一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉，属于单晶炉领域，一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉，包括底座，所述底座内底壁固定安装有若干导向柱，使用时，首先将单晶炉支架放置于底座上方，底座用于对单晶炉小幅度晃动减震，然后将减震弹簧均匀固定于炉体减震架内壁四周，将减震筒固定于减震弹簧远离炉体减震架一侧，随后将减震弹簧固定于减震筒内壁四周，接着将弧形板固定于减震弹簧远离减震筒一侧，将炉体减震架固定于单晶炉支架上方与主炉室外侧，之后将固定杆固定于底座左右两侧，张开固定杆前后两侧的支撑架，最后将伸缩杆调整到合适高度后使用管卡固定主炉室顶部的副炉室。

【技术实现步骤摘要】
一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉
本技术涉及单晶炉领域，更具体地说，涉及一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉。
技术介绍
单晶炉由炉体、热场、磁场、控制装置等部件组成，硅料经过提炼提纯成为高纯度的多晶硅后，需在单晶炉中得到单晶硅棒，其中控制炉内温度的热场和控制晶体生长形状的磁场是决定单晶炉生产能力的关键，副室:主要是副室筒以及上下法兰组成，炉盖:副室连接法兰，翻板阀，观察窗、抽真空管道组成，炉筒:包括取光孔，下炉筒:包括抽真空管道，底座机架:全铸铁机架和底座，坩埚下传动装置:主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨、等部件组成，分水器已经水路布置:包括分水器，进水水管，若干胶管水管卡套等，氩气管道布置:质量流量计3根以上的柔性管、不锈钢管，3个压力探测器、高密封性卡套等部件，真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等，电源以及电控柜:电源柜、滤波柜、控制柜以及连接线。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内底壁固定安装有若干导向柱(11)，所述导向柱(11)内部固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的顶部固定连接有顶杆(12)，所述顶杆(12)顶部固定连接有底板(14)，所述底板(14)顶部固定连接有单晶炉支架(2)，所述单晶炉支架(2)顶部固定安装有主炉室(19)，所述单晶炉支架(2)顶部且位于主炉室(19)的外侧固定安装有炉体减震架(3)，所述炉体减震架(3)与主炉室(19)之间设有减震筒(18)，所述减震筒(18)内外两侧均固定连接有若干个减震弹簧(17)，所述减震筒(18)通过减震弹簧(17)与炉体减震...

【技术特征摘要】
1.一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内底壁固定安装有若干导向柱(11)，所述导向柱(11)内部固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的顶部固定连接有顶杆(12)，所述顶杆(12)顶部固定连接有底板(14)，所述底板(14)顶部固定连接有单晶炉支架(2)，所述单晶炉支架(2)顶部固定安装有主炉室(19)，所述单晶炉支架(2)顶部且位于主炉室(19)的外侧固定安装有炉体减震架(3)，所述炉体减震架(3)与主炉室(19)之间设有减震筒(18)，所述减震筒(18)内外两侧均固定连接有若干个减震弹簧(17)，所述减震筒(18)通过减震弹簧(17)与炉体减震架(3)连接，所述减震筒(18)内侧且位于主炉室(19)的外侧设置有四个弧形板(16)，所述弧形板(16)与减震筒(18)之间通过减震弹簧(17)连接，所述炉体减震架(3)顶部固定连接有副炉室(4)，所述底座(1)左右两侧均固定连接有固定杆(6)，所述固定杆(6)与炉体减震架(3)之间固定安装有连接杆(5)，所述固定杆(6)底部且位于底座(1)两侧固定连接有支撑架(7)，所述固定杆(6)顶部活动连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)靠近副炉室(4)一侧固定连接有管卡(9)。


2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金凤，
申请(专利权)人：王金凤，
类型：新型
国别省市：安徽;34