热回收装置及热回收方法制造方法及图纸

技术编号:2493453 阅读:252 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术一种热回收装置及其方法,包括:一转轮,该转轮分为吸附区、冷却区以及脱附区,该吸附区、冷却区以及脱附区各设有进气管路与排气管路;一废气进气管路,该废气进气管路是连接转轮吸附区的进气管路;一第一抽风机,与转轮吸附区的排气管路相连接;一第二抽风机,与转轮脱附区的排气管路相连接;一新鲜空气进气管路,是新鲜空气提供的管路,并与转轮冷却区的进气管路相连接;一燃烧炉,以及一烟囱,是连接第一抽风机与第三热交换设备的排气管路;其中,该转轮脱附区的排气管路是连接至该燃烧炉,且第三热交换设备的排气管路可与其它装置相连接以提供该装置热源,通过此,达充分回收废热并加以利用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及,尤指一种通过回收燃烧炉及转轮废 气热能的设计,使得本专利技术具有提升热回收效率的功效,而适于应用处理 废气的装置或类似结构。
技术介绍
在中国台湾半导体或光电产业等制程中所产生的挥发性有机物V0Cs (Volatile Organic Compounds)时,大部分是由沸石转轮浓縮,再搭配燃 烧机燃烧所组合而成的一套是统,其去除效率可达9 5%以上,然而在燃 烧的过程中为了要将VOCs废气完全燃烧分解,必须将燃烧温度提升至约 7 0 (TC以上,所以需添加燃料以提升温度,在目前中国台湾半导体厂 大部分是添加天然气,因此可以想象一年所花费的成本是多么可观的,且 燃料的燃烧过程中,同时产生了一些副产物,如N0x、 S0x及C0x等,造 成整体环境的污染。且目前永续发展的观念一直在企业界推展,在能源科技技术方面,着 重在再生能源、能源新利用及节约能源等关键技术的研究开发,对于处理 VOCs废气过程中,将废热回收不但可以降低运转成本,又可达环保功效, 实为值得鼓励开发。然,目前在处理VOCs废气的设备中,燃烧机内部已经有考虑到废热 回收的事宜,也装设有热交换器,但是经过实际本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热回收装置,其特征在于包括: 一转轮,该转轮分为吸附区、冷却区以及脱附区,该吸附区、冷却区以及脱附区各设有进气管路与排气管路; 一废气进气管路,该废气进气管路是连接转轮吸附区的进气管路; 一第一抽风机,与转轮吸附区的排气管路相连接; 一第二抽风机,与转轮脱附区的排气管路相连接; 一新鲜空气进气管路,是新鲜空气提供的管路,并与转轮冷却区的进气管路相连接; 一燃烧炉,该燃烧炉设置有第一热交换设备、第二热交换设备、第三热交换设备与一裂解室,该第一热交换设备、第二热交换设备、第三热交换设备与裂解室各设有进气管路与排气管路,该第一热交换设备的排气管路与裂解室的进气管路连接,而裂解室的排气管路再连接至...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郑石治扶亚民田磊徐瑞珠刘邦昱洪守铭
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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