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一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉制造技术
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文档序号:24950972
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本实用新型公开了一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉,属于单晶炉领域,一种可以降低晃动幅度的半导体单晶炉,包括底座,所述底座内底壁固定安装有若干导向柱,使用时,首先将单晶炉支架放置于底座上方,底座用于对单晶炉小幅度晃动减震,然后将减震弹簧均匀...
该专利属于王金凤所有,仅供学习研究参考,未经过王金凤授权不得商用。
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