下载一种配置热丝的电弧离子镀膜装置的技术资料

文档序号:24858039

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于材料表面改性领域,具体涉及一种配置热丝的电弧离子镀膜装置。在设备真空室的侧壁处相对设置热丝接线柱,每个热丝接线柱的一端通过真空室侧壁伸入真空室内,每个热丝接线柱穿设固定于真空室侧壁的一个热丝绝缘块上,每个热丝接线柱的另一端露在...
该专利属于中国科学院金属研究所;沈阳乐贝真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所;沈阳乐贝真空技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。