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本发明公开了一种准分子激光退火设备用基板支撑装置，包括一个底座，所述底座的上表面设置有一个第一夹持机构，所述第一夹持机构的内部呈对称状设置有两个第二夹持机构，两个所述第二夹持机构的内部均设置有两个定位机构，所述第一夹持机构其中一侧的侧壁上设...
该专利属于瑞安市荣海机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞安市荣海机电有限公司授权不得商用。

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