下载一种两级抽真空系统的技术资料

文档序号:24863725

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本实用新型公开了一种两级抽真空系统,其包括一级泵以及二级泵,一级泵的吸气端连接有一级抽气通道,一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管,主阀为三通阀,二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通,二级泵的出气端通...
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