一种配置热丝的电弧离子镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于材料表面改性领域，具体涉及一种配置热丝的电弧离子镀膜装置。在设备真空室的侧壁处相对设置热丝接线柱，每个热丝接线柱的一端通过真空室侧壁伸入真空室内，每个热丝接线柱穿设固定于真空室侧壁的一个热丝绝缘块上，每个热丝接线柱的另一端露在真空室外侧；相对设置的两个热丝接线柱露出真空室外壁的一端，分别通过导线接热丝电源的正极与负极，相对设置的两个热丝接线柱伸至真空室内的一端通过热丝连接，形成一组热丝发射热电子结构。在镀膜过程中，通过给热丝通电，使其发射热电子，热电子在迁徙过程中通过与气体分子或金属原子发生碰撞，使其发生电离，从而提高真空室内的等离子体密度，提高薄膜致密化程度及其沉积速率。

【技术实现步骤摘要】
一种配置热丝的电弧离子镀膜装置
：本技术属于材料表面改性领域，具体涉及一种配置热丝的电弧离子镀膜装置。
技术介绍
：电弧离子镀技术由于其具有离化率高、沉积效率快、绕镀性好等优点，已在工、模具表面强化等领域获得了广泛应用，大大提高了这些工件的性能及使役寿命。但对于普通的生产型工业电弧离子镀设备而言，对于工件表面的镀膜沉积速率大多在1～3微米/小时范围内，这对于普通的钻头、铣刀等工具可满足要求，但对于磨损严重且承载较大的工件而言，如：汽车用活塞环等，一般需要沉积20微米厚的CrN涂层，这就使得需要的镀膜时间延长到6小时以上，使得镀膜效率明显降低。为了提高镀膜沉积效率，人们往往采用磁场来增加等离子体密度的方法。中国专利公开号CN103540900A(一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺及沉积装置)提出在电弧离子镀装置中设置两套磁场发生装置，一套置于靶材后面，称为弧斑约束磁场发生装置，可加速弧斑运动速度；另一套磁场发生装置置于真空室外的等离子体传输通道外侧，可对等离子体进行聚焦，从而最终提高沉积效率，但是该方法需要专用的磁场发生装置及电源。中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种配置热丝的电弧离子镀膜装置，其特征在于，在设备真空室的侧壁处相对设置热丝接线柱，每个热丝接线柱的一端通过真空室侧壁伸入真空室内，每个热丝接线柱穿设固定于真空室侧壁的一个热丝绝缘块上，每个热丝接线柱的另一端露在真空室外侧；相对设置的两个热丝接线柱露出真空室外壁的一端，分别通过导线接热丝电源的正极与负极，相对设置的两个热丝接线柱伸至真空室内的一端通过热丝连接，形成一组热丝发射热电子结构，该结构对称分布；/n工件转架台位于真空室内的底部，工件转架台上对称设置工件转架，基体偏压电源的负极与工件转架台连接，基体偏压电源的正极接真空室外壁并接地；在真空室的内壁上，设置与工件转架上的工件相对应的弧源...

【技术特征摘要】
1.一种配置热丝的电弧离子镀膜装置，其特征在于，在设备真空室的侧壁处相对设置热丝接线柱，每个热丝接线柱的一端通过真空室侧壁伸入真空室内，每个热丝接线柱穿设固定于真空室侧壁的一个热丝绝缘块上，每个热丝接线柱的另一端露在真空室外侧；相对设置的两个热丝接线柱露出真空室外壁的一端，分别通过导线接热丝电源的正极与负极，相对设置的两个热丝接线柱伸至真空室内的一端通过热丝连接，形成一组热丝发射热电子结构，该结构对称分布；
工件转架台位于真空室内的底部，工件转架台上对称设置工件转架，基体偏压电源的负极与工件转架台连接，基体偏压电源的正极接真空室外壁并接地；在真空室的内壁上，设置与工件转架上的工件相对应的弧源靶材。


2.按照权利要求1所述的配置热丝的电弧离子镀膜装置，其特征在于，热丝接线柱通过热丝绝缘块与真空室侧壁绝缘，热丝绝缘块与真空室壁之间采用密封胶圈密封。


3.按照权利要求1所述的配置热丝的电弧离子镀膜装置，其特征在于，热丝接线柱采用紫铜制作的空心水冷结构。


4.按照权利要求1所述的配置热丝的电弧离子镀膜装置，其特征在于，真空室内壁与热丝之间设置表面抛光的、无磁不锈钢304制作的热丝反射罩，热丝反射罩单面朝着工件方向开口，其余面封闭，将热丝发射的热量往真空室中心部位反射。


5.按照权利要求1所述的配置热丝的电弧离子镀膜装置，其特征在于，热丝设置于立式电弧离子镀设...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵彦辉，刘忠海，王海，于宝海，王英智，刘洋，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，沈阳乐贝真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21