次测试，很容易出现检测失误而导致大量合格管芯被误判成次品使产品报废损失的情况，给企业带来损失。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种具备监控报警模块式的晶圆测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内腔的底部固定连接有支撑架（2），所述支撑架（2）的顶部固定连接有固定槽（3），所述固定槽（3）的内表面固定连接有圆片（4），所述箱体（1）内腔的顶部固定连接有第一滑道（5），且第一滑道（5）的内表面滑动连接有支撑板（6），所述支撑板（6）的内表面螺纹连接有第一螺纹杆（7），所述箱体（1）的背面固定连接有支撑台（8），且支撑台（8）的顶部固定连接有第一电机（9），所述第一螺纹杆（7）的一端通过轴承与箱体（1）的内壁转动连接，所述第一螺纹杆（7）的另一端贯穿箱体（1）并与第一电机（9）输出轴的表面固定连接，所...

【技术特征摘要】
1.一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内腔的底部固定连接有支撑架（2），所述支撑架（2）的顶部固定连接有固定槽（3），所述固定槽（3）的内表面固定连接有圆片（4），所述箱体（1）内腔的顶部固定连接有第一滑道（5），且第一滑道（5）的内表面滑动连接有支撑板（6），所述支撑板（6）的内表面螺纹连接有第一螺纹杆（7），所述箱体（1）的背面固定连接有支撑台（8），且支撑台（8）的顶部固定连接有第一电机（9），所述第一螺纹杆（7）的一端通过轴承与箱体（1）的内壁转动连接，所述第一螺纹杆（7）的另一端贯穿箱体（1）并与第一电机（9）输出轴的表面固定连接，所述支撑板（6）的左侧固定连接有吊板（10），且吊板（10）的右侧通过轴承转动连接有第二螺纹杆（11），所述支撑板（6）的右侧固定连接有吊架（12），且吊架（12）的顶部固定连接有第二电机（13），所述第二螺纹杆（11）的一端贯穿吊架（12）并与第二电机（13）输出轴的表面固定连接，所述支撑板（6）的底部固定连接有第二滑道（14），且第二滑道（14）的内表面滑动连接有移动块（15），所述移动块（15）的底部通过微调机构（29）固定连接有第一伸缩杆（16），所述第一伸缩杆（16）推杆的底部螺纹连接有探针（17）。


2.根据权利要求1所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述固定槽（3）的表面开设有气孔（18），且固定槽（3）的底部固定连接有密封筒（19），所述箱体（1）内腔的底部且位于固定槽（3）的下方固定连接有气泵（20）。


3.根据权利要求2所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述气泵（20）进气口的表面连通有进气管（21），所述进...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾卫民，吴熙文，吴卓鸿，张梅，
申请(专利权)人：无锡芯启博科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32