一种准分子激光退火设备用基板支撑装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，包括一个底座，所述底座的上表面设置有一个第一夹持机构，所述第一夹持机构的内部呈对称状设置有两个第二夹持机构，两个所述第二夹持机构的内部均设置有两个定位机构，所述第一夹持机构其中一侧的侧壁上设置有一个限位机构，本发明专利技术在使用时，通过转动杆带动螺纹杆进行转动，螺纹杆通过与螺纹孔、轴承的配合可以推动第一夹持块对基板进行夹持，同时解除对两块第二夹持块的支撑，此时两块第二夹持块在弹簧的弹力下被推动做相向运动，通过第一夹持块与两块第二夹持块共同对基板进行夹持，进而可以对不同规格的基板进行夹持，且安装固定较为简便和稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光退火设备用基板支撑装置
本专利技术属于准分子激光退火设备
，具体为一种准分子激光退火设备用基板支撑装置。
技术介绍
准分子激光退火具体是利用准分子激光退火设备发出的准分子激光束对待处理基板上的非晶硅层进行短时间照射，使其再结晶变成多晶硅层，准分子激光退火工艺的质量决定着非晶硅转化为多晶硅的工艺质量。而现有针对基板进行支撑的底座在对基板进行固定时，不方便对不同规格的基板进行固定，在面对不同规格的基板时容易产生松动，进而造成基板照射产生误差，对此需要设计一种准分子激光退火设备用基板支撑装置。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，解决了现有针对基板进行支撑的底座在对基板进行固定时，不方便对不同规格的基板进行固定，在面对不同规格的基板时容易产生松动，进而造成基板照射产生误差的问题。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种技术方案：一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，包括一个底座，所述底座的上表面设置有一个第一夹持机构，所述第一夹持机构的内部呈对称状设置有两个第二夹持机构，两个所述第二夹持机构的内部均设置有两个定位机构，所述第一夹持机构其中一侧的侧壁上设置有一个限位机构，所述第一夹持机构位于底座外部的一端设置有一个转动机构，所述底座其中一侧的侧壁上呈对称状固定连接有两个把手。作为优选，所述第一夹持机构包括一个放置槽，所述放置槽开设在底座的上表面，所述放置槽其中一侧的侧壁上贯穿开设有一个螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有一根螺纹杆，所述螺纹杆的其中一端贯穿螺纹孔对应的孔口并延伸至放置槽的内部且固定套接有一个轴承，所述轴承的外侧固定套接有一块第一夹持块。作为优选，两个所述第二夹持机构均包括两个固定槽，四个所述固定槽分别开设在放置槽相对的两侧槽壁上，四个所述固定槽的槽底均固定连接有一个弹簧，四个所述弹簧远离固定槽槽底的一端均固定连接有一根固定杆，四根所述固定杆远离弹簧的一端分别贯穿对应固定槽的槽口并延伸至放置槽的内部，四根所述固定杆位于放置槽内部的一端分别与两块第二夹持块固定连接。作为优选，四个所述定位机构均包括两个定位槽，八个所述定位槽分别开设在四个固定槽相对的两侧槽壁上，四个所述固定杆靠近弹簧一端的相对两侧杆壁上均固定连接有定位块，八块所述定位块分别与八个定位槽滑动连接。作为优选，所述限位机构包括一根限位杆，所述限位杆固定连接在第一夹持块靠近螺纹孔的一侧侧壁下端，对应所述限位杆位置的放置槽槽壁上贯穿开设有一个限位孔，所述限位杆远离第一夹持块的一端贯穿限位孔并延伸至底座的外部。作为优选，所述转动机构包括一根转动杆，所述转动杆固定连接在螺纹杆位于底座外部的一端，所述转动杆的外杆壁上固定套接有一层橡胶防滑套筒。作为优选，所述放置槽的槽底远离螺纹孔的一侧固定连接有一层缓冲垫，所述缓冲垫的上表面设置有一层防滑纹。作为优选，两块所述第二夹持块靠近螺纹孔一端的相向侧壁上均开设有一个卡槽，对应两个所述卡槽位置的第一夹持块两端分别延伸至两个卡槽的内部，位于两个所述卡槽内部的第一夹持块两端均呈弧形设置。本专利技术的有益效果是：1、本专利技术涉及一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，通过设置放置槽、螺纹孔、螺纹杆、轴承、第一夹持块、固定槽、弹簧、固定杆、第二夹持块、定位槽、定位块、限位杆、限位杆与转动杆，在使用时，通过转动杆带动螺纹杆进行转动，螺纹杆通过与螺纹孔、轴承的配合可以推动第一夹持块对基板进行夹持，同时解除对两块第二夹持块的支撑，此时两块第二夹持块在弹簧的弹力下被推动做相向运动，通过第一夹持块与两块第二夹持块共同对基板进行夹持，进而可以对不同规格的基板进行夹持，且安装固定较为简便和稳定。2、本专利技术涉及一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，通过设置第一夹持块、第二夹持块与卡槽，在不使用时，可以将第一夹持块回复原位，因第二夹持块的形状，使得第一夹持块可以将两块第二夹持块撑开，同时因第一夹持块的两端延伸至两个卡槽内，使得第一夹持块不会随意滑动，进而避免了会影响对两块第二夹持块的支撑。附图说明：为了易于说明，本专利技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。图1为本专利技术的俯视剖切图；图2为本专利技术工作时的俯视剖切图；图3为本专利技术的侧视剖切图；图4为本专利技术图1中的A部分放大图；图5为本专利技术图1中的B部分放大图。图中：1、底座；2、第一夹持机构；21、放置槽；22、螺纹孔；23、螺纹杆；24、轴承；25、第一夹持块；3、第二夹持机构；31、固定槽；32、弹簧；33、固定杆；34、第二夹持块；4、定位机构；41、定位槽；42、定位块；5、限位机构；51、限位杆；52、限位杆；6、转动机构；61、转动杆；62、橡胶防滑套筒；7、缓冲垫；8、卡槽；9、把手。具体实施方式：如图1-5所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，包括一个底座1，底座1的上表面设置有一个第一夹持机构2，第一夹持机构2的内部呈对称状设置有两个第二夹持机构3，两个第二夹持机构3的内部均设置有两个定位机构4，第一夹持机构2其中一侧的侧壁上设置有一个限位机构5，第一夹持机构2位于底座1外部的一端设置有一个转动机构6，底座1其中一侧的侧壁上呈对称状固定连接有两个把手9，通过转动机构6带动第一夹持机构2移动对基板进行夹持，此时第一夹持机构2解除对第二夹持机构3的支撑，使得第二夹持机构3移动对基板进行夹持，整体操作简单便捷，可以对多种规格的基板进行夹持支撑。其中，第一夹持机构2包括一个放置槽21，放置槽21开设在底座1的上表面，放置槽21其中一侧的侧壁上贯穿开设有一个螺纹孔22，螺纹孔22的内部螺纹连接有一根螺纹杆23，螺纹杆23的其中一端贯穿螺纹孔22对应的孔口并延伸至放置槽21的内部且固定套接有一个轴承24，轴承24的外侧固定套接有一块第一夹持块25，限位机构5包括一根限位杆51，限位杆51固定连接在第一夹持块25靠近螺纹孔22的一侧侧壁下端，对应限位杆51位置的放置槽21槽壁上贯穿开设有一个限位孔52，限位杆51远离第一夹持块25的一端贯穿限位孔52并延伸至底座1的外部，转动机构6包括一根转动杆61，转动杆61固定连接在螺纹杆23位于底座1外部的一端，转动杆61的外杆壁上固定套接有一层橡胶防滑套筒62，通过转动杆61带动螺纹杆23进行转动，螺纹杆23通过与螺纹孔22的配合可以带动轴承24与第一夹持块25同步进行移动，同时第一夹持块25在限位孔52与限位杆51的配合下无法进行转动，使得第一夹持块25只能进行平行移动，直至推动基板与放置槽21的槽壁相抵。其中，两个第二夹持机构3均包括两个固定槽31，四个固定槽31分别开设在放置槽21相对的两侧槽壁上，四个固定槽31的槽底均固定连接有一个弹簧32，四个弹簧32远离固定槽31槽底的一端均固定连接有一根固定杆33，四根固定杆33远离弹簧32的一端分别贯穿对应固定槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，其特征在于，包括一个底座(1)，所述底座(1)的上表面设置有一个第一夹持机构(2)，所述第一夹持机构(2)的内部呈对称状设置有两个第二夹持机构(3)，两个所述第二夹持机构(3)的内部均设置有两个定位机构(4)，所述第一夹持机构(2)其中一侧的侧壁上设置有一个限位机构(5)，所述第一夹持机构(2)位于底座(1)外部的一端设置有一个转动机构(6)，所述底座(1)其中一侧的侧壁上呈对称状固定连接有两个把手(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，其特征在于，包括一个底座(1)，所述底座(1)的上表面设置有一个第一夹持机构(2)，所述第一夹持机构(2)的内部呈对称状设置有两个第二夹持机构(3)，两个所述第二夹持机构(3)的内部均设置有两个定位机构(4)，所述第一夹持机构(2)其中一侧的侧壁上设置有一个限位机构(5)，所述第一夹持机构(2)位于底座(1)外部的一端设置有一个转动机构(6)，所述底座(1)其中一侧的侧壁上呈对称状固定连接有两个把手(9)。


2.根据权利要求1所述的一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，其特征在于：所述第一夹持机构(2)包括一个放置槽(21)，所述放置槽(21)开设在底座(1)的上表面，所述放置槽(21)其中一侧的侧壁上贯穿开设有一个螺纹孔(22)，所述螺纹孔(22)的内部螺纹连接有一根螺纹杆(23)，所述螺纹杆(23)的其中一端贯穿螺纹孔(22)对应的孔口并延伸至放置槽(21)的内部且固定套接有一个轴承(24)，所述轴承(24)的外侧固定套接有一块第一夹持块(25)。


3.根据权利要求2所述的一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，其特征在于：两个所述第二夹持机构(3)均包括两个固定槽(31)，四个所述固定槽(31)分别开设在放置槽(21)相对的两侧槽壁上，四个所述固定槽(31)的槽底均固定连接有一个弹簧(32)，四个所述弹簧(32)远离固定槽(31)槽底的一端均固定连接有一根固定杆(33)，四根所述固定杆(33)远离弹簧(32)的一端分别贯穿对应固定槽(31)的槽口并延伸至放置槽(21)的内部，四根所述固定杆(33)位于放置槽(21)内部的一端分别与两块第二夹持块(34)固定连接。


4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏荣海，夏成雷，
申请(专利权)人：瑞安市荣海机电有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33