一种两级抽真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种两级抽真空系统，其包括一级泵以及二级泵，一级泵的吸气端连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。本实用新型专利技术能够对单晶炉等装置进行两级抽真空，给单晶炉等装置提供10

【技术实现步骤摘要】
一种两级抽真空系统
本技术涉及单晶炉的抽真空
，尤其涉及一种两级抽真空系统。
技术介绍
单晶炉是一种用于冶炼、结晶蓝宝石、红宝石等贵重矿物的设备，其工作的时候需要对其内部进行抽真空。现有技术中，一般采用机械泵对单晶炉内部进行抽真空，普通的机械泵，能够将单晶炉内的气压抽到1Pa左右，真空度不够高，导致蓝宝石、红宝石等贵重矿物在结晶的过程中的会存在被氧化的现象。本技术就是基于以上的不足做出的。
技术实现思路
鉴于此，本技术的目的在于提供一种能够提供高真空度的两级抽真空系统。本技术为解决其技术问题而采用的技术方案是：一种两级抽真空系统，其包括一级泵以及二级泵，一级泵的吸气端连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。作为优选地，一级泵为一机械泵，二级泵为一扩散泵，汇流管和二级支管上均有一段为波纹管。作为优选本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种两级抽真空系统，其特征在于，其包括一级泵(2)以及二级泵(3)，所述的一级泵(2)的吸气端连接有一级抽气通道，所述的一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管(4)、主阀(5)、一级支管(6)、预抽阀(7)以及汇流管(8)，所述的主阀(5)为三通阀，所述二级泵(3)的吸气端与主阀(5)的另一出气端接通，所述二级泵(3)的出气端通过二级支管(9)与所述的汇流管(8)接通，所述的二级支管(9)上设置有能够控制其通断的前置阀(16)。/n

【技术特征摘要】
1.一种两级抽真空系统，其特征在于，其包括一级泵(2)以及二级泵(3)，所述的一级泵(2)的吸气端连接有一级抽气通道，所述的一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管(4)、主阀(5)、一级支管(6)、预抽阀(7)以及汇流管(8)，所述的主阀(5)为三通阀，所述二级泵(3)的吸气端与主阀(5)的另一出气端接通，所述二级泵(3)的出气端通过二级支管(9)与所述的汇流管(8)接通，所述的二级支管(9)上设置有能够控制其通断的前置阀(16)。
<...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚以力，李光，于德金，
申请(专利权)人：中山荣拓智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44